下载提高紧固力的光掩膜内盒移动用外盒的技术资料

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提高紧固力的光掩膜内盒移动用外盒。本发明提供一种通过用于使设置于外盒的侧框架与主框架紧固的紧固部提高紧固力并防止向外部露出的外盒,涉及一种光掩膜内盒移动用外盒,通过用于使主框架与侧框架相互紧固的紧固部结构提高紧固力,所述紧固部采用非突出型结...
该专利属于李絃万所有,仅供学习研究参考,未经过李絃万授权不得商用。

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