一种分层的外观检测系统及方法技术方案

本发明专利技术于外观检测行业首次提出一种分层的外观检测系统及方法，通过设置用户交互层、数据处理层和执行处理层，将系统分层分级布置，通过用户交互层定义检测需求信息和执行设备信息，便于用户自主配置检测的具体信息；通过数据处理层基于用户的检测需求信息生成通用检测指令，并将通用检测指令和执行设备信息发送至执行处理层，从而配置相同或不同类型检测设备，实现对多种类型检测设备的兼容；执行处理层用于根据通用检测指令和执行设备信息从执行指令数据库调取对应的执行指令，通过数据库中的执行指令适配不同的检测设备，当更新检测系统时，只需对数据库中的执行指令更新，大幅减小检测系统更迭的工作量，降低开发的人力成本和时间成本。力成本和时间成本。力成本和时间成本。

【技术实现步骤摘要】
一种分层的外观检测系统及方法


[0001]本专利技术涉及光电半导体检测
，尤其涉及一种分层的外观检测系统及方法。

技术介绍

[0002]目前，光电半导体包括晶圆、硅半导体面板等；其中，晶圆是半导体行业的根本，而晶圆和硅半导体在制造过程中会存在一些如表面冗余物、晶体缺陷、划痕以及图案缺陷在内的缺陷，因此需要对晶圆等光电半导体元器件进行外观检测。
[0003]现有技术中，对于晶圆等光电半导体元器件的检测需要由专用设备和与专用设备配套的检测系统来完成，且国产化率很低，采用的都是国外设备和系统如以色列Camtek晶圆检测机等，针对不同的检测项目、不同的产品都有不同的检测标准，需要采用与检测标准对应多台类型相同或者类型不同的检测设备，而往往这些检测设备的硬件配置和对应的检测系统不具备通用性，通常只能完成适应于该检测设备的对应检测方案；对于定制化的检测方案不一定具有通用性，在完整的检测流程中，一般来说，由于检测系统与检测设备的对应性，在进行定制化的检测方案中需要复杂的调用，对于特定的检测方案只能调用对应的专项检测设备，而各个应用系统是分别由不同的公司开发的，系统和数据往往不具备兼容性；再有，现有的检测系统与适配的检测设备是绑定的，如果需要对检测系统进行更新，则需要从检测系统的底层代码进行更改，以适配各种不同的定制化检测方案，人力成本和时间成本巨大。

