提高紧固力的光掩膜内盒移动用外盒制造技术

提高紧固力的光掩膜内盒移动用外盒。本发明专利技术提供一种通过用于使设置于外盒的侧框架与主框架紧固的紧固部提高紧固力并防止向外部露出的外盒，涉及一种光掩膜内盒移动用外盒，通过用于使主框架与侧框架相互紧固的紧固部结构提高紧固力，所述紧固部采用非突出型结构，移动时也可预先防止紧固部损坏，利用提高固定力的支撑部，将托架固定到外盒的内部的搁置部，托架是将光掩膜内盒移动至外盒的内部时的必需结构要素，设置防折叠部件来防止通过铆钉将片材连接至构成外盒的框架时所述片材发生折叠部分，并对托架进行支撑。并对托架进行支撑。并对托架进行支撑。

【技术实现步骤摘要】
提高紧固力的光掩膜内盒移动用外盒


[0001]本专利技术涉及光掩膜内盒移动用外盒，更具体地涉及一种通过用于使设置于所述外盒的侧框架与主框架紧固的紧固部来提高紧固力并防止向外部露出的外盒。

技术介绍

[0002]首先，现有技术中，移动盒通常是矩形平板形状的基板，包括用于制造液晶显示器(LCD)面板或等离子体显示器(PD)面板的玻璃基板、玻璃基板的表面上层叠遮光膜或抗蚀刻膜等的光罩基底、以及通过光刻工序形成电路图案的光掩模等。
[0003]这种基板在各个制造工序以及作为后续工序的成膜工序或曝光工序中均需要高洁净度，因此例如在保持100级左右洁净度的洁净室中制造。
[0004]在洁净室中，所制造的基板收容在无尘结构的基板箱(内箱)并被密封。
[0005]如上所述的基板是重物。
[0006]例如，在对角线尺寸为18m左右的基板的情况下，单个基板的质量约为50kg，在对角线尺寸约为24m水平的基板的情况下，单个基板的质量超过100kg。
[0007]因此，由人力抬起并运输收容基板的基板箱是不现实的。
[00本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种提高紧固力的光掩膜内盒移动用外盒，涉及一种光掩膜内盒移动用外盒，其包括：框架(100)，用于保管及移动在内部放置光掩膜且在下部设置轮子(21)的光掩膜内盒(20)并形成内部空间；搁置部(200)，设置于所述框架(100)的内部下侧；丹普拉片(300)，结合在所述框架(100)的外侧；轮子(400)，为多个并与所述框架(100)的下部连接；轨道(500)，位于所述搁置部(200)的上部，供光掩膜内盒移动；及托架(600)，利用轨道(500)将所述光掩膜内盒移动至内部和外部，所述提高紧固力的光掩膜内盒移动用外盒的特征在于，所述框架(100)由主框架(110)和侧框架(120)构成，主框架(110)形成整体框架，在所述主框架(110)的两侧，侧框架(120)分别形成于所述主框架(110)的两侧面，在所述主框架(110)的前面和背面设置有用于固定两侧的侧框架(120)的紧固部(30)。2.根据权利要求1所述的提高紧固力的光掩膜内盒移动用外盒，其特征在于，所述紧固部(30)由紧固钩(31)和紧固单元(33)构成，在所述紧固钩(31)中，在侧框架(120)的内侧一部分形成有卡止槽(31a)，在所述紧固单元(...

【专利技术属性】
技术研发人员：李絃万，
申请(专利权)人：李絃万，
类型：发明
国别省市：