下载具有分裂锚定件和锚定件之间的挠曲顺应性的惯性传感器的技术资料

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本公开涉及具有分裂锚定件和锚定件之间的挠曲顺应性的惯性传感器。一种惯性传感器包含可移动质量、扭力元件,以及与基板的表面隔开悬挂所述可移动质量的悬挂系统。所述扭力元件联接到所述可移动质量,用于响应于在垂直于所述基板的所述表面的方向上施加于所述...
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