【技术实现步骤摘要】
运动模组及具有其的运动装置
[0001]本专利技术涉及微型运动平台
,具体而言,涉及一种运动模组及具有其的运动装置。
技术介绍
[0002]目前,电子信息技术的高速发展带动和催生相关产业链的发展和革新,其中,制约芯片发展的重要因素是制造芯片的设备不完善,以高精度的微动运动平台为例,高精度的微动运动平台可以保证芯片制造过程中的精度要求,提高芯片的质量。
[0003]现有的微动运动平台大多依靠直线电机作为动力源,电机运动过程中,线圈会产生大量的热量,长时间会降低线圈的工作性能,线圈本身及线圈接线处的绝缘性和稳定性也会直接影响电机的质量;此外,运动平台自身的重力也会对加工精度造成影响,进而会导致降低芯片的加工精度。
技术实现思路
[0004]本专利技术的主要目的在于提供一种运动模组及具有其的运动装置,以解决现有技术中的运动模组的动力源不稳定,加工精度较低的问题。
[0005]为了实现上述目的,根据本专利技术的一个方面,提供了一种运动模组,包括:第一移动组件,包括第一定子部和第一动子部;第一动子 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种运动模组,其特征在于,包括:第一移动组件(1),包括第一定子部(1001)和第一动子部(1002);所述第一动子部(1002)与所第一定子部(1001)滑动连接,所述第一动子部(1002)可相对于所述第一定子部(1001)沿水平方向移动;第二移动组件(2),包括第二定子部(2001)和第二动子部(2002);所述第二定子部(2001)固定于所述第一动子部(1002)上,所述第二动子部(2002)滑动连接于所述第一动子部(1002),且所述第二动子部(2002)可相对于所述第一动子部(1002)沿竖直方向移动;所述第一动子部(1002)可带动所述第二移动组件(2)相对于所述第一定子部(1001)沿水平方向移动;重力补偿组件(3),与所述第二移动组件(2)连接,所述重力补偿组件(3)对所述第二移动组件(2)施加与重力方向相反的作用力,以抵消所述第二移动组件(2)的部分重力。2.根据权利要求1所述的运动模组,其特征在于,所述第一动子部(1002)包括水平移动板(10),所述水平移动板(10)相对于所述第一定子部(1001)沿水平方向可移动地设置;所述第二定子部(2001)包括:第二线圈组件(20),所述第二线圈组件(20)设置在所述水平移动板(10)上;所述第二动子部(2002)包括:竖向移动板(21),沿竖直方向可滑动地连接至所述水平移动板(10)上;所述竖向移动板(21)上设置有第二磁钢组(22),所述第二磁钢组(22)与所述第二线圈组件(20)相对设置,以使所述第二磁钢组(22)在所述第二线圈组件(20)的磁力作用下带动所述竖向移动板(21)相对所述水平移动板(10)沿竖直方向移动;所述重力补偿组件(3)与所述竖向移动板(21)连接。3.根据权利要求2所述的运动模组,其特征在于,所述第二线圈组件(20)包括:第二电路板(201);第二线圈组(202),设置在所述第二电路板(201)的电路连接端面上,并与所述第二电路板(201)电连接;第二绝缘层(203),盖设在所述第二线圈组(202)上并与所述第二电路板(201)连接。4.根据权利要求3所述的运动模组,其特征在于,所述第二线圈组件(20)还包括第二背板(204),所述第二电路板(201)设置在所述第二背板(204)上,所述第二背板(204)固定连接至所述水平移动板(10)上。5.根据权利要求2所述的运动模组,其特征在于,所述第二移动组件(2)还包括:第二滑轨(23),设置在所述水平移动板(10)上,所述第二滑轨(23)沿竖直方向延伸,所述竖向移动板(21)连接至所述第二滑轨(23)上;所述第二线圈组件(20)设置在所述第二滑轨(23)的侧方。6.根据权利要求5所述的运动模组,其特征在于,所述第二滑轨(23)为两个,两个所述第二滑轨(23)在水平方向上相对间隔设置,所述竖向移动板(21)与两个所述第二滑轨(23)组件均连接;所述第二线圈组件(20)设置在两个所述第二滑轨(23)之间。7.根据权利要求2至6中任一项所述的运动模组,其特征在于,所述第一动子部还包括:第一磁钢组(11),设置在所述水平移动板(10)上并位于所述第二线圈组件(20)的上方;
所述第一定子部包括第一线圈组件(12)和固定板...
【专利技术属性】
技术研发人员:殷小博,胡兵,彭仁强,
申请(专利权)人:上海隐冠半导体技术有限公司,
类型:发明
国别省市:
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