一种薄膜生长设备腔体的电动开关装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种薄膜生长设备腔体的电动开关装置，包括：装置本体，装置本体的底部安装有底座，装置本体的顶面中部形成有内腔，装置本体的上方设置有上盖，装置本体的侧壁上固定连接有电动摇杆组件；电动摇杆组件包括固定盒、电机、托块和电动马达，电动马达和固定盒均与装置本体侧壁固定连接，且固定盒设置在电动马达的外侧，电机安装在固定盒的底部，电机的动力输出端和电动马达的动力输入端分别安装有齿轮且两个齿轮啮合连接。本发明专利技术通过电动的方式来代替现有技术中人工操作，电动摇杆操作简单，只需要点击遥感器上的开关就可以控制腔体的开关，遥感器有电源延长线，可以做到不接触腔体来控制腔体开关，避免了一些突发状况的发生。发生。发生。

【技术实现步骤摘要】
一种薄膜生长设备腔体的电动开关装置


[0001]本专利技术涉及薄膜生长设备
，更具体为一种薄膜生长设备腔体的电动开关装置。

技术介绍

[0002]金属有机化合物化学气相沉淀设备，是制备发光二极管半导体激光器和大功率电子器件的关键设备，尤其在制备GaN基LED方面具有广泛的应用前景和市场需求，现有技术中，大多数GaN基LED的薄膜生长都是利用MOCVD设备在蓝宝石衬底上生长一层氮化镓或氮化铝缓冲层，然后再在缓冲层上生长掺杂MgA1、In等元素的InGaN/AIGaN异质结，来构成P
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N结发光层，采用MOCVD设备生长薄膜时，需要向反应腔室内通入携带气体以及各种源材料，其中，源材料包括金属有机物(MO)和气体源，这二者是参与化学反应且在生成物中含有该源材料成分的材料，携带气体包括氮气、氢气及惰性气体等，这些携带气体只是携带源材料进入反应室中，本身并不参加化学反应
[0003]目前，现有的生长设备存在如下问题：大多采用手摇式液压杆，完全依靠人工打开腔体，劳动成本高，效率低，容易发生突发状况。为此，需要设计一个新的方案给予改进。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种薄膜生长设备腔体的电动开关装置，解决了现有的生长设备采用手摇式液压杆，完全依靠人工打开腔体，劳动成本高，效率低，容易发生突发状况的问题，满足实际使用需求。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种薄膜生长设备腔体的电动开关装置，包括：装置本体，所述装置本体的底部安装有底座，装置本体的顶面中部形成有内腔，所述装置本体的上方设置有上盖，装置本体的侧壁上固定连接有电动摇杆组件；
[0006]所述电动摇杆组件包括固定盒、电机、托块和电动马达，所述电动马达和固定盒均与装置本体侧壁固定连接，且固定盒设置在电动马达的外侧，所述电机安装在固定盒的底部，电机的动力输出端和电动马达的动力输入端分别安装有齿轮且两个齿轮啮合连接；
[0007]所述上盖的底面和装置本体的顶面分别形成有导风罩，两个导风罩的对立面靠近边缘处分别设置有风口，所述上盖的顶部安装有风箱，所述风箱的侧壁固定有导风管，所述导风管呈倒置的L形结构且端部延伸至上盖的外侧，导风管的底面安装有回风管，所述回风管的末端与底座连接且内部连通。
[0008]作为本专利技术的一种优选实施方式，所述装置本体的外壁上设置有若干个等距分布的导风柱，所述导风柱的截面呈半圆形结构，导风柱的内部竖直设置有若干个隔板。
[0009]作为本专利技术的一种优选实施方式，所述隔板的一端与导风柱内壁连接、另一端与装置本体的外壁垂直连接，相邻的隔板之间形成有通风孔。
[0010]作为本专利技术的一种优选实施方式，所述风箱与装置本体之间形成有导风流道，所述导风流道与上盖的风口连通，所述风箱的下端安装有风机和过滤板。
[0011]作为本专利技术的一种优选实施方式，所述风箱的内顶面设置有导风凸块，所述导风凸块为向下凸出的锥型结构。
[0012]作为本专利技术的一种优选实施方式，所述托块安装在装置本体的侧壁且位于电动马达的下方，所述电动马达上安装有液压杆，所述装置本体的侧壁且位于液压杆的运动轨迹上安装有限位开关。
[0013]作为本专利技术的一种优选实施方式，所述上盖的两侧壁上分别形成有顶块，所述顶块的底面中部与液压杆的上端连接。
[0014]作为本专利技术的一种优选实施方式，所述装置本体的顶面靠近拐角处分别开设有定位孔，所述上盖的底部安装有四个与定位孔对应的定位柱。
[0015]作为本专利技术的一种优选实施方式，所述固定盒的两侧安装有放置盒，所述放置盒和固定盒均采用亚克力材料制成。
[0016]与现有技术相比，本专利技术的有益效果如下：
