氮气循环系统技术方案

本申请提供一种氮气循环系统，其是利用氮气输入设备、帮浦、氮气纯化装置及腔体进行氮气循环，帮浦是通过第一管路连接于氮气输入设备，氮气纯化装置是通过第二管路连接于帮浦，氮气纯化装置包含壳体、进气过滤模块及压缩组件，以及腔体是由上而下依序设置第一多孔件及第二多孔件，将腔体分隔为进气区、洁净区及出口区，进气区设置第二进气口，第二进气口通过第三管路连接于第一出气口，出口区设置第二出气口并通过第四管路连接至帮浦。气口并通过第四管路连接至帮浦。气口并通过第四管路连接至帮浦。

【技术实现步骤摘要】
氮气循环系统


[0001]本申请是关于一种装置，特别是一种氮气循环系统。

技术介绍

[0002]现代精密电子工业以及生物科技工业均依赖洁净室(clean room)提供低尘度和适当温湿度的封闭空间，以设置高价值的精密电子或生物科技产品的生产或储存设备。就传统的洁净室的流通气体清净系统的设计而言，其通常是类似一般商业办公场所的空调系统，在室内天花板外部上方设置具有鼓风设备和过滤设备的进气过滤区和室内的照明灯具。
[0003]上述洁净室和上述空调系统的差别在于，除了在上述进气过滤区采用远较一般空调系统更为精细的过滤器例如是高效滤网(HEPA，high-efficiency particulate air)之外，还在建筑物楼地板上设置高架地板供承载上述设备，上述高架地板会尽可能设置大量孔洞，以便上述粉尘受重力作用落入高架地板下方，并且利用由上述进气过滤区向高架地板吹送的气流，将上述生产或储存活动产生的粉尘，经由上述孔洞带离上述洁净室，上述高架地板下方设置有例如静电除尘设备、加热器或加湿器等处理设备，以将洁净室排出的流通气体净化和调整至符合适当的尘度和温度和湿度要求，然后再送回上述进气过滤区如此循环使用上述流通气体。
[0004]此外，尖端的半导体工业以及光电工业采用大量的电浆气体设备对加工的产品进行材料的沉积(deposition)、清洗(cleaning)、灰化(ashing)或蚀刻(etching)等工序统称为干制程，这些干制程所用的设备具有近乎真空的电浆腔室且同样循环使用着各种特化气体作为工作气体，无疑的也必须在上述电浆腔室的入口以及出口设置上述的洁净和除尘设备，以保持上述工作气体的成分、压力、流量和尘度符合对应的干制程所需。
[0005]不仅如此，上述尖端的半导体工业以及光电工业同时具有大量的湿蚀刻、光阻显影以及各种清洗等湿式制程，也采用各种液体药剂并循环使用以节省成本，同样也必须在上述湿式制程设备的入口以及出口，设置上述的循环药剂洁净和除尘设备，以保持上述药剂的成分、温度、流量和一除尘度符合对应的湿式制程所需。
[0006]然而，上述的各种流体主要是依赖鼓风设备或是在药液循环系统中的帮浦提供驱动力而流动，除此之外并未进一步对于流体的流速进行精确控制以及利用，以至于上述粉尘的移除效率不高需要以人力定期执行大清扫(super clean)，或是上述干、湿制程设备工作气体或药液等工作流体的成分、温度、流量不稳定，导致制程条件的控制不佳产生不良品。
[0007]因此，如何精确控制流体应用装置的流体流速，以改善流体应用装置内部的尘度或是控制工作流体的稳定度，一直是本领域产业市场上亟待解决的问题。

