下载一种半导体激光器准直器件的技术资料

文档序号:32504462

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本申请属于光集成技术领域,公开了一种半导体激光器准直器件,包括衬底、半导体激光器芯片和条形光波导,半导体激光器芯片和条形光波导均设置在衬底的上表面;还包括设置在衬底的上表面的平板光波导,所述半导体激光器芯片的发射端和所述条形光波导的入射端分...
该专利属于季华实验室所有,仅供学习研究参考,未经过季华实验室授权不得商用。

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