本发明专利技术公开了硅片加工设备技术领域的一种带有废水收集装置的全自动硅片清洗机，包括，清洗箱，包括箱体，所述箱体前侧和底部均呈开口状，所述箱体两侧内壁的底部均设置有导轨，且两组所述导轨均与活动框滑动连接，所述活动框的中部均匀设置有安装板，且安装板的顶部均匀设置有放置座，所述箱体的前侧铰接有箱门，所述箱体两侧的中部均通过轴承转动连接有转轴，且两组所述转轴的相对侧均与喷淋盘连接，齿条可以带动齿轮做正反交替旋转，进而能够带动喷淋盘做正反交替摆动，从而可以对硅片进行多角度喷洗，清洗更加全面，且通过偏心轮和弹簧，使得电机带动偏心轮单向旋转即可带动喷淋盘正反交替摆动，降低了电机的能耗。降低了电机的能耗。降低了电机的能耗。
【技术实现步骤摘要】
一种带有废水收集装置的全自动硅片清洗机
[0001]本专利技术涉及硅片加工设备
，具体为一种带有废水收集装置的全自动硅片清洗机。
技术介绍
[0002]半导体器件生产中硅片须经严格清洗，微量污染也会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物，这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面，会导致各种缺陷，因此需要使用到硅片清洗机。
[0003]传统的硅片清洗机通过高压喷嘴清洗硅片，片子不易产生划痕和损伤，但是不能够调节高压喷嘴的角度，导致清洗得不够全面，且清洗废水直接排走，不利于循环利用，为此，我们提出一种带有废水收集装置的全自动硅片清洗机。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种带有废水收集装置的全自动硅片清洗机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种带有废水收集装置的全自动硅片清洗机，包括，清洗箱，包括箱体，所述箱体前侧和底部均呈开口状，所述箱体两侧内壁的底部均设置有导轨，且两组所述导轨均与活动框滑动连接，所述活动框的中部均匀设置有安装板，且安装板的顶部均匀设置有放置座，所述箱体的前侧铰接有箱门，所述箱体两侧的中部均通过轴承转动连接有转轴，且两组所述转轴的相对侧均与喷淋盘连接，所述喷淋盘的顶部与软管连通，且软管的顶部与送水管连通，右侧所述转轴的右端套设有齿轮，所述齿轮的底部啮合连接有齿条，所述齿条滑动连接在箱体上，所述齿条的后侧设置有与箱体连接的弹簧，所述齿条的前侧转动安装有滚轮，且滚轮的前侧与偏心轮滚动连接，所述偏心轮套设在电机的动力端上，且电机设置在箱体上；废水收集装置。
[0006]作为本专利技术所述一种带有废水收集装置的全自动硅片清洗机的一种优选方案，其中：所述箱门的中部嵌接有观察窗。
[0007]作为本专利技术所述一种带有废水收集装置的全自动硅片清洗机的一种优选方案，其中：所述活动框顶部的前侧设置有把手，且把手呈倒U型结构。
[0008]作为本专利技术所述一种带有废水收集装置的全自动硅片清洗机的一种优选方案，其中：所述废水收集装置包括设置在箱体底部的收集槽，所述收集槽的左侧设置有泵机，且泵机的进水口与收集槽连通，所述泵机的排水口与传输管的一端连通，所述传输管的另一端连通有送水装置，且送水装置与收集桶的桶口相对。
[0009]作为本专利技术所述一种带有废水收集装置的全自动硅片清洗机的一种优选方案，其中：所述送水装置包括与传输管连通的连接管，所述连接管的外侧竖向开设有滑槽，所述滑槽上滑动连接有滑块，且滑块的底部设置有滑动套设在连接管上的套管，且套管的底端延伸至收集桶的桶口内。
[0010]作为本专利技术所述一种带有废水收集装置的全自动硅片清洗机的一种优选方案，其中：所述滑槽对称设置有两组，且两组所述滑槽的横截面均呈T型结构。
[0011]作为本专利技术所述一种带有废水收集装置的全自动硅片清洗机的一种优选方案，其中：所述滑块与套管一体成型。
[0012]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：将活动框抽出，在放置座上放置好待清洗的硅片后，推回活动框，喷淋盘可以喷洗硅片，同时电机驱动偏心轮旋转，使得齿条可以带动齿轮做正反交替旋转，进而能够带动喷淋盘做正反交替摆动，从而可以对硅片进行多角度喷洗，清洗更加全面，且通过偏心轮和弹簧，使得电机带动偏心轮单向旋转即可带动喷淋盘正反交替摆动，降低了电机的能耗，清洗废水通过活动框的中部落至收集槽内，通过泵机抽出，通过送水装置送进收集桶内收集，便于后续运走，经过处理后可以再次使用。
附图说明
[0013]图1为本专利技术一种带有废水收集装置的全自动硅片清洗机的整体结构示意图；
[0014]图2为本专利技术一种带有废水收集装置的全自动硅片清洗机的局部结构示意图；
