一种半导体废气处理用进气系统及控制方法技术方案

本发明专利技术提供了一种半导体废气处理用进气系统及控制方法，进气系统包括废气进气管路，废气进气管路的出口端与废气处理装置连接，所述废气进气管路的出口端设有第一压力传感器，所述进气系统还包括气体缓存罐和用于将废气进气管路中的废气导向气体缓存罐且对气体缓存罐的出气调压后回流向废气进气管路出口端的气体缓存进气管路。本发明专利技术通过合理设置进气系统，当废气处理装置进气口气量过大导致压力瞬间升高时，启动气体缓存进气管路，保证设备的正常运行。当进气压力恢复正常后自动切换回原进气管路。原进气管路。原进气管路。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体废气处理用进气系统及控制方法


[0001]本专利技术涉及半导体废气处理
，尤其涉及一种半导体废气处理用进气系统及控制方法。

技术介绍

[0002]在半导体制造、液晶面板制造中废气处理装置是很重要的一个附属设备，它的正常运行可以确保将制造设备排出的有毒有害气体完全处理。因此设备的稳定性也关联了生产的连续性，目前设备进气管路通过相同管径的管路相连接，当气量突然变大时，由于没有缓冲装置，导致废气处理装置进气口压力升高，造成设备停机，影响制造设备的运行，因此解决进气口压力突变的问题至关重要。

