一种热释电超薄陶瓷片的制作方法及其在传感器上的应用技术

本发明专利技术涉及电子功能陶瓷技术领域，且公开了一种热释电超薄陶瓷片的制作方法及其在传感器上的应用，包括以下步骤：1)将预烧后的热释电陶瓷粉体、烧结助剂、40～50％乙醇和甲苯混合溶液及0.5～1.0％的KD

【技术实现步骤摘要】
一种热释电超薄陶瓷片的制作方法及其在传感器上的应用


[0001]本专利技术涉及电子功能陶瓷
，具体为一种热释电超薄陶瓷片的制作方法及其在传感器上的应用。

技术介绍

[0002]热释电被动红外传感器是一种检测移动人体和物体温度变化的传感器，目前，热释电红外传感器被广泛应用到各种自动化控制装置中，除了在我们熟知的楼道自动开关、防盗报警上得到应用外，在更多的领域应用前景看好，比如：在房间无人时会自动停机的空调机、饮水机，电视机能判断无人观看或观众已经睡觉后自动关机的机构，开启监视器或自动门铃上的应用，台灯在人睡觉后的自动关闭，起夜灯，衣柜灯，阳台灯，以及老年人监护等领域，实现了与物联网的互联互通。
[0003]热释电陶瓷敏感元芯片作为热释电被动红外传感器的核心部件，其传统的制作工艺为：采用干粉压制成型工艺制作2mm以上的厚陶瓷料块，在陶瓷料块高压极化后采用切片或减薄的方法制作厚度为60
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100μm的敏感元芯片陶瓷片，由于采用干压成型及减薄的方法制作陶瓷敏感元芯片，其材料利用率低于20％，其加工过程中不仅浪费了大量的原本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种热释电超薄陶瓷片的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：1)将预烧后的热释电陶瓷粉体、烧结助剂、40～50％乙醇和甲苯混合溶液及0.5～1.0％的KD
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1分散剂，加入球磨罐内部并进行球磨混合4～6h，加入4
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8％的PVB粘合剂后继续球磨12～18h，用激光粒度仪测量粒度，并使得粒度在D50＝1.2um
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0.1um范围内，并过400目不锈钢筛网出料；2)将浆料抽真空脱泡，并控制浆料粘度在400cps
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100cps，采用钢带流延形成20
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50um厚度的陶瓷生膜带，然后将膜带裁剪为200*200mm的坯片，将膜带按照与流延方向一致或垂直的不同方向交叉叠层，最终形成厚度为80～120um的陶瓷叠层片；3)将陶瓷叠层片冲压成一定形状的膜片，贴在玻璃板或者平整的不锈钢板上，放入真空包装袋，然后进行温等静压，温等静压条件为75℃，压力30～50MPa，保压时间10～20min，制得致密的陶瓷膜片；4)将温等静压好的陶瓷膜片切割或冲压成为60*60mm的坯片，或者直径60mm的坯片，将坯片叠放在一起，每叠的数量为30～50片，然后进行素烧；5)将素烧后叠在一起的坯片进行剥离，并将坯片表面上撒隔粘粉并重新叠放整齐，在叠好的坯片上压一块陶瓷板，进行高温烧结；6)将烧结后的每叠陶瓷片进行人工或机器剥离，清洗去除表面的隔粘粉，在方形或圆形陶瓷片表面溅射银电极，并进行极化；7)将极化后测量D33值合格的陶瓷片表面金属用化学方法腐蚀去除，形成干净的陶瓷片；8)将陶瓷片划片成所需要的敏感元芯片，在其表面蒸镀特定形状的背电极和吸收电极层，形成热释电陶瓷超薄陶瓷敏感元芯片；9)将热释电陶瓷超薄陶瓷敏感元芯片组装于传感器内部，并评价传感器的电性能及感应距离。2.根据权利要求1所述的一种热释电超薄陶瓷片的制作方法，其特征在于，在步...

【专利技术属性】
技术研发人员：单森林，
申请(专利权)人：森霸传感科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：