【技术实现步骤摘要】
一种带有尾气净化功能的多晶硅片切片机
[0001]本专利技术涉及多晶硅片切片机
,具体为一种带有尾气净化功能的多晶硅片切片机。
技术介绍
[0002]多晶硅片,是单质硅的一种形态,熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅。现有的多晶硅片切片机在对多晶硅片进行工作时,会产生大量的尾气,现有的多晶硅片切片机不带有净化装置,部分带有净化装置的多晶硅片切片机废气净化质量较差,在长期使用后不方便对内部的过滤结构进行更换,使用寿命较短。为此,我们提出一种带有尾气净化功能的多晶硅片切片机。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的在于提供一种带有尾气净化功能的多晶硅片切片机,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种带有尾气净化功能的多晶硅片切片机,包括,
[0005]基础组件,所述基础组件包括多晶硅片切片机主体,所述多晶硅片切片机主体顶部设置有引风机 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种带有尾气净化功能的多晶硅片切片机,其特征在于:包括,基础组件(1),所述基础组件(1)包括多晶硅片切片机主体(11),所述多晶硅片切片机主体(11)顶部设置有引风机(12),所述引风机(12)的输入端通过管道与多晶硅片切片机主体(11)的排气端连通,所述引风机(12)的输出端设置有相连通的排气管(13);净化装置(2),所述净化装置(2)包括筒体(21),且筒体(21)内活动设置有外筒(22),所述外筒(22)内活动设置有相配合的内筒(216),所述内筒(216)和外筒(22)的圆周外壁均匀开设有渗孔(23),所述内筒(216)和外筒(22)之间填充有活性炭颗粒,所述内筒(216)内腔顶部和内腔底部分别插设有连接气管(26)和支撑柱,所述连接气管(26)另一端上下活动贯穿筒体(21)并通过轴承与排气管(13)另一端转动连通,所述支撑柱底部通过轴承与筒体(21)底部内壁转动连接,所述外筒(22)内腔顶部和内腔底部均固定设置有对接座(25),两组所述对接座(25)相背一侧均呈弧形,顶部和底部所述对接座(25)分别活动贯穿筒体(21)顶部和底部,所述对接座(25)一侧上下贯穿开设有与外筒(22)内腔连通的弧形口,两组所述对接座(25)相背一侧均可拆卸设置有相适配的弧形封板(27),所述筒体(21)底部且处于外筒(22)外侧的位置插设有相连通的出气管(24)。2.根据权利要求1所述的一种带有尾气净化功能的多...
【专利技术属性】
技术研发人员:蔡鹏,洪布双,何飞,
申请(专利权)人:江苏德润光电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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