技术实现思路

[0003]本专利技术旨在解决现有技术中存在的技术问题。为此，本专利技术提供一种半导体废气处理用进气系统及控制方法，目的是对废气流量进行控制，防止短暂的气量增加影响设备的正常运行。
[0004]基于上述目的，本专利技术提供了一种半导体废气处理用进气系统，包括废气进气管路，废气进气管路的出口端与废气处理装置连接，所述废气进气管路的出口端设有第一压力传感器，所述进气系统还包括气体缓存罐和用于将废气进气管路中的废气导向气体缓存罐且对气体缓存罐的出气调压后回流向废气进气管路出口端的气体缓存进气管路。
[0005]所述废气进气管路包括第一废气进气管、第二废气进气管和连接第一废气进气管与第二废气进气管的第一开关阀，所述第二废气进气管的出口端与废气处理装置连接，所述第一压力传感器设于第二废气进气管的出口端。
[0006]所述气体缓存进气管路包括缓存输送管和第一回流管，所述缓存输送管上设有第二开关阀，所述第一回流管上设有调节阀，所述缓存输送管的进口端与第一废气进气管连接，缓存输送管的出口端与气体缓存罐的进气口连接，所述气体缓存罐的第一出气口通过第一回流管与第二废气进气管的出口端连接。
[0007]所述进气系统还包括用于检测气体缓存罐内部压力的第二压力传感器。
[0008]所述废气进气管路还包括设于第一废气进气管上的三通阀，三通阀的排气口与排气管路连接，所述缓存输送管的进口端与三通阀的出气口连通，所述进气系统还包括第二回流管和设于第二回流管上的第三开关阀，所述第二回流管的一端与气体缓存罐的第二出气口连接，第二回流管的另一端与第一废气进气管的进口端连接。
[0009]所述第一废气进气管的进气端设有第三压力传感器。
[0010]所述进气系统还包括控制器，所述第一开关阀、第二开关阀、第三开关阀、第一压力传感器、第二压力传感器、第三压力传感器、调节阀和三通阀均与控制器电连接。
[0011]本专利技术还提供所述半导体废气处理用进气系统的控制方法，包括：
[0012]当进气正常运行时，三通阀打开以处于进气直通状态，并打开第一开关阀，关闭第
二开关阀和第三开关阀，调节阀的开度为零；
[0013]当第一压力传感器检测进气压力高于预设范围值时，打开第二开关阀，关闭第一开关阀，控制调节阀的开度使废气处理装置进气口的压力P1在最大设定值P
max
和最小设定值P
min
之间；控制器根据设定的检查间隔时间t，当到达设定的间隔时间后，打开第一开关阀，关闭第二开关阀，调节阀开度为零，通过第一压力传感器检测废气处理装置的进气压力，若压力P1恢复正常使P
min
<P1<P
max
，则控制继续调节调节阀的开度，使压力保持在P
min
<P1<P
max
，直至调节阀安全打开，若压力P1未恢复正常，则返回上级指令以打开第二开关阀，关闭第一开关阀，控制调节阀开度以调节压力P1恢复正常；当第一压力传感器检测的压力和第二压力传感器检测的压力相等时，控制调节阀完全关闭，切换回进气正常运行模式。
[0014]还包括当废气进入气体缓存罐后，气体尚未完全排空时设备产生故障报警停机后，三通阀旁通排气，同时关闭第一开关阀、第二开关阀和调节阀，打开第三开关阀，当第三压力传感器检测的压力P3和第二压力传感器检测的压力P2相等时，则控制第三开关阀完全关闭。
[0015]本专利技术的有益效果：本专利技术通过合理设置进气系统，当废气处理装置进气口气量过大导致压力瞬间升高时，启动气体缓存进气管路，保证设备的正常运行。当进气压力恢复正常后自动切换回原进气管路。本专利技术能够很好的对废气流量进行控制，防止短暂的气量增加影响设备的正常运行。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本专利技术的进气系统的原理结构示意图；
[0018]图2为本专利技术的第一种控制流程图；
[0019]图3为本专利技术第二种控制流程图。
[0020]图中标记为：
[0021]1、三通阀；2、第一开关阀；3、第三开关阀；4、第二开关阀；5、气体缓存罐；6、调节阀；7、废气处理装置；8、第一压力传感器；9、第二压力传感器；10、第三压力传感器；11、缓存输送管；12、第一回流管；13、第二回流管。
具体实施方式
[0022]为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本专利技术进一步详细说明。
[0023]需要说明的是，除非另外定义，本专利技术实施例使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似
的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
[0024]如图1至图3所示，一种半导体废气处理用进气系统，包括废气进气管路，废气进气管路的出口端与废气处理装置7连接，废气进气管路的出口端设有第一压力传感器8，该半导体废气处理用进气系统还包括气体缓存罐5和用于将废气进气管路中的废气导向气体缓存罐5且对气体缓存罐5的出气调压后回流向废气进气管路出口端的气体缓存进气管路。通过气体缓存进气管路的设置，当废气处理装置进气口气量过大导致压力瞬间升高时，启动气体缓存进气管路，使得废气经过调压恢复至正常压力后再进入废气处理装置，保证设备的正常运行。
[0025]如图1所示，废气进气管路包括第一废气进气管、第二废气进气管和连接第一废气进气管与第二废气进气管的第一开关阀2，第二废气进气管的出口端与废气处理装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体废气处理用进气系统，包括废气进气管路，废气进气管路的出口端与废气处理装置连接，其特征在于，所述废气进气管路的出口端设有第一压力传感器，所述进气系统还包括气体缓存罐和用于将废气进气管路中的废气导向气体缓存罐且对气体缓存罐的出气调压后回流向废气进气管路出口端的气体缓存进气管路。2.根据权利要求1所述半导体废气处理用进气系统，其特征在于，所述废气进气管路包括第一废气进气管、第二废气进气管和连接第一废气进气管与第二废气进气管的第一开关阀，所述第二废气进气管的出口端与废气处理装置连接，所述第一压力传感器设于第二废气进气管的出口端。3.根据权利要求2所述半导体废气处理用进气系统，其特征在于，所述气体缓存进气管路包括缓存输送管和第一回流管，所述缓存输送管上设有第二开关阀，所述第一回流管上设有调节阀，所述缓存输送管的进口端与第一废气进气管连接，缓存输送管的出口端与气体缓存罐的进气口连接，所述气体缓存罐的第一出气口通过第一回流管与第二废气进气管的出口端连接。4.根据权利要求3所述半导体废气处理用进气系统，其特征在于，所述进气系统还包括用于检测气体缓存罐内部压力的第二压力传感器。5.根据权利要求4所述半导体废气处理用进气系统，其特征在于，所述废气进气管路还包括设于第一废气进气管上的三通阀，三通阀的排气口与排气管路连接，所述缓存输送管的进口端与三通阀的出气口连通，所述进气系统还包括第二回流管和设于第二回流管上的第三开关阀，所述第二回流管的一端与气体缓存罐的第二出气口连接，第二回流管的另一端与第一废气进气管的进口端连接。6.根据权利要求5所述半导体废气处理用进气系统，其特征在于，所述第一废气进气管的进气端设有第三压力传感器。7.根据权利要求6所述半导体废气处理用进气系统，其特征在于，所述进气系统还包括控制器，所述第一开关阀、第二开...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨春水，张坤，杨春涛，
申请(专利权)人：安徽京仪自动化装备技术有限公司，
类型：发明
国别省市：