一种半导体刻蚀液的金属回收系统技术方案

本发明专利技术公开了一种半导体刻蚀液的金属回收系统，包括电解装置，用于对半导体刻蚀液进行电解，电解装置具有阴极板，电解装置通过电解反应将半导体刻蚀液中的铜离子形成附着在阴极板上的电解铜粉，重量检测及控制装置，用于检测阴极板的重量，以判断更换阴极板的时刻，铜粉回收装置，用于对阴极板进行回收，铜粉回收装置与重量检测及控制装置电性连接，阴极板因电解铜粉的附着而达到设定重量时，重量检测及控制装置控制铜粉回收装置对阴极板进行回收，通过重量检测及控制装置对电解装置的阴极板的重量进行检测，以判断铜粉回收装置需要对阴极板进行回收的时刻，避免了人工从电解装置中取出阴极板不便和不及时的弊端。置中取出阴极板不便和不及时的弊端。置中取出阴极板不便和不及时的弊端。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体刻蚀液的金属回收系统


[0001]本专利技术涉及蚀刻废液金属回收
，具体涉及一种半导体刻蚀液的金属回收系统。

技术介绍

[0002]PCB蚀刻液是PCB行业为制作图形线路产生的一种废液，其液体成份含有大量的氨水、氯化铵、氯化铜等，而蚀刻废液再生则能够节约资源，并能对蚀刻废液中的铜进行回收。
[0003]目前，通过采用电解方法将蚀刻废液中因蚀刻溶入的铜进行回收，电解装置主要包括电解槽，以及安装在电解槽内的由粗铜制成的阳极铜板和由纯铜制成的阴极板，其中，阴极板随电解反应的进行而不断被混合有杂质电解铜粉附着，而阳极板则因逐渐被消耗，因此，需要定期对阳极板定期更换，以维持电解反应的进行，并且，需要定期将阴极板取下并将阴极板上的电解铜粉剥离，以实现对刻蚀废液的铜的回收。
[0004]但是，阴极板更换通常由人工进行，容易错过最佳的更换时间，导致阴极铜板上的电解铜粉过多，造成电解铜粉的制取效率和制取纯度下降，因此，亟需一种能够对阴极板上电解铜粉及时进行回收的金属回收系统。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种半导体刻蚀液的金属回收系统，以解决现有技术中，由于阴极板更换不及时而导致的因阴极板上混合有杂质的电动铜粉附着过多，造成电解反应回收电解铜粉的效率和纯度下降的技术问题。
[0006]为解决上述技术问题，本专利技术具体提供下述技术方案：
[0007]一种半导体刻蚀液的金属回收系统，包括：
[0008]电解装置，用于对半导体刻蚀液进行电解，所述电解装置具有阴极板，所述电解装置通过电解反应将所述半导体刻蚀液中的铜离子形成附着在所述阴极板上的电解铜粉；
[0009]重量检测及控制装置，用于检测所述阴极板的重量，以判断更换所述阴极板的时刻；
[0010]铜粉回收装置，用于对所述阴极板进行回收，所述铜粉回收装置与所述重量检测及控制装置电性连接，所述阴极板因所述电解铜粉的附着而达到设定重量时，所述重量检测及控制装置控制所述铜粉回收装置对所述阴极板进行回收。
[0011]作为本专利技术的一种优选方案，所述铜粉回收装置包括电动吊轨、安装在所述电动吊轨上的升降气缸，以及安装在所述升降气缸上的绝缘夹具，所述电动吊轨通过支架设置于所述电解装置的正上方，所述升降气缸通过所述绝缘夹具对所述阴极板进行夹持和释放，所述升降气缸滑动安装在所述电动吊轨上，所述电动吊轨通过所述升降气缸和所述绝缘夹具来将所述阴极板向所述电解装置外进行转移回收，所述电动吊轨、所述升降气缸和所述绝缘夹具均与所述重量检测及控制装置电性连接。
[0012]作为本专利技术的一种优选方案，所述阴极板通过所述绝缘夹具悬吊在所述电解装置
中，所述绝缘夹具通过所述重量检测及控制装置吊装在所述升降气缸上。
[0013]作为本专利技术的一种优选方案，所述绝缘夹具上安装有通过夹持而与所述阴极板电性连接的铜极，所述铜极将所述电解装置的负极与所述阴极板电性连接。
[0014]作为本专利技术的一种优选方案，所述绝缘夹具包括安装在所述重量检测及控制装置上的夹爪气缸和安装在所述夹爪气缸上的一对绝缘夹板，所述铜极安装在一对所述绝缘夹板相互靠近的内侧，且所述绝缘夹板的内侧设置有用于定位安装所述阴极板的定位隔离槽，所述定位隔离槽贯穿所述绝缘夹板的相对于所述夹爪气缸的底部，所述铜极位于所述定位隔离槽中，且所述定位隔离槽边缘的槽壁上安装有将所述铜极包围的密封圈。
[0015]作为本专利技术的一种优选方案，所述铜粉回收装置还包括位于所述电动吊轨下方的回收箱，所述回收箱与所述电解装置相邻设置，所述回收箱内设置有放置回收的所述阴极板的置板室，以及位于所述置板室下方的铜粉收集室，所述置板室与所述铜粉收集室之间通过多个通过孔连通；
[0016]所述置板室内安装有剥离定位装置和振动剥离装置，所述剥离定位装置将放入所述置板室中的所述阴极板进行夹持固定，所述振动剥离装置对所述剥离定位装置夹持所述阴极板进行高频振动，以使所述阴极板上附着的所述电解铜粉剥离并掉入所述铜粉收集室中。
[0017]作为本专利技术的一种优选方案，所述剥离定位装置包括定位夹板和推拉气缸，所述置板室的两侧均通过所述推拉气缸安装有所述定位夹板，两侧所述定位夹板的相互远离的外侧均设置有尾部插孔，所述推拉气缸的活塞杆与所述尾部插孔插接；
