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本发明公开了一种压电薄膜加速度或震动传感器，涉及到传感器技术领域，包括上电极、下电极以及设于所述上电极与所述下电极之间的压电薄膜，还包括基底结构和质量块，其中，所示基底结构上开设有凹槽，所述上电极的上侧设有所述质量块，所述质量块位于所述凹槽...
该专利属于上海凸申科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海凸申科技有限公司授权不得商用。

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