一种硅基液晶芯片的测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅基液晶芯片的测试装置，包括：依次设置在入射光光路上的第一准直器、检偏器、复合透镜以及硅基液晶(LCOS)芯片，入射光经所述第一准直器、所述检偏器和所述复合透镜到达所述LCOS芯片，所述LCOS芯片用于对所述入射光进行偏转后出射；出射光包括多种角度；所述装置还包括设置在出射光路上的第二准直器，以及光功率设备；所述复合透镜用于将所述LCOS芯片偏转后的出射光变换为平行的出射光；所述第二准直器用于接收并发出经所述复合透镜的所述平行的出射光；所述光功率设备连接所述第二准直器的输出端，用于采集所述第二准直器发出的出射光的功率。本实用新型专利技术的硅基液晶芯片的测试装置结构简单，可快速测量LCOS芯片的光学性能。LCOS芯片的光学性能。LCOS芯片的光学性能。

【技术实现步骤摘要】
一种硅基液晶芯片的测试装置


[0001]本技术涉及光学
，尤其涉及一种硅基液晶芯片的测试装置。

技术介绍

[0002]波长选择开关(WSS，Wavelength Selective Switch)具有任意端口波长任意上下行的功能，是可重构光分插复用器(ROADM，Reconfigurable Optical Add
‑
Drop Multiplexer)中的重要光器件。为了支持更高调制速率、更多网络通道数以及更高的网络灵活性，人们将目光转向了带宽可调的波长选择开关，比如，基于硅基液晶(LCOS，Liquid Crystal on Silicon)芯片的波长选择开关。
[0003]在基于LCOS芯片的波长选择开关中，对LCOS芯片加载一定的周期性图案，可以实现对空间光束的一定偏转，使光信号由波长选择开关的某一端口输出。LCOS芯片上加载的周期性图案，使LCOS芯片上相位成周期性分布，从而产生光栅的衍射特性，使光的能量大致集中从某一角度出射，然而，也会存在一些能量的光从其它角度出射，影响波长选择开关的输出端口和耦合端口之间的隔离度，故需对LCOS芯片偏折后的光信号能量分布进行测试。