技术实现思路

[0004]为了解决现有技术的缺陷，本专利技术提出一种通用的外观检测系统，主要包括一种分层的外观检测系统及方法。
[0005]第一方面，本专利技术提供一种分层的外观检测系统，包括：用户交互层、数据处理层、执行处理层；
[0006]其中，所述用户交互层用于获取检测需求信息和执行设备信息，并将所述检测需求信息和执行设备信息发送给所述数据处理层；
[0007]其中，用户交互层可以对检测需求信息进行配置，并基于检测需求信息选择对应的执行设备信息；或者通过外观检测系统获取输入的检测需求信息和对应的执行设备信息；用户交互层提供调配配置模块子模块，用于通过点击进行选择以实现更加友好的界面交互，可以通过点击选择检测需求和检测设备，进而设定检测需求信息和执行设备信息；用户交互层也提供了设置新的执行设备信息的子模块的生成接口，以方便依据执行设备信息进一步进行开放式配置；其中，执行设备信息可以是来自于检测设备中的相同类型执行设备的单次或多次分步骤配置，或者是不同类型执行设备的单次或多次分步骤配置；
[0008]所述数据处理层用于根据所述检测需求信息生成至少一个通用检测指令，并将所述通用检测指令和所述执行设备信息发送给所述执行处理层；所述数据处理层还用于根据
外观图像信息判断所述被测物是否存在缺陷；
[0009]其中，所述数据处理层获取用户交互层配置的检测需求信息，根据用户的实际需求生成对应的通用检测指令，其中，通用检测指令具体为设定检测的方法步骤以及包括检测精度需求在内的通用指令，通过该通用指令设定了多种外观图像信息的获取方式，可以通过单次或多次选择同一执行设备的取像方式，也可以对不同执行设备中的子设备进行选择配置，子设备包括如取像设备、驱动设备、光源设备、对位设备和图像存储设备；数据处理层还可以通过除检测设备之外的方式获取外观图像信息，如通过外观检测系统直接获取外部设备输入的外观图像信息；以此方式，更加实现了系统的通用性；
[0010]所述执行处理层用于根据所述通用检测指令和所述执行设备信息从执行指令数据库调取对应的执行指令，并通过设备驱动层的设备接口实现至少一个所述执行设备的调用；所述执行处理层还用于接收所述执行设备上传的被测物的外观图像信息并发送给所述数据处理层；
[0011]其中，所述执行处理层根据所述通用检测指令和所述执行设备信息从本地数据库或其他外部数据库中调取执行设备信息对应的执行指令，基于执行指令调用对应的执行设备，通过执行指令设定选用的执行设备的子设备的执行参数，包括如取像设备、驱动设备、光源设备、对位设备和图像存储设备在内的子设备；通过执行指令实现上述各个子设备的输入输出、子设备之间的I/O通信、运动和光源的控制，还可以通过图像存储设备直接获取外部输入的外观图像信息。上述不同类型的执行设备体现在各个执行设备中的子设备例如取像设备、驱动设备、光源设备、对位设备和图像存储设备等硬件配置的类型不同，通过数据库可以实现对不同类型执行设备对应的执行指令的覆盖。
[0012]所述执行处理层通过设备驱动层的设备接口与多台检测设备连接，上述多台检测设备可以是类型相同或者类型不相同的检测设备，优选为类型不同的检测设备，能够充分利用各个不同类型的检测设备的优点实现通用性检测。所述设备接口包括与其适配的单台或多台检测设备的接口，并且包括了能够与通用检测系统进行上层总架构通信的接口，使得通过设备驱动层配置多种执行设备的硬件驱动接口，能够保持通用检测系统的标准性和多台检测设备的兼容定制性。
[0013]其中，优选的，上述多种执行设备的接口能够通过通用检测系统总架构实现整体的更新。
[0014]进一步，所述执行设备类型包括取像设备、驱动设备、光源设备、对位设备和图像存储设备中的一种或多种；
[0015]优选的，所述数据处理层包括图像处理模块和图像分析模块；所述图像处理模块用于对所述被测物的外观图像信息进行预处理，划分检测区域；
[0016]所述图像分析模块用于对所述检测区域进行缺陷分析，判断所述被测物是否存在缺陷以输出检测结果，所述检测结果包括缺陷类型和缺陷等级；
[0017]其中图像处理模块和图像分析模块根据用户交互层提供的检测需求信息对外观图像信息进行处理，基于检测需求信息设定图像处理和分析的精度和需求，并从数据库中调用对应的算法；
[0018]进一步，所述数据处理层还用于根据所述检测需求信息生成至少一个通用复检指令，并将所述通用复检指令和所述执行设备信息发送给所述执行处理层；所述数据处理层
还用于对复检图像信息进行分析以获取复检结果；
[0019]所述执行处理层还用于根据所述通用复检指令和所述执行设备信息从执行指令数据库调取对应的执行指令，并通过对应的设备接口实现至少一个所述执行设备的调用；所述执行处理层还用于接收所述执行设备上传的被测物的复检图像信息并发送给所述数据处理层；
[0020]其中，检测需求信息还可以设定需求的检测项目为复检，对已经完成检测的产品进行重复检测；通过复检指令设定复检的方法步骤以及检测精度需求在内的通用指令，通过复检指令设定了复检的方式，具体包括外观图像信息的获取方式，可以通过再次选择同一执行设备对产品进行重新取像，或者更换不同的执行设备进行重新取像；或者通过人工操作对产品进行人工复检，还可以通过执行设备中的图像存储设备中已有的原始图像进行复检；在选定了复检指令的同时选定执行设备信息；
[0021]进一步，所述数据处理层还包括复检判断模块，所述复检判断模块用于比对所述复检结果与检测结果，所述复检结果与检测结果一致时输出所述检测结果，否本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种分层的外观检测系统，其特征在于，包括：用户交互层、数据处理层、执行处理层；其中，所述用户交互层用于获取检测需求信息和执行设备信息，并将所述检测需求信息和执行设备信息发送给所述数据处理层；所述数据处理层用于根据所述检测需求信息生成至少一个通用检测指令，并将所述通用检测指令和所述执行设备信息发送给所述执行处理层；所述数据处理层还用于根据外观图像信息判断所述被测物是否存在缺陷；所述执行处理层用于根据所述通用检测指令和所述执行设备信息从执行指令数据库调取对应的执行指令，并通过对应的设备接口实现至少一个所述执行设备的调用；所述执行处理层还用于接收所述执行设备上传的被测物的外观图像信息并发送给所述数据处理层。2.根据权利要求1所述的一种分层的外观检测系统，其特征在于，所述执行设备类型包括取像设备、驱动设备、光源设备、对位设备和图像存储设备中的一种或多种。3.根据权利要求1所述的一种分层的外观检测系统，其特征在于，所述数据处理层包括图像处理模块和图像分析模块；所述图像处理模块用于对所述被测物的外观图像信息进行预处理，划分检测区域；所述图像分析模块用于对所述检测区域进行缺陷分析，判断所述被测物是否存在缺陷以输出检测结果，所述检测结果包括缺陷类型和缺陷等级。4.根据权利要求3所述的一种分层的外观检测系统，其特征在于，所述数据处理层还用于根据所述检测需求信息生成至少一个通用复检指令，并将所述通用复检指令和所述执行设备信息发送给所述执行处理层；所述数据处理层还用于对复检图像信息进行分析以获取复检结果；所述执行处理层还用于根据所述通用复检指令和所述执行设备信息从执行指令数据库调取对应的执行指令，并通过对应的设备接口实现至少一个所述执行设备的调用；所述执行处理层还用于接收所述执行设备上传的被测物的复检图像信息并发送给所述数据处理层。5.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨盾，
申请(专利权)人：武汉精创电子技术有限公司，
类型：发明
国别省市：