主轴单元和加工装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供主轴单元和加工装置，该主轴单元具有即使在发生热变形那样的状况下也能够使主轴连续地旋转并且对载荷的耐性也优异的空气轴承。该主轴单元包含主轴和主轴壳体，该主轴在前端安装加工器具，该主轴壳体具有通过空气以非接触的方式将该主轴支承为能够旋转的推力轴承和径向轴承，该推力轴承具有：空气提供部，其向与该主轴的轴向垂直的方向的该主轴的外侧面与该主轴壳体的内侧面之间的间隙提供空气；以及调整部，其能够调整该间隙的与该主轴的外侧面垂直的方向上的距离。该主轴的外侧面垂直的方向上的距离。该主轴的外侧面垂直的方向上的距离。

【技术实现步骤摘要】
主轴单元和加工装置


[0001]本专利技术涉及主轴单元和加工装置。

技术介绍

[0002]对卡盘工作台所保持的晶片进行磨削加工的磨削装置具有包含主轴的主轴单元。在该磨削装置中，配置有环状的磨削磨具的磨削磨轮安装于主轴的前端。利用通过使主轴旋转而进行旋转的磨削磨具对晶片进行磨削。
[0003]如专利文献1所公开的那样，主轴单元具有：主轴壳体，其形成间隙而围绕主轴的外周面；以及空气提供部，其向间隙提供空气。使间隙充满空气并进行加压，由此形成空气轴承。
[0004]另外，关于主轴，如专利文献2所公开的那样，通过测量间隙的空气的压力，能够测量施加于磨削磨具的载荷。
[0005]专利文献1：日本特开平11
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132232号公报
[0006]专利文献2：日本特开2008
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049445号公报
[0007]在上述那样的主轴单元中，将安装于主轴的前端的磨削磨轮的磨削磨具按压于晶片而对晶片进行磨削，通过该磨削加工，会向使主轴倾斜的方向施加载荷，为了抑制主轴由于该载荷而倾斜，将间隙缩窄。即本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种主轴单元，其中，该主轴单元包含：主轴，其在前端安装加工器具；以及主轴壳体，其具有通过空气以非接触的方式将该主轴支承为能够旋转的推力轴承和径向轴承，该推力轴承具有：空气提供部，其向与该主轴的轴向垂直的方向的该主轴的外侧面与该主轴壳体的内侧面之间的间隙提供空气；以及调整部，其能够调整该间隙的与该主轴的外侧面垂直的方向上的距离。2.根据权利要求1所述的主轴单元，其中，该调整部具有压电致动器，该压电致动器配置于该主轴而使形成该推力轴承的该主轴的外侧面在该主轴的轴向上移动。3.根据权利要求1所述的主轴单元，其中，该调整部具有压电致动器，该压电致动器配置于该主轴壳体而使形成该推力轴承的该主轴壳体的内侧面在该主轴的轴向上移动。4.一种加工装置，其通过加工器具对被加工物进行加工，其中，该加工装置具有：主轴单元，其包含主轴和主轴壳体，该主轴在前端安装该加工器具，该主轴壳体具有通过空气以非接触的方式将该主轴支承为能够旋转的推...

【专利技术属性】
技术研发人员：渡边裕之，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：