一种FPI批量测试系统及其测试方法技术方案

本发明专利技术提出了一种FPI批量测试系统，包括控制器、第一多路复用器、第二多路复用器以及FPI承载模块；所述FPI承载模块包括m条横向选通线、n条竖向选通线以及由m行n列FPI载具组成的FPI载具阵列，所述FPI载具阵列用于承载待测试的FPI，从而构成FPI阵列；m条所述横向选通线的一端均电性连接第一多路复用器，且另一端分别并联所述FPI阵列对应行的n个FPI，n条所述竖向选通线的一端均电性连接第二多路复用器，且另一端分别并联所述FPI阵列对应列的m个FPI；还包括成像设备，所述成像设备用于采集所述FPI阵列的干涉图像。本发明专利技术通过搭建FPI承载模块，基于多路复用器构建FPI选通阵列，兼容了个体间的差异，满足FPI批量化测试需求，因此大大的提高了FPI的测试效率。的提高了FPI的测试效率。的提高了FPI的测试效率。

【技术实现步骤摘要】
一种FPI批量测试系统及其测试方法


[0001]本专利技术属于FPI测试领域，具体涉及一种FPI批量测试系统及其测试方法。

技术介绍

[0002]FPI(法珀干涉器)的光学原理是基于法布里
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珀罗干涉原理，通过半导体集成电路工艺制成的分光芯片，以不同电压驱动芯片，获得不同窄波光谱。FPI在成品之前需要经过多轮测试，每一轮测试都需要耗费大量的时间，并且不同FPI之间存在个体差异，无法进行兼容批量测试，导致FPI的测试效率较低，不利于FPI的批量化生产。因此，如何提高FPI的测试效率已经成为一个重要的问题。

技术实现思路

[0003]为了解决现有FPI测试效率较低的问题，本申请提供一种FPI批量测试系统及其测试方法，以提高FPI的测试效率。
[0004]根据本申请的第一方面，提出了一种FPI批量测试系统，包括控制器、第一多路复用器、第二多路复用器以及连接在所述第一多路复用器与所述第二多路复用器之间的FPI承载模块；所述FPI承载模块包括m条横向选通线、n条竖向选通线以及由m行n列FPI载具组成的FPI载具阵本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种FPI批量测试系统，其特征在于，包括控制器、第一多路复用器、第二多路复用器以及连接在所述第一多路复用器与所述第二多路复用器之间的FPI承载模块；所述FPI承载模块包括m条横向选通线、n条竖向选通线以及由m行n列FPI载具组成的FPI载具阵列，所述m≥2，n≥2，且所述m、n均为整数，所述FPI载具阵列用于承载待测试的FPI，从而构成FPI阵列；m条所述横向选通线的一端均电性连接所述第一多路复用器，且另一端分别并联所述FPI阵列对应行的n个所述FPI，n条所述竖向选通线的一端均电性连接所述第二多路复用器，且另一端分别并联所述FPI阵列对应列的m个所述FPI，所述第一多路复用器和第二多路复用器均电性连接至控制器；还包括成像设备，所述成像设备用于采集所述FPI阵列的干涉图像。2.根据权利要求1所述的一种FPI批量测试系统，其特征在于，所述成像设备为光学镜头。3.根据权利要求2所述的一种FPI批量测试系统，其特征在于，所述光学镜头同时采集多个所述FPI的干涉图像。4.根据权利要求2所述的一种FPI批量测试系统，其特征在于，所述光学镜头设置有多个，多个所述光学镜头分别对应采集多个所述FPI的干涉图像。5.一种采用如权利要求1
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3中任一项所述测试系统的FPI批量测试方法，其特征在于，包括：利用成像设备采集FPI阵列的干涉图像，对所述干涉图像进行第一轮检测，当检测到所述干涉图像存在缺陷点时，提取所述缺陷点的信息，并在所述缺陷点上框选出对应的检测窗口，利用所述检测窗口的步进对所述FPI阵列中的各个FPI进行第二轮检测，从而快速筛选出存在所述缺陷...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄锦标，林琳，郭斌，
申请(专利权)人：深圳市海谱纳米光学科技有限公司，
类型：发明
国别省市：