温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种远程激光刻蚀三轴装置，包括安装于扫描平台上的X轴模块和Z轴模块，Z轴模块上安装有Y轴模块，所述Y轴模块通过第三传动机构与所述Z轴模块连接；所述X轴模块上安装有载物工作台，所述载物工作台通过第一传动机构与X轴模块连接；所述Y轴模...
该专利属于绵阳新能智造科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绵阳新能智造科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。