【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种对多层压电式微位移致动器的改进，以解决其共烧过 程中会产生裂纹的问题。
技术介绍
多层压电式微位移致动器是一种公知技术，它由多层压电陶瓷(1)堆叠成 压电陶瓷堆，并且所述的压电陶瓷的每相邻两层之间均设置有一个内电极(2)， 所述的压电陶瓷堆的侧面上设置有两条互不接触的并沿着该压电陶瓷堆的堆垛 高度方向延伸的外电极(3)，相邻的两个内电极分别与不同的外电极相导通连 接，由此所述的多个内电极交替与一条外电极相导通连接，形成两组互不连通 的电极组，参见图l,两个压电陶瓷层将夹设在其间的内电极的一端包覆起来， 以防止该内电极同时与两侧外电极连接而短路。以上该种多层压电式微位移致动器的叠层共烧工艺也是一种公知的技术。 内电极采用丝网印刷法印刷到压电陶瓷上去，多层压电陶瓷、内电极按照预定 位置堆叠达到预定层数后，经静压、切割后烧结。由于相邻两个内龟极是错位 印刷的，对于整个致动器成品来说，由于内电极有一定的厚度，多层印刷之后， 压电陶瓷堆的内电极叠加部分与无内电极部分的厚度差逐步加大。以上的这种 厚度差在共烧时形成较大的内部应力，容易使得致动器的边缘形成裂纹(...
【技术保护点】
一种套印厚度补偿层的多层压电式微位移致动器，它包括一个由多层压电陶瓷（１）堆叠而成的压电陶瓷堆、设置在每相邻两层所述的压电陶瓷（１）之间的内电极（２）、设置在所述的压电陶瓷堆的侧面的两条互不接触的并沿着该压电陶瓷堆的堆垛高度方向延伸的外电极（３），相邻的两个内电极（２）分别与两条不同的外电极（３）电连接，其特征在于：相邻两层的所述的压电陶瓷（１）之间位于所述的内电极（２）的周围的至少有部分位置还设置有补偿层（４）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：潘铁政，潘成艳，
申请(专利权)人：昆山攀特电陶科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]
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