一种梳齿间隙可调式MEMS加速度计制造技术

本发明专利技术提供了一种梳齿间隙可调式MEMS加速度计，包括：衬底层，所述衬底层上设有器件层，所述器件层上设有正检测单元和负检测单元，所述正检测单元和负检测单元内设有多个梳齿间隙调节装置，所述正检测单元和负检测单元相对设置，所述正检测单元和负检测单元之间设有可动质量块，所述可动质量块上设有正力平衡单元和负力平衡单元，所述正力平衡单元和负力平衡单元平行设置；本发明专利技术通过梳齿间隙可调式MEMS加速度计的创新设计，可实现补偿由于工艺制造导致的结构间隙偏差、失配、加工一致性差等问题，从而保证了器件设计指标的零偏移，增强了器件指标的稳定性、一致性，同时提升了装置的灵敏度和分辨率，优化了MEMS加速度计的性能。能。能。

【技术实现步骤摘要】
一种梳齿间隙可调式MEMS加速度计


[0001]本专利技术涉及MEMS加速度计
，具体涉及一种梳齿间隙可调式MEMS加速度计。

技术介绍

[0002]MEMS加速度计是用于检测加速度的装置，是MEMS惯性传感器的代表之一，它涉及电子、机械、材料、物理学、化学等多种学科与技术，是当前国内外的研究热点，此外因MEMS加速度计具有高稳定性、高灵敏度以及高分辨率等优点，其在工业控制、无人机、惯性导航、航空航天等领域具有广阔的应用前景。
[0003]随着MEMS制造技术的发展，当前MEMS加速度计的制造水平已显著提高，但目前传感结构的加工过程仍然普遍面临结构过刻蚀严重、间隙加工偏差大，工艺一致性差等一系列制造问题，使得MEMS加速度计结构失配，导致器件关键指标偏离设计值，一致性差，灵敏度降低、分辨率变差等，成为了影响器件性能提高的关键瓶颈之一，这严重限制了MEMS加速度计的应用。

技术实现思路

[0004]针对上述问题，本专利技术提供一种梳齿间隙可调式MEMS加速度计,通过控制固定梳齿与可动梳齿的间隙，一方面保证器件设计指标本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种梳齿间隙可调式MEMS加速度计，其特征在于，包括：衬底层（1），所述衬底层（1）上设有器件层（2），所述器件层（2）上设有正检测单元（3）和负检测单元（4），所述正检测单元（3）和负检测单元（4）相对设置，所述正检测单元（3）和负检测单元（4）之间设有可动质量块（5），所述可动质量块（5）上设有正力平衡单元（6）和负力平衡单元（7），所述正力平衡单元（6）和负力平衡单元（7）平行设置。2.根据权利要求1所述的一种梳齿间隙可调式MEMS加速度计，其特征在于，所述负检测单元（4）结构与正检测单元（3）结构相同，所述正检测单元内设有多个梳齿间隙调节装置（8），所述正检测单元（3）还包括第一固定锚点（9）、正检测电极（10），所述梳齿间隙调节装置（8）一端连接第一固定锚点（9），另一端连接正检测电极（10），所述正检测电极（10）另一端设有正固定检测梳齿（11），所述可动质量块（5）上连接正可动检测梳齿（12），所述正固定检测梳齿（11）和正可动检测梳齿（12）相互配合。3.根据权利要求2所述的一种梳齿间隙可调式MEMS加速度计，其特征在于，所述梳齿间隙调节装置（8）包括梳齿间隙调节梁（13）、十字连杆（14）、间隙调节施力梳齿对（15），所述梳齿间隙调节梁（13...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷龙海，白龙，陈首任，郭雪培，朱玉伦，
申请(专利权)人：成都华托微纳智能传感科技有限公司，
类型：发明
国别省市：