[0017]本专利技术，通过电动方式来代替现有技术中人工操作，电动摇杆操作简单，方便快捷，只需要点击遥感器上的开关就可以控制腔体的开关，遥感器有电源延长线，可以做到不接触腔体来控制腔体开关，避免了一些突发状况的发生(例如腔体外壁与皮肤接触发生烫伤；腔体内部反应气体未排空人员吸入)，大大增强了人员的工作安全系数，同时设备结构简单且都在腔体外侧，容易维修。减少了很多劳动成本，同时也加快了工作进度，安全系数更高。
附图说明
[0018]图1为本专利技术所述薄膜生长设备腔体的电动开关装置的结构图；
[0019]图2为本专利技术所述电动摇杆组件的结构图；
[0020]图3为本专利技术所述上盖的内部结构图；
[0021]图4为本专利技术所述导风柱的结构图。
[0022]图中:1、底座；2、装置本体；3、电动摇杆组件；4、上盖；5、定位孔；6、顶块；7、导风管；8、风箱；9、导风罩；10、风口；11、导风柱；12、回风管；13、导风流道；14、导风凸块；15、风机；16、液压杆；17、限位开关；18、电动马达；19、放置盒；20、托块；21、固定盒；22、电机；23、通风孔；24、隔板。
具体实施方式
[0023]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0024]请参阅图1
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4，本专利技术提供一种技术方案：一种薄膜生长设备腔体的电动开关装置，包括：装置本体2，装置本体2的底部安装有底座1，装置本体2的顶面中部形成有内腔，装置本体2的上方设置有上盖4，装置本体2的侧壁上固定连接有电动摇杆组件3，上盖4位于装置本体2的上方，通过电动摇杆组件3来带动上盖4进行高度移动，从而打开腔体，打开时人员离设备距离远，避免造成人员受伤；
[0025]电动摇杆组件3包括固定盒21、电机22、托块20和电动马达18，电动马达18和固定盒21均与装置本体2侧壁固定连接，且固定盒21设置在电动马达18的外侧，电机22安装在固定盒21的底部，电机22的动力输出端和电动马达18的动力输入端分别安装有齿轮且两个齿轮啮合连接，电机22带动电动马达18输入端转动，电动马达18驱动液压杆16上升并将上盖4顶起，电动摇杆组件3还包括用于驱动电机22的控制器和遥控器，遥控器可放置在放置盒19内存放；
[0026]上盖4的底面和装置本体2的顶面分别形成有导风罩9，导风罩9起到了导风的作用，两个导风罩9的对立面靠近边缘处分别设置有风口10，风口10用于进出风，上盖4的顶部安装有风箱8，风箱8提供动力并导流，风箱8的侧壁固定有导风管7，导风管7呈倒置的L形结构且端部延伸至上盖4的外侧，导风管7的底面安装有回风管12，回风管12的末端与底座1连接且内部连通，通过回风管12来将风输送至底座1内部，底座1内部为中空结构且与导风柱11内部连通。
[0027]进一步改进地，如图2所示：托块20安装在装置本体2的侧壁且位于电动马达18的下方，电动马达18上安装有液压杆16，装置本体2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种薄膜生长设备腔体的电动开关装置，包括：装置本体(2)，其特征在于：所述装置本体(2)的底部安装有底座(1)，装置本体(2)的顶面中部形成有内腔，所述装置本体(2)的上方设置有上盖(4)，装置本体(2)的侧壁上固定连接有电动摇杆组件(3)；所述电动摇杆组件(3)包括固定盒(21)、电机(22)、托块(20)和电动马达(18)，所述电动马达(18)和固定盒(21)均与装置本体(2)侧壁固定连接，且固定盒(21)设置在电动马达(18)的外侧，所述电机(22)安装在固定盒(21)的底部，电机(22)的动力输出端和电动马达(18)的动力输入端分别安装有齿轮且两个齿轮啮合连接；所述上盖(4)的底面和装置本体(2)的顶面分别形成有导风罩(9)，两个导风罩(9)的对立面靠近边缘处分别设置有风口(10)，所述上盖(4)的顶部安装有风箱(8)，所述风箱(8)的侧壁固定有导风管(7)，所述导风管(7)呈倒置的L形结构且端部延伸至上盖(4)的外侧，导风管(7)的底面安装有回风管(12)，所述回风管(12)的末端与底座(1)连接且内部连通。2.根据权利要求1所述的一种薄膜生长设备腔体的电动开关装置，其特征在于：所述装置本体(2)的外壁上设置有若干个等距分布的导风柱(11)，所述导风柱(11)的截面呈半圆形结构，导风柱(11)的内部竖直设置有若干个隔板(24)。3.根据权利要求2所述的一种薄膜生长设备腔体的电动开关装置，其特征在于：所述隔板(24)的一端与导风柱(11)内壁连接、另...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡宇航，金補哲，叶新浩，厉冰峰，
申请(专利权)人：盛吉盛宁波半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：