具有分裂锚定件和锚定件之间的挠曲顺应性的惯性传感器制造技术

本公开涉及具有分裂锚定件和锚定件之间的挠曲顺应性的惯性传感器。一种惯性传感器包含可移动质量、扭力元件，以及与基板的表面隔开悬挂所述可移动质量的悬挂系统。所述扭力元件联接到所述可移动质量，用于响应于在垂直于所述基板的所述表面的方向上施加于所述可移动质量上的力而实现所述可移动质量围绕旋转轴线的运动。所述悬挂系统包含：第一锚定件和第二锚定件，其附接到所述基板且移位远离所述旋转轴线；梁，其经由所述扭力元件连接到所述可移动质量；第一折叠弹簧，其联接在所述第一锚定件与所述梁的第一梁末端之间；以及第二折叠弹簧，其联接在所述第二锚定件与所述梁的第二梁末端之间。二梁末端之间。二梁末端之间。

【技术实现步骤摘要】
具有分裂锚定件和锚定件之间的挠曲顺应性的惯性传感器


[0001]本专利技术大体上涉及微机电系统(microelectromechanical system，MEMS)装置。更具体地，本专利技术涉及Z轴MEMS惯性传感器，其具有增强的过温偏移稳定性性能和增强的机械稳健性。

技术介绍

[0002]微机电系统(MEMS)传感器广泛用于例如汽车、惯性导引系统、家用电器、用于多种装置的保护系统以及许多其它工业、科学和工程系统等应用。此类MEMS传感器用于感测例如加速度、压力、角旋转或温度等物理状况并提供表示感测到的物理状况的电信号。
[0003]电容性感测MEMS设计对于在加速度和角旋转环境中以及由于相对低成本而在小型化装置中的操作都是高度合意的。电容性加速度计感测电容相对于加速度的改变，以改变被供能电路的输出。加速度计的一个常见形式是具有“跷板”或“跷跷板”配置的双层电容性换能器。此常用的换能器类型使用在基板上方在Z轴加速度下旋转的可移动元件或板。加速度计结构可测量两个相异的电容以确定差分或相对电容。

技术实现思路
<br/>[0004]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种惯性传感器，其特征在于，包括：可移动质量，其与基板的表面间隔开；扭力元件，其联接到所述可移动质量，且被配置成响应于在垂直于所述基板的所述表面的方向上施加于所述可移动质量上的力而实现所述可移动质量围绕旋转轴线的运动；以及悬挂系统，其被配置成与所述基板的所述表面隔开悬挂所述可移动质量，所述悬挂系统包括：第一锚定件，其附接到所述基板；第一折叠弹簧，其具有第一弹簧末端和第二弹簧末端，所述第一弹簧末端联接到所述第一锚定件；第二锚定件，其附接到所述基板，所述第一锚定件和第二锚定件中的每一个移位远离所述旋转轴线；第二折叠弹簧，其具有第三弹簧末端和第四弹簧末端，所述第三弹簧末端联接到所述第二锚定件；以及梁，其经由所述扭力元件连接到所述可移动质量，所述梁具有第一梁末端和第二梁末端，所述第一梁末端联接到所述第一折叠弹簧的所述第二弹簧末端，且所述第二梁末端联接到所述第二折叠弹簧的所述第四弹簧末端。2.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，所述扭力元件具有附接到所述可移动质量的第一末端以及在所述第一梁末端和第二梁末端之间的所述梁的中点处附接到所述梁的第二末端。3.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，还包括定位于所述旋转轴线处且与所述旋转轴线对准的联接器，所述第一梁末端和第二梁末端之间的所述梁的中点连接到所述联接器，且所述扭力元件具有附接到所述可移动质量的第一末端和附接到所述联接器的第二末端。4.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，所述梁的纵向尺寸在所述旋转轴线的相对侧上延伸，所述纵向尺寸垂直于所述旋转轴线定向。5.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于：所述第一锚定件和第二锚定件定位于所述旋转轴线的相对侧；所述第一锚定件远离所述旋转轴线移位第一距离；且所述第二锚定件远离所述旋转轴线移位基本上等于所述第一距离的第二距离。6.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，所述梁相对于所述第一折叠弹簧和第二折叠弹簧是不兼容的。7.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，所述梁具有与所述梁的纵向尺寸对准的细长开口，所述细长开口在所述第一梁末端和第二梁末端之间位于中心。8.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，所述第一折叠弹簧和第二折叠弹簧中的每一个具有至少两个跨段，所述至少两个跨段的延伸方向平行于所述旋转轴线。9.一种惯性传感器，其特征在于，包括：可移动质量，其与基板的表面间隔开；扭力元件，其具有第一末端和第二末端，所述第一末端联接到所述可移动质量，所述扭
力元件被配置成响应于在垂直于所述基...

【专利技术属性】
技术研发人员：李丰园，A，
申请(专利权)人：恩智浦美国有限公司，
类型：发明
国别省市：