一种小体积高精度MEMS惯性测量单元制造技术

本发明专利技术属于惯性仪器仪表领域，具体涉及一种小体积高精度MEMS惯性测量单元；该惯性测量单元包括：底座、软硬结合陀螺传感器电路板、数字解算电路板以及盖板；底座上设置有数字解算电路板安装区和陀螺传感器安装体；软硬结合陀螺传感器电路板设置在陀螺传感器安装体上，且与数字解算电路板通过高温导线焊接，数字解算电路板设置在底座的数字解算电路板安装区中；采用盖板对底座进行封装，使得软硬结合陀螺传感器电路板和数字解算电路板处于底座内；本发明专利技术生产、调试和测试简单方便，产品抗振动冲击性能好，且环境温度对其影响较小的MEMS惯性测量单元，具有良好的经济效益。具有良好的经济效益。具有良好的经济效益。

【技术实现步骤摘要】
一种小体积高精度MEMS惯性测量单元


[0001]本专利技术属于惯性仪器仪表领域，具体涉及一种小体积高精度MEMS惯性测量单元。

技术介绍

[0002]MEMS惯性测量单元是由陀螺仪、加速度计、数字采集处理单元组成。具有稳定性好、体积小、结构简单、可不需要外部GPS/北斗信号信息，可以测量载体的姿态和角速度等信息，目前在航空、航天、航海及各种战略/战术武器的导航、制导与控制系统中得到广泛的应用，也广泛应用在汽车自动驾驶、无人机、摄像稳定平台和机器人运动姿态控制。
[0003]环境温度对现有的MEMS惯性测量单元的姿态精度影响大，且MEMS惯性测量单元生产和调试繁琐，抗振动冲击性也需要进一步改进和完善，因此急需一款生产、调试和测试简单方便，产品抗振动冲击性好，且环境温度对其影响较小的MEMS惯性测量单元。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本专利技术提出了一种小体积高精度MEMS惯性测量单元，该惯性测量单元包括：底座1、软硬结合陀螺传感器电路板2、数字解算电路板3以及盖板4；底座1上设置有数字解算电路板安装区11和陀螺传本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种小体积高精度MEMS惯性测量单元，其特征在于，包括：底座(1)、软硬结合陀螺传感器电路板(2)、数字解算电路板(3)以及盖板(4)；底座(1)上设置有数字解算电路板安装区(11)和陀螺传感器安装体(12)；软硬结合陀螺传感器电路板(2)设置在陀螺传感器安装体(12)上，且与数字解算电路板(3)通过高温导线焊接，数字解算电路板(3)设置在底座(1)的数字解算电路板安装区(11)中；采用盖板(4)对底座(1)进行封装，使得软硬结合陀螺传感器电路板(2)和数字解算电路板(3)处于底座内。2.根据权利要求1所述的一种小体积高精度MEMS惯性测量单元，其特征在于，软硬结合陀螺传感器电路板(2)包括三个陀螺传感器，三个陀螺传感器串联。3.根据权利要求1所述的一种小体积高精度MEMS惯性测量单元，其特征在于，陀螺传感器安装体(12)包括一个底面和两个侧面；一个底面、两个侧面分别两两垂直，且两个侧面垂直设置在底座上，形成墙角结构。4.根据权利要求3所述的一种小体积高精度MEMS惯性测量单元，其特征在于，陀螺传感器安装体(12)的底面和两个侧面均设置有陀螺定位凹槽，陀螺定位凹槽用于安装陀螺传感器。5.根据权利要求4所述的一种小体积高精度MEMS惯性测量单元...

【专利技术属性】
技术研发人员：王建文，黄勇，宋军，阳洪，许常燕，龚辰江，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第二十六研究所，
类型：发明
国别省市：