一种近紫外区分布式布拉格反射镜的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种近紫外区分布式布拉格反射镜的制备方法，属于分布式布拉格反射镜制备技术领域，具体步骤为：以石英、蓝宝石或硅片等作为基底，通过层/层旋涂特制的SiO2和TiO2的胶体溶液，可以得到高、低折射率交替的多周期介电层，即近紫外区分布式布拉格反射镜。由于本发明专利技术的实验步骤经由溶胶

【技术实现步骤摘要】
一种近紫外区分布式布拉格反射镜的制备方法


[0001]本专利技术属于分布式布拉格反射镜（DBR）制备
，尤其是涉及一种在石英、蓝宝石或硅片基底上，通过交替旋涂二氧化硅（SiO2）和二氧化钛（TiO2）的胶体溶液，经溶胶
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凝胶过程制备具有近紫外区反射波段的分布式布拉格反射镜的方法。

技术介绍

[0002]分布式布拉格反射镜（DBR）是指，将不同折射率的两种电解质材料周期性地排列成多层薄膜结构，使入射光与反射光发生相互干涉，从而实现一定频率范围内的近全反射现象的高新材料。它在很多领域具有广泛的应用价值，如光学微腔及光波导、新型太阳能电池、有机发光二极管和垂直腔面发射激光器等等。其制备技术可包括分子束外延法（MBE）、金属有机化学气相沉积法（MOCVD）和溶胶
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凝胶法。其中，分子束外延法和金属有机化学气相沉积法通常需要较昂贵的实验设备，造价成本高，制备周期长；而溶胶
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凝胶法造价成本低、制备快捷、反应条件相对温和。
[0003]目前，很多课题小组已经能够通过溶胶
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种近紫外区分布式布拉格反射镜的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：（1）制备SiO2的胶体溶液：将水、盐酸和乙醇在25℃、400 r.p.m.条件下搅拌30分钟，再逐滴加入正硅酸四乙酯，继续反应30分钟后在60℃条件下陈化，其中SiO2的胶体溶液是按照正硅酸四乙酯：乙醇：水：氯化氢的摩尔比为1：2.8：2.2：1.4
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‑4来制备的；（2）制备TiO2的胶体溶液：将钛酸四丁酯和乙醇在25℃、400 r.p.m.条件下搅拌30分钟，再逐滴加入乙醇与水的混合液，继续反应30分钟后在室温下陈化，其中TiO2的胶体溶液是按照钛酸四丁酯：乙醇：水的摩尔比为1：16.0：0.5来制备的；（3）层/层旋涂SiO2和TiO2的胶体溶液：将SiO2和TiO2的胶体溶液用乙醇稀释后，在洁净的石英、蓝宝石或硅片基底上，首先旋涂一层稀释的SiO2胶体溶液，然后将涂层置于100℃电加热板上先加热30秒，再置于320℃马弗炉中退火处理，之后在旋涂好的SiO2层上再旋涂一层稀释的TiO2胶体溶液，同样置于100℃电加热板上加热30秒，再置于520℃马弗炉中退火处理，得到1个周期的近紫外区分布式布拉格反射镜。2.根据权利要求1所述的近紫外区分布式布拉格反射镜的制备方法，其特征在于：在步骤（1）中，将3.1 mL 水、1.6 mL 0.01mol/L的盐酸和19.0 mL乙醇在25℃、400 r.p.m.条件下搅拌30分钟，再逐滴加入26.3 m...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨文胜，许永德，于果，马骁楠，郭子龙，韩延东，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：