本实用新型专利技术公开了一种用于晶圆异常检测的点墨装置，包括异常检测单元、点墨单元、工作台、X轴移动单元、Y轴移动单元、旋转单元和机架，所述异常检测单元与点墨单元固定连接，所述工作台用于承载晶圆，所述异常检测单元固定于所述机架上并且朝向所述工作台设置，所述点墨单元对所述工作台上的晶圆进行标记，所述X轴移动单元控制所述工作台沿X轴移动，所述Y轴移动单元控制所述工作台沿Y轴移动，所述旋转单元控制所述工作台做回转运动。本实用新型专利技术的有益效果是，点墨位置精确、点墨单元与异常检测单元协同性好。测单元协同性好。测单元协同性好。
【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆异常检测的点墨装置
[0001]本技术涉及半导体生产辅助设备
，特别是一种用于晶圆异常检测的点墨装置。
技术介绍
[0002]在半导体生产中，随着晶圆的尺寸增大以及元件的尺寸缩小，一片晶圆可依需要划分为数千个相同或不同的晶粒。由于制程设计或材料本身的特性，最后完成的晶圆具有正常晶粒及缺陷晶粒。一般是以测试机台来测试晶圆上每一个晶粒，以确保晶粒的电气特性与效能符合设计规格。在测试过程中若发现缺陷晶粒则需进行标记，包括以墨水喷涂于缺陷晶粒上，方便后续取出该不合格品。
[0003]现有技术中的点墨单元，具有单独的带动引墨线沿着导引座内壁上下运动的驱动机构，在打点时，先由检测单元定位不良晶粒，然后点墨单元的驱动机构启动带动点墨单元向需要打点的部位移动，采用该种方式，点墨单元与检测单元分别单独运动，点墨单元在寻找点墨部位的时候可能并不会准确无误的到达需点墨位置，便出现了位置的偏移。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是为了解决上述问题，设计了一种用于晶圆异常检测的点墨装置，包括异常检测单元、点墨单元、工作台、X轴移动单元、Y轴移动单元、旋转单元和机架，所述异常检测单元与点墨单元固定连接，所述工作台用于承载晶圆，所述异常检测单元固定于所述机架上并且朝向所述工作台设置，所述点墨单元对所述工作台上的晶圆进行标记，所述X轴移动单元控制所述工作台沿X轴移动，所述Y轴移动单元控制所述工作台沿Y轴移动，所述旋转单元控制所述工作台做回转运动。
[0005]进一步地，所述异常检测单元包括Z轴移动组件和检测相机，所述Z轴移动组件控制检测相机沿Z轴移动。
[0006]进一步地，所述Z轴移动组件包括第一驱动件、第一传动机构、第一丝杠、第一螺母和支撑板，所述第一驱动件通过第一传动机构与第一丝杠相连接，所述第一丝杠与第一螺母螺纹连接，所述第一螺母上固定有支撑板，所述检测相机与所述支撑板固定连接。
[0007]进一步地，所述螺母与所述支撑板之间设置有第一导轨和第一滑块，所述第一导轨与所述第一螺母固定连接，所述第一导轨上滑动设置有第一滑块，所述第一滑块与所述支撑板固定连接。
[0008]进一步地，所述点墨单元包括点墨针和固定架，所述固定架与所述检测相机固定连接，所述点墨针夹持于所述固定架上。
[0009]进一步地，所述X轴移动单元包括第二驱动件、第二传动机构、第二丝杠和第二螺母，所述第二驱动件固定于机架上，所述第二驱动件通过第二传动机构与所述第二丝杠连接，所述第二丝杠上螺纹连接有第二螺母，所述第二螺母上固定有第一承载台。
[0010]进一步地，所述第一承载台和所述机架之间设置有第二导轨、第二滑块，所述机架
上固定有第二导轨，所述第二导轨上滑动设置有第二滑块，所述第二滑块与所述第一承载台固定连接。
[0011]进一步地，所述Y轴移动单元包括第三驱动件、第三传动机构、第三丝杠和第三螺母，所述第三驱动件与所述承载台固定连接，所述第三驱动件通过第三传动机构与所述第三丝杠连接，所述第三丝杠上螺纹连接有第三螺母，所述第三螺母上固定连接有第二承载台。
[0012]进一步地，所述旋转单元包括旋转电机、主动带轮和从动带轮，所述旋转电机与所述主动带轮固定连接，所述主动带轮通过传送带与所述从动带轮传动连接，所述从动带轮上穿设有转轴，所述转轴与所述工作台固定连接。
[0013]进一步地，所述工作台上开设有用于承载晶圆的凹糟，所述工作台上设置有至少两个同圆心的凹槽。
[0014]利用本技术的技术方案制作的一种用于晶圆异常检测的点墨装置，所达到的有益效果：点墨针和检测相机固定在一起，在Z轴移动组件带动检测相机进行移动时，点墨针也跟随检测相机共同移动，当检测相机检测到晶圆表面的异常位置，点墨针刚好接触到晶圆上的异常点进行点墨，二者保持相同的运动路径，避免检测的点墨需要分成两个工序进行，节约了测试时间；工作台不仅可以实现沿机架X轴方向和Y轴方向的移动，还可以发生自身的回转运动，三个方向上的运动相互结合，协同运动，使工作台的不同位置置于检测相机正下方，便于调节检测区域，进一步保证了检测精度。
附图说明
[0015]图1是本技术所述一种用于晶圆异常检测的点墨装置的立体图；
[0016]图2是本技术所述工作台的立体图；
[0017]图3是本技术所述异常检测单元与点墨单元的主视图；
[0018]图4是本技术所述异常检测单元与点墨单元的立体图；
