【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种清洁装置，特别涉及一种在无尘室中可有效排除液体杂质的清洁装置。
技术介绍
随着科技的日益进步，在各种
中(例如半导体工业、医学、生物化学、食品工业等等)，常需要提供洁净的研究、使用或产品的制造环境。于是无尘室(或称的为洁净室、无菌室)便应运而生，并且成为不可或缺的重要设施。设置无尘室的目的，主要是排除空气中的微尘粒子、细菌或挥发性气体等污染物；另外，也可进一步控制无尘室内的温度、湿度、压力、静电等环境因素，以提供一种适应工艺要求的空间。以工业工艺为例，尤其是在半导体等精密结构的制造过程中，任何微尘粒子的出现，都可能导致最终产品出现瑕疵、甚至损坏，所以环境条件的优劣，直接关系到最终产品的质量。为了在无尘室中提供工作所需的资源，配备有各种管路及线路，例如电源供应线路、水管、特殊液体管路或低真空管路等等。然而，上述管路有可能会遭遇破裂或损伤，例如工作人员不慎踩破水管或是水管设计不良造成爆裂，都可能会在短时间内造成大面积的积水情形，该实际状况下的漏水面积可能高达数十平方米。一般而言，在解决无尘室的积水问题上，仍停留在人工方式，例如以简易工具扫水或者使用...
【技术保护点】
一种清洁装置，其特征在于，包含：一面板，具有一底面，在所述面板上形成有一贯穿孔； 一支撑装置，与所述面板连接，且与所述底面共同限定一导引空间；以及一动力导引装置，连接所述面板的贯穿孔，从而将外界的脏污物从所述导引空间 经所述动力导引装置排出。
【技术特征摘要】
1.一种清洁装置，其特征在于，包含一面板，具有一底面，在所述面板上形成有一贯穿孔；一支撑装置，与所述面板连接，且与所述底面共同限定一导引空间；以及一动力导引装置，连接所述面板的贯穿孔，从而将外界的脏污物从所述导引空间经所述动力导引装置排出。2.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述动力导引装置与一低真空系统连接。3.根据权利要求2所述的清洁装置，其特征在于，所述动力导引装置包含一管件，其一端连接所述面板的贯穿孔，另一端则连接至所述低真空系统。4.根据权利要求3所述的清洁装置，其特征在于，所述管件连接所述低真空系统的一端，并设有一快速接头。5.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述支撑装置包含固定于所述面板的底面上的多个脚柱。6.根据权利要求5所述的清洁装置，其特征在于，所述脚柱具有...
【专利技术属性】
技术研发人员：苏登福，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]
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