一种半导体激光器准直器件制造技术

本申请属于光集成技术领域，公开了一种半导体激光器准直器件，包括衬底、半导体激光器芯片和条形光波导，半导体激光器芯片和条形光波导均设置在衬底的上表面；还包括设置在衬底的上表面的平板光波导，所述半导体激光器芯片的发射端和所述条形光波导的入射端分别与所述平板光波导的侧面贴壁连接；所述平板光波导包括椭圆弧形的全反射镜，所述全反射镜具有两个焦点，所述半导体激光器芯片的发射端设置在所述全反射镜的其中一个焦点处，所述条形光波导的入射端设置在所述全反射镜的另一个焦点处，所述全反射镜用于把入射光束全部反射到所述条形光波导的入射端；该半导体激光器准直器件可降低半导体激光器芯片和条形光波导之间的耦合损耗。的耦合损耗。的耦合损耗。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体激光器准直器件


[0001]本申请涉及光集成
，具体而言，涉及一种半导体激光器准直器件。

技术介绍

[0002]目前，光集成技术一般使用半导体激光器芯片作为光源，并使半导体激光器芯片发出的光波直接耦合至条形光波导中，为实现半导体激光器芯片和条形光波导的直接耦合，一般是把半导体激光器芯片和条形光波导同轴地贴装在衬底上，由于制造工艺的限制，半导体激光器芯片和条形光波导之间会存在位置和角度偏差，这种偏差会导致半导体激光器芯片和条形光波导之间具有较大的耦合损耗，从而降低光集成电路的效率。

技术实现思路

[0003]本申请的目的在于提供一种半导体激光器准直器件，可降低半导体激光器芯片和条形光波导之间的耦合损耗。
[0004]本申请提供了一种半导体激光器准直器件，包括衬底、半导体激光器芯片和条形光波导，所述半导体激光器芯片和所述条形光波导均设置在所述衬底的上表面；还包括设置在衬底的上表面的平板光波导，所述半导体激光器芯片的发射端和所述条形光波导的入射端分别与所述平板光波导的侧面贴壁连接；所述平板光波导包括椭圆弧形的全本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体激光器准直器件，包括衬底（1）、半导体激光器芯片（2）和条形光波导（3），所述半导体激光器芯片（2）和所述条形光波导（3）均设置在所述衬底（1）的上表面；其特征在于，还包括设置在衬底（1）的上表面的平板光波导（4），所述半导体激光器芯片（2）的发射端和所述条形光波导（3）的入射端分别与所述平板光波导（4）的侧面贴壁连接；所述平板光波导（4）包括椭圆弧形的全反射镜（5），所述全反射镜（5）具有两个焦点，所述半导体激光器芯片（2）的发射端设置在所述全反射镜（5）的其中一个焦点处，所述条形光波导（3）的入射端设置在所述全反射镜（5）的另一个焦点处，所述全反射镜（5）用于把入射光束全部反射到所述条形光波导（3）的入射端。2.根据权利要求1所述的半导体激光器准直器件，其特征在于，所述平板光波导（4）包括两个平直侧面，半导体激光器芯片（2）的发射端垂直地连接在其中一个所述平直侧面处，所述条形光波导（3）的入射端垂直地连接在另一个所述平直侧面处。3.根据权利要求1所述的半导体激光器准直器件，其特征在于，所述全反射镜（5）设置在所述平板光波导（4）内。4.根据权利要求1所述的半导体激光器准直器件，其特征在于，所述全反射镜（5）为所述平板光波导（4）的其中一个侧面。5.根据权利要求4所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭嘉梁，赵迎宾，张跃芳，
申请(专利权)人：季华实验室，
类型：发明
国别省市：