磁性多圈传感器及制作方法技术

本公开涉及磁性多圈传感器及制作方法。本公开提供包括磁阻元件的连续线圈的磁性多圈传感器以及制造所述传感器的方法。连续线圈形成在诸如已制造的硅晶片上，以形成沟槽和桥布置，使内螺旋和外螺旋能够在不干扰其间螺旋绕组的磁阻元件的情况下连接。一旦用沟槽和桥布置制造基板，就可以沉积磁阻材料膜，以在基板表面上形成连续的线圈，其中线圈的一部分形成在沟槽中并且线圈的一部分形成在桥上。在沟槽中并且线圈的一部分形成在桥上。在沟槽中并且线圈的一部分形成在桥上。

【技术实现步骤摘要】
磁性多圈传感器及制作方法


[0001]本申请要求2020年9月8日提交的美国临时申请第63/075453号的优先权，其内容通过引用整体并入本文。
[0002]本公开涉及磁性多圈传感器。特别地，本公开涉及一种闭环磁性多圈传感器及其制造方法。

技术介绍

[0003]磁性多圈传感器通常用于需要监控设备转动次数的应用中。一个例子是车辆中的方向盘。磁性多圈传感器通常包括对施加的外部磁场敏感的磁阻元件。磁阻元件的电阻可以通过在传感器附近旋转磁场来改变。可以跟踪磁阻元件的电阻变化以确定磁场中的匝数，这可以转化为被监测设备中的匝数。
[0004]磁体多匝传感器通常包括多个磁阻元件，这些磁阻元件以螺旋或闭环结构布置为条带。闭环多圈传感器的一个优点是它们有效地提供了许多连接在一起的螺旋，从而能够计算出非常多的圈数。

技术实现思路

[0005]本公开提供包括磁阻元件的连续线圈的磁性多圈传感器以及制造所述传感器的方法。连续线圈形成在诸如已制造的硅晶片上，以形成沟槽和桥布置，使内螺旋和外螺旋能够在不干扰其间螺旋绕组的磁阻元件的情况下连接。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磁性多圈传感器，包括：串联连接并以连续螺旋结构排列的多个磁阻传感器元件；其上形成所述多个磁阻元件的基板，所述基板包括：沟槽，被配置为接收至少一个磁阻元件；和在所述沟槽上方形成的至少一个桥，该至少一个桥被配置为支撑至少一个磁阻元件。2.根据权利要求1所述的磁性多圈传感器，其中所述沟槽被配置为接收多个磁阻元件，这些磁阻元件限定连续螺旋结构的一侧，并且其中所述基板包括一个桥，该桥被配置为接收一个磁阻元件，该磁阻元件连接所述连续螺旋结构的内环和外环。3.根据权利要求1所述的磁性多圈传感器，其中所述沟槽被配置为接收一个磁阻元件，该磁阻元件连接所述连续螺旋结构的内环和外环，并且其中所述基板包括在所述沟槽上方形成的至少一个桥，用于接收限定所述连续螺旋结构的一侧的多个磁阻元件。4.根据权利要求1所述的磁性多圈传感器，其中所述基板包括在所述沟槽上方形成的多个桥，用于接收限定所述连续螺旋结构的一侧的多个磁阻元件，每个桥接收一个磁阻元件。5.任一前述权利要求所述的磁性多圈传感器，其中所述多个磁阻元件为以下之一：巨磁阻(GMR)元件或隧道磁阻(TMR)元件。6.一种闭环磁性多圈传感器的制作方法，该方法包括：形成包括晶片、中间层和掩模层的基板；蚀刻所述掩膜层和所述中间层的区域以在所述基板中形成沟槽，其中保留所述掩膜层的一个或多个部分以在所述沟槽上方形成至少一个桥；和在所述基板上沉积磁阻薄膜以形成连续螺旋状的磁阻元件，其中在所述沟槽中形成至少一个磁阻元件。7.根据权利要求6所述的方法，其中所述至少一个磁阻元件随后形成在所述至少一个桥上。8.根据权利要求6或7所述的方法，其中多个磁阻元件形成在所述沟槽中以限定螺旋的一侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：P，
申请(专利权)人：亚德诺半导体国际无限责任公司，
类型：发明
国别省市：