微波探针S参数相位的确定方法、装置、终端及存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种微波探针S参数相位的确定方法、装置、终端及存储介质。该方法包括：采用校准后的矢量网络分析仪，在微波探针的探针尖端分别测量在片开路校准件、在片短路校准件以及在片负载校准件的S参数，得到在片开路校准件、在片短路校准件以及在片负载校准件的反射值；根据在片校准件的模型和定义值，得到在片开路校准件、在片短路校准件以及在片负载校准件的实际反射值；根据反射值和实际反射值，得到微波探针S参数；根据微波探针S参数计算得到微波探针S参数的相位。本发明专利技术能够准确得到四个S参数的相位，可以完整表征微波探针的微波特性，评定其S参数的不确定度，有助于评价微波探针的性能。探针的性能。探针的性能。

【技术实现步骤摘要】
微波探针S参数相位的确定方法、装置、终端及存储介质


[0001]本专利技术涉及微波/毫米波测试
，尤其涉及一种微波探针S参数相位的确定方法、装置、终端及存储介质。

技术介绍

[0002]自微波探针问世以来，在封装前直接测量微波单片集成电路芯片的高频物理特性，可以实现芯片级的优化和筛选目的。其不仅避免了半导体器件由于盲目封装带来的时间、人力、物力、财力的浪费，而且在改进封装工艺、建立电路或器件的设计模型、提高产品的一致性、可靠性等方面都具有重要的意义。微波探针是高频测量信号输入/输出的连接通道，是非对称两端口微波部件，一端为同轴端，另一端为探针尖，因此，微波探针S参数的准确度直接影响在片测试的质量。
[0003]微波探针S参数相位的确定可以完整表征其微波特性，对于评定微波探针S参数的不确定度更是不可或缺。但是目前有关探针S参数的文献集中于反射和传输幅度的确定，但是反射和传输相位的确定未见报道，尤其是传输相位的确定比较困难。

技术实现思路

[0004]本专利技术实施例提供了一种微波探针S参数相位的确定方法、装置、终端及本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微波探针S参数相位的确定方法，其特征在于，包括：采用同轴校准件在矢量网络分析仪的同轴端口进行单端口S参数校准，并采用校准后的矢量网络分析仪，在微波探针的探针尖端分别测量在片开路校准件、在片短路校准件以及在片负载校准件的S参数，得到所述在片开路校准件、所述在片短路校准件以及所述在片负载校准件的反射值；根据在片校准件的模型和定义值，得到所述在片开路校准件、所述在片短路校准件以及所述在片负载校准件的实际反射值；根据所述在片开路校准件、所述在片短路校准件以及所述在片负载校准件的反射值和实际反射值，得到微波探针S参数；根据所述微波探针S参数计算得到微波探针S
11
、S
22
、S
21
和S
12
的相位。2.根据权利要求1所述的微波探针S参数相位的确定方法，其特征在于，根据所述微波探针S参数计算得到S
21
和S
12
的相位，包括：根据所述微波探针S参数计算得到根据的相位得到S
21
和S
12
的相位。3.根据权利要求2所述的微波探针S参数相位的确定方法，其特征在于，所述微波探针为无源器件，具有互异性；所述根据的相位得到S
21
和S
12
的相位，包括：检测是否成立；当成立，则确定当不成立，则确定其中，phase(
·
)表示参数的相位，S
21
表示正向传输系数，S
12
表示反向传输系数，S
21_P
表示设置参数，S
11
表示输入反射系数，S
22
表示输出反射系数。4.根据权利要求1
‑
3中任一项所述的微波探针S参数相位的确定方法，其特征在于，在所述在微波探针的探针尖端分别测量在片开路校准件、在片短路校准件以及在片负载校准件的S参数之前，还包括：根据微波探针测量时信号流向，得到微波探针同轴端和探针尖端的表达式；所述微波探针同轴端和探针尖端的表达式为其中，Γ
同轴端
表示微波探针同轴端的反射系数，Γ
探针尖端
表示微波探针的探针尖端的反射系数。5.根据权利要求4所述的微波探针S参数相位的确定方法，其特征在于，所述根据在片校准件的模型和定义值，得到所述在片开路校准件、所述在片短路校准件以及所述在片负载校准件的实际反射值，包括：
根据得到所述在片开路校准件的实际反射值；根据得到所述在片短路校准件的实际反射值；根据得到所述在片负载校准件的实际反射值；其中，Γ
AO
表示探针尖端的在片开路校准件的实际反射值，Z
open
表示在片开路校准件的阻抗值，Z0表示特征阻抗值，j表示虚数，ω表示某一频段对应的角频率，C
opent
表示在片开路校准件的电容，f表示某一频段频率，Γ
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【专利技术属性】
技术研发人员：霍晔，吴爱华，王一帮，梁法国，刘晨，栾鹏，孙静，陈晓华，张晓云，李彦丽，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第十三研究所，
类型：发明
国别省市：