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具有分裂锚定件和锚定件之间的挠曲顺应性的惯性传感器制造技术
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下载具有分裂锚定件和锚定件之间的挠曲顺应性的惯性传感器的技术资料
文档序号:32433123
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本公开涉及具有分裂锚定件和锚定件之间的挠曲顺应性的惯性传感器。一种惯性传感器包含可移动质量、扭力元件,以及与基板的表面隔开悬挂所述可移动质量的悬挂系统。所述扭力元件联接到所述可移动质量,用于响应于在垂直于所述基板的所述表面的方向上施加于所述...
该专利属于恩智浦美国有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过恩智浦美国有限公司授权不得商用。
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