用于表面安装用途的毫米波滤波器制造技术

一种用于表面安装用途的一个毫米波滤波器包括具有相对表面的一绝缘基片。一磨平层形成在绝缘基片的一表面上。至少一低温共焙烧陶瓷层位于磨平层之上和形成一外滤波器表面。形成为条带或微带的多个耦合线路毫米波长谐振器位于外滤波器表面上。这些谐振器可以是平行耦合线路滤波器，包括发夹式谐振器。射频接线端触点位于绝缘基片的、与至少一低温共焙烧陶瓷层相对的表面上。诸导电通路通过至少一低温共焙烧陶瓷层、磨平层和绝缘基片延伸，并互连射频接线端触点和耦合的线路谐振器。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及毫米波滤波器，更具体地，本专利技术涉及例如平行耦合的线路滤波器(line filter)的毫米波滤波器。
技术介绍
藉助对本
的那些熟练人员已知的技术、使用薄膜工艺通常已设计和制造了高性能毫米波(MMW)滤波器。使用薄膜工艺的任何制造技术要求紧密的设计容限实现在各种毫米波频率下的一所需的滤波器响应。这些容限包括有关材料厚度、表面粗糙度、介电常数、金属化厚度以及传送线宽度和间距的必需的和关键的尺寸。在这些现有技术薄膜滤波器设计中，滤波器长度和滤波器宽度通常因为波长变化而以频带的一函数而变化。在滤波器长度中的任何变化都难于设计跨越多个频率的一共用的射频组件方案。因为这些高频的薄膜工艺，滤波器是昂贵的，通常单独地制造它们，然后作为一无屏蔽的半导体小硅片附连于一载体板或用环氧树脂或焊料直接附连于一壳体。当毫米波生产紧密地向实现高容量表面安装制造技术靠拢时，需要有能用在高频的低成本表面安装滤波器。如果利用一层或多层厚膜、带有相关联的低制造容限的低温共焙烧(co-fired)陶瓷工艺(LTCC)能够制造低成本、高性能毫米波滤波器将是有利的。使用这工艺的任何毫米波滤波器将必须本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于表面安装用途的毫米波滤波器，它包括：具有相对表面的一绝缘基片；形成在绝缘基片的一表面上的一磨平层；位于磨平层上的至少一低温共焙烧陶瓷层，该层形成一外滤波器表面；形成为条带或微带的、和位于外滤波器表面上 的多个耦合线路毫米波长谐振器；位于绝缘基片的、与该至少一低温共焙烧陶瓷层相对的表面上的射频接线端触点；以及通过该至少一低温共焙烧陶瓷层、磨平层和绝缘基片延伸的诸导电通路，各导电通路互连所述射频接线端触点和一耦合线路谐振器。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：DF埃玛，E菲舍尔，
申请(专利权)人：柴川斯股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]