一种紫外脉冲激光器制造技术

本申请提供了一种紫外脉冲激光器，包括壳体；光纤输出泵浦源，与所述壳体固定连接，用于产生泵浦光；准直镜，嵌设于上述壳体的壳壁上，和上述光纤输出泵浦源与上述壳体形成密闭空间；耦合镜组和激光谐振腔，容置于上述密闭空间中，且沿上述泵浦光的光路依次设置，用于产生基频激光；第一反射镜组和第二反射镜组，容置于上述密闭空间中，上述第一反射镜组设置于上述基频激光的光路上，上述第二反射镜组设置于上述第一反射镜组的反射光路上，上述第二反射镜组的反射面与上述第一反射镜组的反射面相对设置，上述第二反射镜组的反射光通过上述准直镜投射至上述壳体外。通过上述方式，本申请能够提高紫外脉冲激光器的结构紧凑性。请能够提高紫外脉冲激光器的结构紧凑性。请能够提高紫外脉冲激光器的结构紧凑性。

【技术实现步骤摘要】
一种紫外脉冲激光器


[0001]本申请属于紫外脉冲激光和非线性光学晶体抗损伤
，具体涉及一种紫外脉冲激光器。

技术介绍

[0002]采用脉冲激光腔外频率变换技术的紫外波长脉冲激光器具有稳定性好、成本低、结构紧凑、转换效率高、性能可靠、体积小和光束质量好等特点，在陶瓷打孔、宝石切割、细微打孔以及塑料薄膜表面打标等工业微加工领域的应用获得了较快的发展，是目前工业加工领域获得紫外激光输出的主要技术之一。该类紫外激光器主要采用1m到1.1m的脉冲激光器作为基频光，通过腔外倍频后，剩余的基频光与倍频光通过腔外和频完成从基频光到紫外激光的频率变换。
[0003]对于直腔式基频激激光谐振腔的脉冲紫外激光器，在基频光输出后继续加入倍频晶体、和频晶体和相关的耦合镜及准直系统后的激光器占据空间较大，结构协调性差，影响了激光器在下游相关仪器设备中的应用。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本申请提供一种紫外脉冲激光器，能够提高紫外脉冲激光器的结构紧凑性。
[0005]为解决上述技术问题，本申请提供一种紫外脉冲激光器，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种紫外脉冲激光器，其特征在于，包括：壳体；光纤输出泵浦源，与所述壳体固定连接，用于产生泵浦光；准直镜，嵌设于所述壳体的壳壁上，和所述光纤输出泵浦源与所述壳体形成密闭空间；耦合镜组和激光谐振腔，容置于所述密闭空间中，且沿所述泵浦光的光路依次设置，用于产生基频激光；第一反射镜组和第二反射镜组，容置于所述密闭空间中，所述第一反射镜组设置于所述基频激光的光路上，所述第二反射镜组设置于所述第一反射镜组的反射光路上，所述第二反射镜组的反射面与所述第一反射镜组的反射面相对设置，所述第二反射镜组的反射光通过所述准直镜投射至所述壳体外。2.根据权利要求1所述的紫外脉冲激光器，其特征在于，所述紫外脉冲激光器进一步包括微型自净化组件，所述微型自净化组件容置于所述密闭空间中，用于清洁所述密闭空间。3.根据权利要求2所述的紫外脉冲激光器，其特征在于，所述微型自净化组件包括风机、滤芯和外壳，所述外壳与所述壳体固定连接，所述滤芯与所述风机连接，所述滤芯设有入风口，所述风机能够通过所述入风口将气体吸入所述滤芯进行过滤，并将过滤后的气体输出。4.根据权利要求1所述的紫外脉冲激光器，其特征在于，所述紫外脉冲激光器进一步包括扩束镜，所述扩束镜容置于所述密闭空间中，且沿所述第二反射镜组的反射光路设置，且所述扩束镜的入射面和出射面均设有和频紫外光增透膜。5.根据权利要求1所述的紫外脉冲激光器，其特征在于，所述紫外脉冲激光器进一步包括倍频晶体和和频晶体，所述倍频晶体用于将所述基频激光变换为倍频激光，所述和频晶体将所述基频激光和所述倍频激光变换为和频紫外光。6.根据权利要求5所述的紫外脉...

【专利技术属性】
技术研发人员：檀慧明，王军营，
申请(专利权)人：深圳联品激光技术有限公司，
类型：发明
国别省市：