一种远程激光刻蚀三轴装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种远程激光刻蚀三轴装置，包括安装于扫描平台上的X轴模块和Z轴模块，Z轴模块上安装有Y轴模块，所述Y轴模块通过第三传动机构与所述Z轴模块连接；所述X轴模块上安装有载物工作台，所述载物工作台通过第一传动机构与X轴模块连接；所述Y轴模块上安装有激光发射器，所述激光发射器通过第二传动机构与所述Y轴模块连接；所述第一传动机构、所述第二传动机构和所述第三传动机构分别连接有电机，所述电机连接有集成控制模块，所述集成控制模块连接有网络IO继电器和上位机。本发明专利技术远程激光刻蚀三轴装置，实现所有操作的远程化，大大提高操作的集成化和简洁性，更重要的是极大降低了操作人员接触激光的几率，保证了操作人员的健康。康。康。

【技术实现步骤摘要】
一种远程激光刻蚀三轴装置


[0001]本专利技术属于激光刻蚀设备领域，涉及一种三轴装置。

技术介绍

[0002]三轴装置的主要功能是在行程范围内，该装置可在X方向、Y方向、Z方向进行运动控制，以满足工艺需要的要求。
[0003]在实现本专利技术过程中，专利技术人发现现有技术中至少存在如下技术问题中的一个问题：
[0004]1、就现目前的情况来看，市场上对于通过激光扫描增加导电银浆导通性的装置还比较少，大部分装置都是属于临时搭建，不具有三轴灵活扫描的特点。
[0005]2、需要投入人力进行实时看护扫描。
[0006]3、对于装置的控制系统处于非常简单的状态，需要人近距离操作装置。
[0007]对于一些其它用途的激光扫描器，也不具有三轴精确灵活控制及远程操作等优点。

技术实现思路

[0008]鉴于此，本专利技术目的在于提供一种三轴精确灵活控制的三轴装置。本专利技术进一步的目的在于提供一种可远程操作的三轴装置。
[0009]专利技术人通过长期的探索和尝试，以及多次的实验和努力，不断的改革本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种远程激光刻蚀三轴装置，其特征在于，包括安装于扫描平台上的X轴模块和Z轴模块，Z轴模块上安装有Y轴模块，所述Y轴模块通过第三传动机构与所述Z轴模块连接；所述X轴模块上安装有载物工作台，所述载物工作台通过第一传动机构与X轴模块连接；所述Y轴模块上安装有激光发射器，所述激光发射器通过第二传动机构与所述Y轴模块连接；所述第一传动机构、所述第二传动机构和所述第三传动机构分别连接有电机，所述电机连接有集成控制模块，所述集成控制模块连接有网络IO继电器，所述网络IO继电器信号连接上位机。2.根据权利要求1所述的远程激光刻蚀三轴装置，其特征在于，所述第一传动机构为丝杠传动机构，所述第二传动机构为丝杠传动机构，第三传动机构为丝杠传动机构。3.根据权利要求2所述的远程激光刻蚀三轴装置，其特征在于，所述丝杠传动机构为滚珠丝杠。4.根据权利要求1所述的远程激光刻蚀三轴装置，其特征在于，所述激光发射器连接有激光能量控制器，所述激光能量控制器与所述网络IO继电器连接。5.根据权利要求4所述的远程激光刻蚀三轴装置，其特征在于，所述网络IO继电器为WiFi控制器。6...

【专利技术属性】
技术研发人员：何毅，邓明旭，李琳，范圣福，龙冈，
申请(专利权)人：绵阳新能智造科技有限公司，
类型：发明
国别省市：