反射镜及其制造方法、镜头模组、电子设备技术

本申请提供了一种反射镜及其制造方法、镜头模组、电子设备，属于光学技术领域。本申请提供的反射镜采用平面结构的硅基衬底作为基材，相比于直角三棱镜，可以有效减小反射镜的体积和质量。并且，通过将硅基衬底的第二侧面与第二表面的夹角设计为钝角，可以确保将该反射镜倾斜设置后，该第二侧面与第二表面不会形成向外突出的直角。由此，不仅可以减小该反射镜应用于潜望式的摄像模组时所占用的空间，而且可以降低反射镜组装的过程中，该硅基衬底的侧边因碰撞或摩擦而发生碎裂或者崩边的风险。因碰撞或摩擦而发生碎裂或者崩边的风险。因碰撞或摩擦而发生碎裂或者崩边的风险。

【技术实现步骤摘要】
反射镜及其制造方法、镜头模组、电子设备


[0001]本申请涉及光学
，特别涉及一种反射镜及其制造方法、镜头模组、电子设备。

技术介绍

[0002]为了实现长焦成像，手机等电子设备中一般采用潜望式的镜头模组。潜望式的镜头模组可以包括依次排布的直角三棱镜、镜片组和感光元件。该直角三棱镜的一个斜面与镜片组的光轴的夹角为45度，该斜面能够将入射的光线反射至镜片组。镜片组进而可以将反射的光线传输至感光元件。
[0003]但是，该直角三棱镜的体积和质量均较大，导致镜头模组的体积和质量较大。

技术实现思路

[0004]本申请提供了一种反射镜及其制造方法、镜头模组、电子设备，可以解决相关技术中采用直角三棱镜作为反射镜导致镜头模组的体积和质量较大的技术问题。
[0005]一方面，提供了一种反射镜，该反射镜包括：硅基衬底和第一反射膜；该硅基衬底具有相对的第一表面和第二表面，以及第一侧面和第二侧面，其中，该第一侧面分别与该第一表面和该第二侧面连接，该第二侧面与该第二表面连接；该第一反射膜位于该第一表面，该第一侧面与该第一表面的夹本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种反射镜，其特征在于，所述反射镜包括：硅基衬底和第一反射膜；所述硅基衬底具有相对的第一表面和第二表面，以及第一侧面和第二侧面，其中，所述第一侧面分别与所述第一表面和所述第二侧面连接，所述第二侧面与所述第二表面连接；所述第一反射膜位于所述第一表面，所述第一侧面与所述第一表面的夹角大于第一角度阈值，所述第二侧面与所述第一侧面的夹角大于第二角度阈值，所述第二侧面与所述第二表面的夹角为钝角。2.根据权利要求1所述的反射镜，其特征在于，所述第二侧面与所述第一表面的夹角为45度。3.根据权利要求1或2所述的反射镜，其特征在于，所述反射镜还包括：位于所述第二表面的第二反射膜，所述第二反射膜的材料与所述第一反射膜的材料相同。4.根据权利要求1至3任一项所述的反射镜，其特征在于，所述硅基衬底的材料为目标晶向的单晶硅。5.根据权利要求4所述的反射镜，其特征在于，所述目标晶向为(111)。6.根据权利要求1至5任一项所述的反射镜，其特征在于，所述第一反射膜为介质膜或者金属膜。7.根据权利要求1至6任一项所述的反射镜，其特征在于，所述第一侧面的高度等于0，其中，所述第一侧面的高度方向垂直于所述第一表面。8.一种反射镜的制造方法，其特征在于，所述方法包括：在硅晶圆的第一面形成第一反射材料膜层；对所述硅晶圆和所述第一反射材料膜层进行处理，得到至少一个反射镜，所述反射镜包括对所述硅晶圆进行处理得到的硅基衬底，以及对所述第一反射材料膜层进行处理得到的第一反射膜；其中，所述硅基衬底具有相对的第一表面和第二表面，以及第一侧面和第二侧面，所述第一侧面分别与所述第一表面和所述第二侧面连接，所述第二侧面与所述第二表面连接，所述第一反射膜位于所述第一表面，所述第一侧面与所述第一表面的夹角大于第一角度阈值，所述第二侧面与所述第一侧面的夹角大于第二角度阈值，所述第二侧面与所述第二表面的夹角为钝角。9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述对所述硅晶圆和所述第一反射材料膜层进行处理，包括：采用第一切割刀片对所述硅晶圆的第二面进行切割，形成所述反射镜的第二侧面，其中，所述第一切割刀片的切割深度小于所述硅晶圆的厚度，所述第二面和所述第一面为所述硅晶圆的相对的两个面；采用第二切割刀片继续对所述硅晶圆进行切割，并对所述第一反射材料膜层进行切割，形成所述反射镜的第一侧面和所述反射镜的第一反射膜。10.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述对所述硅晶圆和所述第一反射材...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐景辉，孙丰沛，冯军，李明，
申请(专利权)人：华为技术有限公司，
类型：发明
国别省市：