晶圆夹持机械手制造技术

本实用新型专利技术提供一种晶圆夹持机械手，包括晶圆末端执行器、夹持组件及第一驱动组件，所述晶圆末端执行器包括支撑板，所述支撑板为Y字型结构，且前端对称固设有两个前端限位块，相对的后端固设有后端限位块，所述后端限位块具有与晶圆对应的月牙弧形侧面，且顶面平齐于所述晶圆的上表面，晶圆支撑于所述支撑板上，且卡设于所述前端限位块与所述后端限位块之间；所述夹持组件包括夹持板及导杆，所述夹持板伸缩设于所述后端限位块的顶面，具有相对的夹持端和固定端，所述夹持端自所述晶圆的上表面夹持或释放所述晶圆的边缘，所述导杆的第一端固定连接所述固定端，相对的第二端传动连接所述第一驱动组件；所述第一驱动组件驱动所述导杆沿所述导杆的轴向直线运动，并带动所述夹持板沿所述晶圆的径向伸缩运动。持板沿所述晶圆的径向伸缩运动。持板沿所述晶圆的径向伸缩运动。

【技术实现步骤摘要】
晶圆夹持机械手


[0001]本技术涉及半导体
，更具体地，涉及一种晶圆夹持机械手。

技术介绍

[0002]晶圆是制造IC芯片的原料，晶圆经过多道加工工序和测试工序后成为IC芯片，IC芯片经过封装和测试后即为成品。随着半导体技术制程的不断完善，对于晶圆的正、反面表面处理越来越严格，市场上使用的是化学机械抛光设备(CMP工序)需要对晶圆的正、反面进行抛光，这就对晶圆的搬运动作要求越来越多，需要对晶圆进行翻转。
[0003]现有技术的水平搬运机器人需要另行配合1个单独的翻转装置进行工作，结构复杂且占用空间较大。此外，由于化学机械抛光设备加工时伴随着去离子水等溶液的清洗动作，现有技术的机械手的防水性能较差，极易出现漏水导致设备故障的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种晶圆夹持机械手。
[0005]为实现上述目的，本技术提供一种晶圆夹持机械手，其特征在于，包括：晶圆末端执行器、夹持组件及第一驱动组件，其中，所述晶圆末端执行器包括支撑板，所述支撑板为Y字型结构，且前端对称固设有两个前端限位块，相对的后端固设有后端限位块，所述后端限位块具有与晶圆对应的月牙弧形侧面，且顶面平齐于所述晶圆的上表面，晶圆支撑于所述支撑板上，且卡设于所述前端限位块与所述后端限位块之间；所述夹持组件包括夹持板及导杆，所述夹持板伸缩设于所述后端限位块的顶面，具有相对的夹持端和固定端，所述夹持端自所述晶圆的上表面夹持或释放所述晶圆的边缘，所述导杆的第一端固定连接所述固定端，相对的第二端传动连接所述第一驱动组件；所述第一驱动组件驱动所述导杆沿所述导杆的轴向直线运动，并带动所述夹持端沿所述晶圆的径向伸缩运动。
[0006]优选地，所述第一驱动组件包括气缸，所述气缸的气缸推杆固定连接所述导杆的一端。
[0007]优选地，所述夹持组件还包括第一轴承，所述第二端固定套设所述第一轴承；所述第一驱动组件包括气缸、第一传动轴、第一传动带及第一同步轮，所述第一传动轴固定连接所述气缸的气缸推杆，且平行于所述导杆的轴向设置，所述第一同步轮套设于所述第一传动轴的外圈表面，且通过所述第一传动带传动连接所述第一轴承，所述气缸推杆驱动所述第一传动轴带动所述第一同步轮沿平行于所述导杆的轴向往返运动。
[0008]优选地，还包括：传感组件，所述传感组件包括挡光件、相对间距设置的光发射件及光接收件，所述光发射件接收发光信号并发出光线至所述光接收件，所述光接收件接收所述光线并输出感光信号，所述挡光件固定连接所述第一传动轴，且活动设于所述光发射件及所述光接收件之间。
[0009]优选地，所述夹持组件还包括第二轴承、第二传动轴及支撑轴承组件，所述导杆的
中部滑动套设所述第二轴承，所述第二传动轴的内圈套设于所述第二轴承的外圈，外圈套设所述支撑轴承组件，所述支撑轴承组件压紧所述第二轴承及所述第二传动轴；所述晶圆夹持机械手还包括第二驱动组件，所述第二驱动组件包括旋转电机、第二同步轮、第二传动带及第三同步轮，所述旋转电机的旋转端固定连接所述第二同步轮，且沿平行于所述第二轴承的轴向设置，所述第二同步轮及所述第三同步轮通过所述第二传动带传动相连，所述第三同步轮套设于所述第二传动轴的外圈表面，且固定连接第一转接板的一端，所述第一转接板的相对的另一端固定连接所述晶圆末端执行器。
[0010]优选地，所述第二轴承包括直线轴承。
[0011]优选地，还包括：控制组件，所述控制组件电连接所述传感组件，发出所述发光信号以及接收所述感光信号。
[0012]优选地，所述控制组件还电连接所述气缸，发出第一驱动信号至所述气缸启动所述气缸推杆，所述气缸推杆驱动所述第一传动轴带动所述挡光件位于所述光发射件及所述光接收件之间，所述感光信号关闭。
[0013]优选地，所述控制组件还电连接所述旋转电机，所述感光信号关闭，所述控制组件发出第二驱动信号至所述旋转电机启动所述旋转端。