[0018]所述推拉气缸的活塞杆上套设有减振胶套，所述振动剥离装置通过连接两侧所述定位夹板将产生的高频振动传导至被夹持的所述阴极板上。
[0019]作为本专利技术的一种优选方案，两侧定位夹板的相互靠近的内侧均设置有多排三角棱，所述三角棱呈底面设置在所述定位夹板上的三角状，所述三角棱用于破开所述阴极板侧面附着的所述电解铜粉的包层。
[0020]作为本专利技术的一种优选方案，所述振动剥离装置包括振动器以及将所述振动器滑动安装在所述置板室内壁上的随动轨道，所述随动轨道通过所述振动器对所述定位夹板进行辅助支撑。
[0021]作为本专利技术的一种优选方案，所述定位夹板的两端均连接有所述振动器。
[0022]本专利技术与现有技术相比较具有如下有益效果：
[0023]本专利技术通过重量检测及控制装置对电解装置的阴极板的重量进行检测，当阴极板的重量因电解铜粉的不断附着而达到一定值时，重量检测及控制装置则控制铜粉回收装置将阴极板从电解装置的电解槽中取出并向外转移，避免了人工从电解装置中取出阴极板不便和不及时的弊端，以利于阴极板的及时更换以及电解铜粉的及时清理，从而避免阴极板上因混合有杂质的电解铜粉附着较多而导致电解铜粉的制取纯度和制取效率下降的情况发生。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本专利技术的实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅
仅是示例性的，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图引伸获得其它的实施附图。
[0025]图1为本专利技术的整体结构示意图；
[0026]图2为本专利技术的绝缘夹具的结构示意图；
[0027]图3为本专利技术的铜极的安装位置示意图；
[0028]图4为本专利技术的回收箱的结构示意图；
[0029]图5为本专利技术的回收箱的俯视图；
[0030]图6为本专利技术的定位夹板的结构示意图。
[0031]图中的标号分别表示如下：
[0032]1‑
电解装置；2
‑
重量检测及控制装置；3
‑
铜粉回收装置；4
‑
支架；5
‑
铜极；6
‑
定位隔离槽：7
‑
密封圈；8
‑
剥离定位装置；9
‑
振动剥离装置；10
‑
尾部插孔；11
‑
减振胶套；12
‑
三角棱；
[0033]101
‑
阴极板；
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体刻蚀液的金属回收系统，其特征在于，包括：电解装置(1)，用于对半导体刻蚀液进行电解，所述电解装置(1)具有阴极板(101)，所述电解装置(1)通过电解反应将所述半导体刻蚀液中的铜离子形成附着在所述阴极板(101)上的电解铜粉；重量检测及控制装置(2)，用于检测所述阴极板(101)的重量，以判断更换所述阴极板(101)的时刻；铜粉回收装置(3)，用于对所述阴极板(101)进行回收，所述铜粉回收装置(3)与所述重量检测及控制装置(2)电性连接，所述阴极板(101)因所述电解铜粉的附着而达到设定重量时，所述重量检测及控制装置(2)控制所述铜粉回收装置(3)对所述阴极板(101)进行回收。2.根据权利要求1所述的一种半导体刻蚀液的金属回收系统，其特征在于，所述铜粉回收装置(3)包括电动吊轨(301)、安装在所述电动吊轨(301)上的升降气缸(302)，以及安装在所述升降气缸(302)上的绝缘夹具(303)，所述电动吊轨(301)通过支架(4)设置于所述电解装置(1)的正上方，所述升降气缸(302)通过所述绝缘夹具(303)对所述阴极板(101)进行夹持和释放，所述升降气缸(302)滑动安装在所述电动吊轨(301)上，所述电动吊轨(301)通过所述升降气缸(302)和所述绝缘夹具(303)来将所述阴极板(101)向所述电解装置(1)外进行转移回收，所述电动吊轨(301)、所述升降气缸(302)和所述绝缘夹具(303)均与所述重量检测及控制装置(2)电性连接。3.根据权利要求2所述的一种半导体刻蚀液的金属回收系统，其特征在于，所述阴极板(101)通过所述绝缘夹具(303)悬吊在所述电解装置(1)中，所述绝缘夹具(303)通过所述重量检测及控制装置(2)吊装在所述升降气缸(302)上。4.根据权利要求3所述的一种半导体刻蚀液的金属回收系统，其特征在于，所述绝缘夹具(303)上安装有通过夹持而与所述阴极板(101)电性连接的铜极(5)，所述铜极(5)将所述电解装置(1)的负极与所述阴极板(101)电性连接。5.根据权利要求4所述的一种半导体刻蚀液的金属回收系统，其特征在于，所述绝缘夹具(303)包括安装在所述重量检测及控制装置(2)上的夹爪气缸(3031)和安装在所述夹爪气缸(3031)上的一对绝缘夹板(3032)，所述铜极(5)安装在一对所述绝缘夹板(3032)相互靠近的内侧；所述绝缘夹板(3032)的内侧设置有用于定位安装所述阴极板(101)的定位隔离槽(6)，所述定位隔离槽(6)贯穿所述绝缘夹板(3032)的相对于所述夹爪气...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱俭，李兰，李文涛，
申请(专利权)人：理纯上海洁净技术有限公司，
类型：发明
国别省市：