[0015]图3为本专利技术一种带有废水收集装置的全自动硅片清洗机所述的送水装置结构剖视示意图。
[0016]图中：100、清洗箱；101、箱体；102、导轨；103、活动框；104、安装板；105、放置座；106、箱门；107、喷淋盘；108、送水管；109、齿轮；1010、齿条；1011、弹簧；1012、滚轮；1013、偏心轮；1014、电机；200、废水收集装置；201、收集槽；202、泵机；203、传输管；204、送水装置；2041、连接管；2042、滑槽；2043、滑块；2044、套管；205、收集桶。
具体实施方式
[0017]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0018]实施例1
[0019]参照图1至图2，一种带有废水收集装置的全自动硅片清洗机，包括，清洗箱100，包括箱体101，箱体101前侧和底部均呈开口状，箱体101两侧内壁的底部均设置有导轨102，且两组导轨102均与活动框103滑动连接，使得活动框103可以抽出，活动框103的中部均匀设置有安装板104，且安装板104的顶部均匀设置有放置座105，用于竖向放置硅片，箱体101的前侧铰接有箱门106，箱体101两侧的中部均通过轴承转动连接有转轴，且两组转轴的相对侧均与喷淋盘107连接，喷淋盘107的顶部与软管连通，且软管的顶部与送水管108连通，送水管108外接带有泵机的水源，通过水泵抽水向送水管108内送水，使得软管可以将清洗水送进喷淋盘107内喷出，设置软管，使得喷淋盘107摆动时，送水不受影响，右侧转轴的右端套设有齿轮109，齿轮109的底部啮合连接有齿条1010，齿条1010滑动连接在箱体101上，使得齿条1010可以沿前后方向移动，齿条1010的后侧设置有与箱体101连接的弹簧1011，使得齿条1010可以自动复位，齿条1010的前侧转动安装有滚轮1012，且滚轮1012的前侧与偏心轮1013滚动连接，偏心轮1013套设在电机1014的动力端上，且电机1014设置在箱体101上，
电机1014通过减速机连接其动力端，文中所有的电器元件均通过外部电源开关控制，且通过外部电源导线连接外部电源；
[0020]废水收集装置200，用于收集清洗废水。
[0021]参照图1，箱门106的中部嵌接有观察窗，方便观察。
[0022]参照图1至图2，活动框103顶部的前侧设置有把手，且把手呈倒U型结构，方便拉动活动框103。
[0023]参照图1至图3，废水收集装置200包括设置在箱体101底部的收集槽201，清洗废水通过活动框103的中部落进收集槽201内，收集槽201的左侧设置有泵机202，且泵机202的进水口与收集槽201连通，泵机202的排水口与传输管203的一端连通，传输管203的另一端连通有送水装置204，且送水装置204与收集桶205的桶口相对，通过泵机202抽出收集槽201内的清本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种带有废水收集装置的全自动硅片清洗机，其特征在于：包括，清洗箱(100)，包括箱体(101)，所述箱体(101)前侧和底部均呈开口状，所述箱体(101)两侧内壁的底部均设置有导轨(102)，且两组所述导轨(102)均与活动框(103)滑动连接，所述活动框(103)的中部均匀设置有安装板(104)，且安装板(104)的顶部均匀设置有放置座(105)，所述箱体(101)的前侧铰接有箱门(106)，所述箱体(101)两侧的中部均通过轴承转动连接有转轴，且两组所述转轴的相对侧均与喷淋盘(107)连接，所述喷淋盘(107)的顶部与软管连通，且软管的顶部与送水管(108)连通，右侧所述转轴的右端套设有齿轮(109)，所述齿轮(109)的底部啮合连接有齿条(1010)，所述齿条(1010)滑动连接在箱体(101)上，所述齿条(1010)的后侧设置有与箱体(101)连接的弹簧(1011)，所述齿条(1010)的前侧转动安装有滚轮(1012)，且滚轮(1012)的前侧与偏心轮(1013)滚动连接，所述偏心轮(1013)套设在电机(1014)的动力端上，且电机(1014)设置在箱体(101)上；废水收集装置(200)。2.根据权利要求1所述的一种带有废水收集装置的全自动硅片清洗机，其特征在于：所述箱门(106)的中部嵌接有观察窗。3.根据权利要求1所述的一种带有废水收集装置的全...
【专利技术属性】
技术研发人员：何飞，洪布双，蔡鹏，
申请(专利权)人：江苏德润光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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