【技术实现步骤摘要】
紫外光固化用宽带高反射全介质膜紫外反射镜及其制备方法
[0001]本专利技术属紫外反射镜领域，尤其涉及一种紫外光固化用宽带高反射全介质膜紫外反射镜及其制备方法。
技术介绍
[0002]紫外光固化技术具有高效、节能、环保、经济等优势，广泛应用于光纤光缆、印刷电路板、家电产品、面板行业、汽车行业、印刷包装等各行业。
[0003]紫外反射镜是紫外固化系统的重要关键元件，其作用是收集反射汇聚紫外光源发射的紫外光，有效增加紫外光固化系统工作面紫外光照射强度，进而提高固化速率。而反射镜表面反射膜的反射率、反射带宽、膜层环境适应性等技术指标，将直接影响紫外反射镜使用效果。其中反射膜反射率高低决定反射紫外光照度大小，反射率越高，紫外反射光照度越大，固化速率就越快；短波长紫外光对涂层表层固化更有影响，短波能量不足会导致涂层表面发粘。长波紫外对涂层深层固化及附着力起主导作用，长波能量不足则会导致粘附不良。所以反射膜反射带宽大小，决定反射光源紫外波段波长范围的宽窄，直接影响紫外固化产品质量；反射镜需要在长时间高温、高强度紫外光辐照环境下连...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种紫外光固化用宽带高反射全介质膜紫外反射镜，其特征在于，包括玻璃基底和反射膜；所述反射膜由高折射率HfO2膜层和低折射率SiO2膜层依次交替沉积而成，沉积第一层和最后一层均为高折射率HfO2膜层，其膜系结构为：S|（HL）
n
H|A；其中：S为玻璃基底；H为高折射率膜层；L为低折射率膜层；n为膜堆循环次数；A为空气。2.根据权利要求1所述紫外光固化用宽带高反射全介质膜紫外反射镜，其特征在于：所述HfO2膜层和SiO2膜层为非周期多层膜；所述HfO2膜层的物理厚度在14～55nm范围变化；所述SiO2的物理厚度在30～130nm范围变化。3.根据权利要求2所述紫外光固化用宽带高反射全介质膜紫外反射镜，其特征在于：所述玻璃基底是JGS1。4.一种紫外光固化用宽带高反射全介质膜紫外反射镜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）基底清洗：将需要镀膜的基底进行超声波清洗、慢拉脱水、热风干燥处理；（2）高能离子轰击：将步骤（1）处理后的基底放入真空室，加热至220度，真空度≥3.0
×
10
‑3Pa后，开启离子源，对基底离子轰击10分钟；（3）多层膜镀制：采用电子束蒸发加离子辅助进行HfO2膜层和SiO2膜层交替逐层蒸镀；使用石英晶体监控方式控制HfO2和SiO2两种膜料镀制物理厚度；（4）老化处理：将镀制好的反射镜放入高温烘箱内，...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋光辉，王银河，李文龙，刘海涛，吴增辉，李明华，
申请(专利权)人：沈阳仪表科学研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：
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