[0014]优选地，还包括：防水外壳，所述防水外壳包括底座、前侧板及上盖，所述底座、所述前侧板及所述上盖拼接形成闭合空腔，所述第一驱动组件设于所述闭合空腔内，且固定连接所述底座，所述晶圆末端执行器及所述夹持板设于所述防水外壳的外侧，且位于所述前侧板的一侧，所述前侧板具有通孔，所述通孔的内侧表面设有第三防水密封件，所述导杆穿过所述第三防水密封件连接所述夹持板。
[0015]从上述技术方案可以看出，本技术通过第一驱动组件实现了晶圆的夹持；同时，通过设置传感组件对所述第一驱动组件进行监测，避免了晶圆夹持机械手未夹持晶圆而导致的破片异常。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1示出了一种根据本技术实施例的一种晶圆夹持机械手夹持晶圆状态的结构示意图；
[0018]图2示出了一种根据本技术实施例的一种晶圆夹持机械手未夹持晶圆状态的结构示意图；
[0019]图3示出了一种根据本技术实施例的一种晶圆夹持机械手的夹持组件的局部侧视图。
具体实施方式
[0020]为使本技术的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本技术的内容做进一步说明。当然本技术并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知
的一般替换也涵盖在本技术的保护范围内。
[0021]需要说明的是，在下述的具体实施方式中，在详述本技术的实施方式时，为了清楚地表示本技术的结构以便于说明，特对附图中的结构不依照一般比例绘图，并进行了局部放大、变形及简化处理，因此，应避免以此作为对本技术的限定来加以理解。
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、详细地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。图1示出了一种根据本技术实施例的一种晶圆夹持机械手夹持晶圆状态的结构示意图，图2示出了一种根据本技术实施例的一种晶圆夹持机械手未夹持晶圆状态的结构示意图，图3示出了一种根据本技术实施例的一种晶圆夹持机械手的夹持旋转组件的局部侧视图。
[0023]本技术的一种晶圆夹持机械手包括晶圆末端执行器、夹持组件及第一驱动组件。如图1所示，晶圆100支撑于所述晶圆末端执行器110上，所述晶圆末端执行器包括支撑板，如图2所示，所述支撑板为Y字型结构，所述支撑板的前端，即所述Y字的上端固定设有前端限位块112和113，所述前端限位块112和所述前端限位块113对称设置于所述晶圆末端执行器110上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆夹持机械手，其特征在于，包括：晶圆末端执行器、夹持组件及第一驱动组件，其中，所述晶圆末端执行器包括支撑板，所述支撑板为Y字型结构，且前端对称固设有两个前端限位块，相对的后端固设有后端限位块，所述后端限位块具有与晶圆对应的月牙弧形侧面，且顶面平齐于所述晶圆的上表面，晶圆支撑于所述支撑板上，且卡设于所述前端限位块与所述后端限位块之间；所述夹持组件包括夹持板及导杆，所述夹持板伸缩设于所述后端限位块的顶面，具有相对的夹持端和固定端，所述夹持端自所述晶圆的上表面夹持或释放所述晶圆的边缘，所述导杆的第一端固定连接所述固定端，相对的第二端传动连接所述第一驱动组件；所述第一驱动组件驱动所述导杆沿所述导杆的轴向直线运动，并带动所述夹持端沿所述晶圆的径向伸缩运动。2.如权利要求1所述的晶圆夹持机械手，其特征在于，所述第一驱动组件包括气缸，所述气缸的气缸推杆固定连接所述导杆的一端。3.如权利要求1所述的晶圆夹持机械手，其特征在于，所述夹持组件还包括第一轴承，所述第二端固定套设所述第一轴承；所述第一驱动组件包括气缸、第一传动轴、第一传动带及第一同步轮，所述第一传动轴固定连接所述气缸的气缸推杆，且平行于所述导杆的轴向设置，所述第一同步轮套设于所述第一传动轴的外圈表面，且通过所述第一传动带传动连接所述第一轴承，所述气缸推杆驱动所述第一传动轴带动所述第一同步轮沿平行于所述导杆的轴向往返运动。4.如权利要求3所述的晶圆夹持机械手，其特征在于，还包括：传感组件，所述传感组件包括挡光件、相对间距设置的光发射件及光接收件，所述光发射件接收发光信号并发出光线至所述光接收件，所述光接收件接收所述光线并输出感光信号，所述挡光件固定连接所述第一传动轴，且活动设于所述光发射件及所述光接收件之间。5.如权利要求4所述的晶圆夹持机械手，其特征在于，所述夹持组件还包括第二轴承、第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘洋，古市昌稔，曲泉铀，
申请(专利权)人：上海广川科技有限公司，
类型：新型
国别省市：