【技术实现步骤摘要】
一种用于淋洗甩干机轴的非接触式氮气密封装置
[0001]本技术属于硅片生产设备
，具体涉及一种用于淋洗甩干机轴的非接触式氮气密封方法。
技术介绍
[0002]目前，在半导体行业中，硅片生产过程中须经严格清洗。淋洗甩干机旋转轴一般采用间隙密封，是一种径向缝隙密封和轴向端面密封相结合的非接触式轴密封方法。研磨过的动密封环和静密封环的端面互相贴合形成间隙密封。旋转轴不需要润滑，并允许有热膨胀，适应高温、高转速频率的场合。但当动密封环和静密封环的贴合端面发生磨损后，密封效果会变差，最终淋洗甩干机喷淋时高纯水会通过动密封环和静密封环的贴合端面渗透到旋转轴的外部，导致漏水不能正常使用。
技术实现思路
[0003]本技术的目的是为了解决上述现有技术上存在的问题，提供一种用于淋洗甩干机轴的非接触式氮气密封装置，本装置具有设计合理、维修简单和使用周期长等优点，改善了淋洗甩干机高速旋转时对高纯水的密封效果，能够解决目前淋洗甩干机长期使用后，由于动静密封环磨损严重而频繁更换的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术采用...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于淋洗甩干机轴的非接触式氮气密封装置，其特征在于：包括花篮载体板（1）、动密封环（2）、静密封环（3）和旋转笼壳体（4）；所述花篮载体板（1）与动密封环（2）同轴设置且固定连接以形成动密封组件，所述动密封环（2）的一端面中心设置有用于安装静密封环（3）和旋转笼壳体（4）的轴套部；所述静密封环（3）与旋转笼壳体（4）同轴设置且固定连接以形成静密封组件，在静密封环（3）和旋转笼壳体（4）的中心形成有用于穿设所述轴套部的中心孔，在旋转笼壳体（4）的中心孔周围设置有用于输送氮气的气嘴接头（41）；所述静密封环（3）和动密封环（2）之间预留有用于形成高压气膜的气膜间隙；所述静密封环（3）的一端面上形成有两个同轴设置的环形气腔（33），所述环形气腔（33）与所述气嘴接头（41）对接连通，位于外圈的环形气腔（33）底部沿周向分布设置有斜孔气道Ⅰ（31），位于内圈的环形气腔（33）的底部沿周向分布设置有斜孔气道Ⅱ（32），斜孔气道Ⅰ（31）和斜孔气道Ⅱ（32）用于连通所述环形气腔（33）和所述气膜间隙。2.如权利要求1所述的一种用于淋洗甩干机轴的非接触式氮气密封装置，其特征在于：所述花篮载体板（1）的端面中心形成有圆孔，在动密封环（2）的端面上形成有与所述圆孔匹配的中心圆台。3.如权利要求2所述的一种用于淋洗甩干机轴的非接触式氮气密封装置，其特征在于：所述斜孔气道Ⅰ（3...
【专利技术属性】
技术研发人员：贾波，牛海涛，马龙峰，张明亮，宋松伟，
申请(专利权)人：麦斯克电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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