一种压电薄膜加速度或震动传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种压电薄膜加速度或震动传感器，涉及到传感器技术领域，包括上电极、下电极以及设于所述上电极与所述下电极之间的压电薄膜，还包括基底结构和质量块，其中，所示基底结构上开设有凹槽，所述上电极的上侧设有所述质量块，所述质量块位于所述凹槽内，所述压电薄膜的两端覆盖在所述凹槽的两侧。本发明专利技术中由于金属块可以隐藏在凹槽内，可以实现防水防尘的效果，保证了金属块环境的一致性和可靠性；另外，金属块在晃动过程中，始终处于一个空旷的空间，不会受到周边环境影响；在外观上，传感器也实现了和PCB融为一体，没有额外增加其纵向上的高度。纵向上的高度。纵向上的高度。

【技术实现步骤摘要】
一种压电薄膜加速度或震动传感器


[0001]本专利技术涉及到传感器
，尤其涉及到一种压电薄膜加速度或震动传感器。

技术介绍

[0002]加速度传感器，以3轴加速度计、6轴或9轴陀螺仪为典型，其核心为3轴加速度计，可以检测在x,y,z三个方向上的加速度情况，因其检测精度高，测量指标较多，在电子终端设备等中得到广泛应用。
[0003]然而，对某些只需要检测单一方向上加速度大小，甚至只需要检测加速度是否超过某一阈值的应用场合而言，陀螺仪成本上仍然较贵，功能上也是比较冗余的，因此能够检测加速度，但是成本低廉的技术路线仍是市场上具有较强竞争力的方案。基于这种简单的应用，压电薄膜因为成本低廉，结构简单，具备广泛的适用性，受到市场的欢迎。一般的实施方案是利用悬臂梁原理，在悬臂梁13下方贴附压电薄膜传感器(包括压电层15和弹性层16)，在悬臂梁13另一端固定一金属块14，当金属块14受到加速度作用时，会产生压力，该压力导致悬臂梁13弯曲，从而压迫压电薄膜传感器，而压电薄膜传感器比较敏感，受力之后会在上下电极产生大小不同的电荷，其大小与受力呈正比，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压电薄膜加速度或震动传感器，包括上电极、下电极以及设于所述上电极与所述下电极之间的压电薄膜，其特征在于，还包括基底结构和质量块，其中，所述基底结构上开设有凹槽，所述上电极的上侧设有所述质量块，所述质量块位于所述凹槽内，所述压电薄膜的两端覆盖在所述凹槽的两侧。2.如权利要求1所述的压电薄膜加速度或震动传感器，其特征在于，还包括电极引出焊盘，所述凹槽的两侧设有两所述电极引出焊盘，其中，所述下电极的一侧覆盖在其中一所述电极引出焊盘上，所述上电极的一侧覆盖在另一所述电极引出焊盘上。3.如权利要求1所述的压电薄膜加速度或震动传感器，其特征在于，还包括覆盖膜，所述上电极的上端设有所述覆盖膜。4.如权利要求3所述的压电薄膜加速度或震动传感器，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：何大伟，朱凯，
申请(专利权)人：上海凸申科技有限公司，
类型：发明
国别省市：