高功率半导体激光器VBG锁定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种高功率半导体激光器VBG锁定装置，包括光学平台，用于安装固定水冷组件、5轴调节组、功率计和光谱仪；水冷组件，用于放置半导体激光器并且对半导体激光器进行降温；5轴调节组，用于对VBG进行位置及角度的调节，将VBG移动到半导体激光器处，进行光谱锁定；功率计，接收半导体激光器输入的激光并漫反射部分激光到光谱仪处；光谱仪，用于接受功率计漫反射的激光，并反馈光谱信息，本实用新型专利技术具有方便对半导体激光器进行VBG波长锁定的效果。效果。效果。

【技术实现步骤摘要】
高功率半导体激光器VBG锁定装置


[0001]本技术涉及半导体激光器的
，具体涉及一种高功率半导体激光器VBG锁定装置。

技术介绍

[0002]半导体激光器由于体积小、重量轻、转换效率高、使用寿命长等优点，在医疗、显示、泵浦、工业加工等领域有广泛的应用。近年来，随着半导体材料外延生长技术、半导体激光波导结构优化技术、腔面钝化技术、高稳定性封装技术、高效散热技术的飞速发展，特别是在直接半导体激光工业加工应用以及大功率光纤激光器抽运需求的推动下，具有高功率、高光束质量的半导体激光器飞速发展，为获得高质量、高性能的直接半导体激光加工设备以及高性能大功率光纤激光抽运源提供了光源基础。
[0003]为了减少固体激光器、光纤体激光器泵浦源波长热致漂移带来的影响，此时需要将泵浦输出波长锁定的技术，从而形成带VBG波长锁定的半导体激光器，为了在半导体激光器上进行安装VBG锁定，此时需要设计一种能够对半导体激光器进行VBG锁定的装置。

技术实现思路

[0004]因此，本技术要解决无法对半导体激光器进行VBG波长锁定的技术问题，从而提供一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高功率半导体激光器VBG锁定装置，其特征在于，包括：光学平台(1)，用于安装固定水冷组件(2)、5轴调节组(3)、功率计(4)和光谱仪(5)；水冷组件(2)，用于放置半导体激光器并且对半导体激光器进行降温；5轴调节组(3)，用于对VBG进行位置及角度的调节，将VBG移动到半导体激光器处，进行光谱锁定；功率计(4)，接收半导体激光器输入的激光并漫反射部分激光到光谱仪(5)处；光谱仪(5)，用于接受功率计(4)漫反射的激光，并反馈光谱信息。2.根据权利要求1所述的高功率半导体激光器VBG锁定装置，其特征在于，所述5轴调节组(3)包括设置在5轴调节组(3)移动端上的真空吸嘴(31)，所述真空吸嘴(31)和外部的真空泵连通，所述真空吸嘴(31)用于吸附VBG。3.根据权利要求1所述的高功率半导体激光器VBG锁定装置，其特征在于，所述水冷组件(2)包括架设在光学平台(1)上的放置台和水冷板(22)，半导体激光器位于所述水冷板(22)的表面并和所述水冷板(22)贴合，所述水冷板(22)和外部的冷却水泵连通。4.根据权利要求3所述的高功率半导体激光器VBG锁定装置，其特征在于，所述水冷板(22)放置在第一放置台(21)上，所述第一放置台(21)上设置有多个限位块，所述水冷板(22)通过多个所述限位块限位于第一放置台(21)预设位置。5.根据权利要求4所述的高功率半导体激光器VBG锁定装置，所述第一放置...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐佳维，潘华东，裘利平，周军，袁磊，
申请(专利权)人：苏州长光华芯光电技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：