技术实现思路

[0008]本申请所要解决的技术问题在于提供一种氮气循环系统，其是利用第一多孔件及
第二多孔件使气流均速通过第一多孔件及第二多孔件，通过第一多孔件及第二多孔件的多孔特性，使气流通过时流速被控制，有利于均匀带走腔体内的粉尘，使腔体内环境洁净无粉尘。
[0009]本申请的一目的，在于提供一种氮气循环系统，本申请当腔体内压力过高时，通过压缩组件可将氮气引流出腔体后储存，并使腔体内的压力下降，当腔体内压力不足时，将储存的氮气引流至腔体内以有效利用氮气避免能源浪费。
[0010]针对上述的目的，本申请提供一种氮气循环系统，其包含：一氮气输入设备；一帮浦，其是通过一第一管路连接于该氮气输入设备；一氮气纯化装置，其是通过一第二管路连接于该帮浦；以及一腔体，该腔体通过一第三管路与该氮气纯化装置相连，其内依序设置有一第一多孔件及一第二多孔件，该第一多孔件具有一第一孔径，该第二多孔件具有一第二孔径，其中，该第一孔径大于该第二孔径；当该氮气输入设备通过该第一管路输入一氮气至该帮浦时，该帮浦利用该第二管路将该氮气输入至该氮气纯化装置中进行纯化，接着通过该第三管路将该氮气由该氮气纯化装置输入至该腔体内，使该氮气流经该第一多孔件及该第二多孔件时，因流速改变产生压力差，而将该腔体内的粉尘带走。
[0011]本申请提供一实施例，其中该氮气纯化装置包含一壳体，其设有一第一进气口及一第一出气口，该第一进气口设置于该壳体的一第一侧并通过该第二管路与该帮浦相连，该第一出气口设置于该壳体的一第二侧，并通过该第三管路与该腔体相连；一气体过滤模块，其是设置于该壳体内，并位于靠近该第一进气口的一侧；以及一压缩组件，其是设置于该壳体内，位于该气体过滤模块及该第一出气口之间，用于调节该腔体内的气体压力。
[0012]本申请提供一实施例，其中该气体过滤模块包含一过滤组件，一除湿组件及一滤氧组件，该除湿组件设置于该过滤组件及滤氧组件之间。
[0013]本申请提供一实施例，其中该第一多孔件及该第二多孔件，将该腔体分隔为一进气区、一洁净区及一出口区，该进气区设置一第二进气口，该第二进气口通过该第三管路连接于该第一出气口，该出口区设置一第二出气口并通过一第四管路连接至该帮浦。
[0014]本申请提供一实施例，其中该过滤组件为HEPA、或高效过滤棉。
[0015]本申请提供一实施例，其中该第一多孔件具有一第一孔径，该第二多孔件具有一第二孔径，其中，该第一孔径大于该第二孔径。
[0016]本申请提供一实施例，其中该腔体进一步设置有一进气过滤模块，该进气过滤模块设置于该第一多孔件及该第二多孔件之间。
[0017]本申请提供一实施例，其中该进气过滤模块为空气净化机或风机滤网机组。
[0018]本申请提供一实施例，其中更包含一维修排气口，其是设于一第五管路的一侧，该维修排气口其是通过一第五管路连接至该帮浦。
[0019]本申请提供一实施例，其中该氮气纯化装置更包含一气体缓冲槽，其是设置于该压缩组件及该第一出气口之间。
[0020]本申请提供一实施例，其中该压缩组件更包含一泄压阀，该泄压阀用以泄除该槽体内的一压力。
[0021]有关本申请的其它功效及实施例的详细内容，配合图式说明如下。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0023]图1A是本申请的一实施例的装置示意图；
[0024]图1B是本申请的一实施例的第一多孔件示意图；
[0025]图1C是本申请的一实施例的一第二多孔件示意图；
[0026]图2是本申请的一实施例的缓冲空间及扩散板位置示意图；以及
[0027]图3是本申请的一实施例的维修排气示意图。
[0028]符号说明
[0029]1 第一管路
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10 氮气输入设备
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2 第二管路
[0030]20 帮浦
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氮气循环系统，其特征在于，包含：一氮气输入设备；一帮浦，其是通过一第一管路连接于该氮气输入设备；一氮气纯化装置，其是通过一第二管路连接于该帮浦；以及一腔体，该腔体通过一第三管路与该氮气纯化装置相连，其内依序设置有一第一多孔件及一第二多孔件，该第一多孔件具有一第一孔径，该第二多孔件具有一第二孔径，其中，该第一孔径大于该第二孔径；当该氮气输入设备通过该第一管路输入一氮气至该帮浦时，该帮浦利用该第二管路将该氮气输入至该氮气纯化装置中进行纯化，接着通过该第三管路将该氮气由该氮气纯化装置输入至该腔体内，使该氮气流经该第一多孔件及该第二多孔件时，因流速改变产生压力差，而将该腔体内的粉尘带走。2.根据权利要求1所述的氮气循环系统，其特征在于，该氮气纯化装置包含：一壳体，其设有一第一进气口及一第一出气口，该第一进气口设置于该壳体的一第一侧并通过该第二管路与该帮浦相连，该第一出气口设置于该壳体的一第二侧，并通过该第三管路与该腔体相连；一气体过滤模块，其是设置于该壳体内，并位于靠近该第一进气口的一侧；以及一压缩组件，其是设置于该壳体内，位于该气体过滤模块及该第一出气口之间，用于调节该腔体内的气体压力。3.根据权利要求2所述的氮气循环系统，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡纶，苏顺利，李政哲，
申请(专利权)人：奇鼎科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：