[0019]图5是本技术所述X轴移动单元的结构示意图；
[0020]图6是本技术所述Y轴移动单元的结构示意图；
[0021]图7是本技术所述旋转单元的结构示意图；
[0022]图中，1、异常检测单元；11、Z轴移动组件；111、第一驱动件；112、第一传动机构；113、第一丝杠；114、第一螺母；115、支撑板；116、第一导轨；117、第一滑块；12、检测相机；2、点墨单元；21、点墨针；22、固定架；3、工作台；31、凹糟；4、X轴移动单元；41、第二驱动件；42、第二传动机构；43、第二丝杠；44、第二螺母；45、第一承载台；46、第二导轨；47、第二滑块；5、Y轴移动单元；51、第三驱动件；52、第三传动机构；53、第三丝杠；54、第三螺母；55、第二承载台；6、旋转单元；61、旋转电机；62、主动带轮；63、从动带轮；7、机架。
具体实施方式
[0023]为了更好的理解本技术，下面结合具体实施例和附图对本技术进行进一步的描述，如图1和图2所示，一种用于晶圆异常检测的点墨装置。包括异常检测单元1、点墨单元2、工作台3、X轴移动单元4、Y轴移动单元5、旋转单元6和机架7，所述异常检测单元1与点墨单元2固定连接，所述工作台3用于承载晶圆，所述异常检测单元1固定于所述机架7上
并且朝向所述工作台3设置，所述点墨单元2对所述工作台3上的晶圆进行标记，所述X轴移动单元4控制所述工作台3沿X轴移动，所述Y轴移动单元5控制所述工作台3沿Y轴移动，所述旋转单元6控制所述工作台3做回转运动。所述工作台3上开设有用于承载晶圆的凹糟31，所述工作台3上设置有至少两个同圆心的凹槽31。晶圆放置于工作台3上，工作台3上的凹槽上设置有多个规格，适用于不同的晶圆，异常检测单元1对晶圆上的异常部位进行检测与信息采集，由点墨单元2对异常的部位进行标记，在进行异常位置筛查时，工作台3在X轴移动单元4和Y轴移动单元5的控制下进行相互垂直的两个方向上的移动，旋转单元6使得工作台3做回转运动，X轴移动单元4、Y轴移动单元5和旋转单元6相互配合使得异常检测单元1对晶圆的不同部位进行异常信息检测。异常检测单元1与点墨单元2固定连接，点墨单元2随着异常检测单元1的移动而移动，同时实现异常检测单元1的移动和点墨单元2的点墨操作。
[0024]如图3、4所示，所述异常检测单元1包括Z轴移动组件11和检测相机12，所述Z轴移动组件11控制检测相机12本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆异常检测的点墨装置，其特征在于，包括异常检测单元(1)、点墨单元(2)、工作台(3)、X轴移动单元(4)、Y轴移动单元(5)、旋转单元(6)和机架(7)，所述异常检测单元(1)与点墨单元(2)固定连接，所述工作台(3)用于承载晶圆，所述异常检测单元(1)固定于所述机架(7)上并且朝向所述工作台(3)设置，所述点墨单元(2)对所述工作台(3)上的晶圆进行标记，所述X轴移动单元(4)控制所述工作台(3)沿X轴移动，所述Y轴移动单元(5)控制所述工作台(3)沿Y轴移动，所述旋转单元(6)控制所述工作台(3)做回转运动。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆异常检测的点墨装置，其特征在于，所述异常检测单元(1)包括Z轴移动组件(11)和检测相机(12)，所述Z轴移动组件(11)控制检测相机(12)沿Z轴移动。3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆异常检测的点墨装置，其特征在于，所述Z轴移动组件(11)包括第一驱动件(111)、第一传动机构(112)、第一丝杠(113)、第一螺母(114)和支撑板(115)，所述第一驱动件(111)通过第一传动机构(112)与第一丝杠(113)相连接，所述第一丝杠(113)与第一螺母(114)螺纹连接，所述第一螺母(114)上固定有支撑板(115)，所述检测相机(12)与所述支撑板(115)固定连接。4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆异常检测的点墨装置，其特征在于，所述第一螺母(114)与所述支撑板(115)之间设置有第一导轨(116)和第一滑块(117)，所述第一导轨(116)与所述第一螺母(114)固定连接，所述第一导轨(116)上滑动设置有第一滑块(117)，所述第一滑块(117)与所述支撑板(115)固定连接。5.根据权利要求3所述的一种用于晶圆异常检测的点墨装置，其特征在于，所述点墨单元(2)包括点墨针(21)和固定架(22)，所述固定架(22)与所述检测相机(12)固定连接，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：印晴佳，
申请(专利权)人：上海屹壹电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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