技术实现思路

[0004]为解决现有存在的技术问题，本技术实施例提供一种硅基液晶芯片的测试装置。
[0005]为达到上述目的，本技术实施例的技术方案是这样实现的：
[0006]本技术实施例提供一种硅基液晶芯片的测试装置，包括：依次设置在入射光路上的第一准直器、检偏器、复合透镜以及硅基液晶LCOS芯片，入射光经所述第一准直器、所述检偏器和所述复合透镜到达所述LCOS芯片，所述LCOS芯片用于对所述入射光进行偏转后出射；出射光包括多种角度；
[0007]所述装置还包括设置在出射光路上的第二准直器，以及光功率设备；
[0008]所述复合透镜，用于将所述LCOS芯片偏转后的出射光变换为平行的出射光；
[0009]所述第二准直器，用于接收并发出经所述复合透镜的所述平行的出射光；
[0010]所述光功率设备，连接所述第二准直器的输出端，用于采集所述第二准直器发出的出射光的功率。
[0011]在上述方案中，所述装置还包括可调谐激光器；所述可调谐激光器连接所述第一准直器，用于生成所述入射光。
[0012]在上述方案中，所述装置还包括可移动调整架；所述第二准直器设置在所述可移动调整架上。
[0013]在上述方案中，所述可移动调整架为高度可调整的可移动调整架，以通过调整所述第二准直器的高度来接收经所述LCOS芯片偏转后的多种角度的出射光。
[0014]在上述方案中，所述装置还包括第一上位机，所述第一上位机用于通过LCOS芯片驱动电路对所述LCOS芯片加载周期性驱动图案，以使所述LCOS芯片对所述入射光进行偏转
后集中在指定角度出射。
[0015]在上述方案中，所述装置还包括第二上位机，所述第二上位机与所述可移动调整架电连接，用于向所述可移动调整架发送指令，所述指令用于所述可移动调整架升高或降低，以调节所述第二准直器的高度。
[0016]在上述方案中，所述光功率设备为光功率计。
[0017]在上述方案中，所述检偏器还位于所述出射光路上，所述第二准直器还用于接收并发出经所述复合透镜和所述检偏器的所述平行的出射光。
[0018]本技术实施例的硅基液晶芯片的测试装置，通过复合透镜将LCOS芯片的偏转光束变为平行光束，只需对LCOS芯片加载一周期性驱动图案，便可快速测试出偏转光束在各个角度方向上的能量分布。
附图说明
[0019]图1为本技术实施例的硅基液晶芯片的测试装置的组成结构示意图一；
[0020]图2为本技术实施例的硅基液晶芯片的测试光路示意图；
[0021]图3为本技术实施例的硅基液晶芯片的测试装置的组成结构示意图二。
具体实施方式
[0022]下面结合附图及具体实施例对本技术作进一步详细的说明。
[0023]本技术实施例提供了一种硅基液晶芯片的测试装置，图1为本技术实施例的硅基液晶芯片的测试装置的组成结构示意图一，如图1所示，装置100包括：依次设置在入射光路上的第一准直器101、检偏器102、复合透镜103以及LCOS芯片104，入射光经所述第一准直器101、所述检偏器102和所述复合透镜103到达所述LCOS芯片104，所述LCOS芯片104用于对所述入射光进行偏转后出射；出射光包括多种角度。
[0024]所述装置100还包括光功率设备106以及设置在出射光路上的第二准直器105；所述复合透镜103，用于将所述LCOS芯片104偏转后的出射光变换为平行的出射光；所述第二准直器105，用于接收并发出经所述复合透镜103的所述平行的出射光；所述光功率设备106，连接所述第二准直器105的输出端，用于采集所述第二准直器105发出的出射光的功率。
[0025]本实施例中，所述装置100用于分析LCOS芯片104对特定的测试光线(即入射光)进行偏转后的出射光在多个角度上的能量分布。所述入射光可由激光器产生，可选的，所述装置100还可以包括可调谐激光器，所述可调谐激光器连接所述第一准直器的输入端，用于生成不同波长的激光，以保证LCOS芯片测试结果的多样性和准确性。
[0026]图2为本技术实施例的硅基液晶芯片的测试光路示意图，入射光通过第一准直器101进入装置100，首先通过检偏器102使得入射光的偏振态满足LCOS芯片104对入射光偏振态的要求，再通过复合透镜103使得入射光按照设定的角度和光斑大小入射至LCOS芯片104。
[0027]LCOS芯片通过加载一周期性驱动图案，能够实现对空间光束的偏转。示例性的，所述装置100还包括第一上位机，所述第一上位机通过LCOS芯片驱动电路对所述LCOS芯片104加载周期性驱动图案，可以使得LCOS芯片104上相位成周期性分布，从而产生光栅的衍射特
性，使入射光发生偏转集中从指定角度出射，如图2中的出射光路径111，但同时也会存在部分入射光以其它角度出射，本实施例在图2中示意了两种以其它角度出射的出射光路径112和路径113。
[0028]经LCOS芯片104偏折后的出射光通过复合透镜103变为平行光线，并向第二准直器105方向出射，所述第二准直器105的输出端连接光功率设备106(图2未示出)，所述光功率设备106用于采集多种角度的出射光对应的平行光的功率，可选的，所述光功率设备106为光功率计。
[0029]作为一种实施方式，所述装置100包括多个第二准直器105，所述多个第二准直器105分别放置在所述平行的出射光的不同路径上，以同时采集经LCOS芯片104偏转后的多个角度的出射光的光功率。
[0030]作为另一种实施方式，所述装置100还可以包括可移动调整架；所述第二准直器105设置在所述可移动调整架上，通过所述可移动调本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅基液晶芯片的测试装置，其特征在于，包括：依次设置在入射光路上的第一准直器、检偏器、复合透镜以及硅基液晶LCOS芯片，入射光经所述第一准直器、所述检偏器和所述复合透镜到达所述LCOS芯片，所述LCOS芯片用于对所述入射光进行偏转后出射；出射光包括多种角度；所述装置还包括设置在出射光路上的第二准直器，以及光功率设备；所述复合透镜，用于将所述LCOS芯片偏转后的出射光变换为平行的出射光；所述第二准直器，用于接收并发出经所述复合透镜的所述平行的出射光；所述光功率设备，连接所述第二准直器的输出端，用于采集所述第二准直器发出的出射光的功率。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括可调谐激光器；所述可调谐激光器连接所述第一准直器，用于生成所述入射光。3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述装置还包括可移动调整架；所述第二准直器设置在所述可移动调整架上。4.根据权利要求3所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭金平，杨睿，杨柳，王凡，马雨虹，禤颖仪，
申请(专利权)人：武汉光迅科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：