用于制备氟化石英玻璃的方法技术

本发明专利技术涉及一种用于制备氟化石英玻璃的方法，其包含以下步骤：在合成燃烧器中产生SiO2粒子；将所得SiO2粒子沉积至坯体中；及将所得坯体玻璃化，其中向所述合成燃烧器供应具有大于或等于

【技术实现步骤摘要】
用于制备氟化石英玻璃的方法


[0001]本专利技术涉及一种用于制备氟化石英玻璃的方法及可以通过本专利技术的这种方法获得的氟化石英玻璃。本专利技术的另一目标是替代性及改进的氟化剂用于制备氟化石英玻璃的用途。

技术介绍

[0002]为了制备合成石英玻璃，通过水解或氧化来在CVD方法中由含硅起始材料产生SiO2粒子并且沉积于移动载体上。外部沉积方法与内部沉积方法之间可能存在差异。在外部沉积方法中，将SiO2粒子沉积于旋转载体的外部。这类外部沉积方法的实例是所谓的OVD方法(外部气相沉积)、VAD方法(气相轴向沉积)、POD方法(等离子体外部沉积)或PECVD方法(等离子体增强型化学气相沉积)。内部沉积方法的众所周知的实例是MCVD方法(改良化学气相沉积)、FCVD方法(炉化学气相沉积)及PCVD方法(等离子体化学气相沉积)，其中将SiO2粒子沉积于从外部加热的管的内壁上。
[0003]在载体表面的具有足够高的温度的区域中，SiO2粒子直接玻璃化，其也称为“直接玻璃化”。相比之下，在所谓的“烟灰方法”中，SiO2粒子沉积期间的温度低到使得获得多本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于制备氟化石英玻璃的方法，其特征在于以下方法步骤：a.在合成燃烧器中产生SiO2粒子；b.将由方法步骤a.产生的所述SiO2粒子沉积以形成坯体；c.将由方法步骤b产生的所述坯体玻璃化，其特征在于在方法步骤a期间将具有大于或等于
‑
10℃的沸点的氟化剂引入所述合成燃烧器中。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于所述氟化剂是选自由以下组成的群组：i.含氧氟化剂；ii.含腈氟化剂；iii.所述含氧氟化剂与含腈氟化剂的混合物。3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于所述含氧氟化剂是选自由以下组成的群组：i.通式(I)的全氟酮R
F1
‑
CO
‑
R
F2
(I)，其中R
F1
是选自由具有1至7个碳原子及氟的全氟化碳基组成的群组；且R
F2
是选自由具有1至7个碳原子的全氟化碳基组成的群组；ii.通式(II)的全氟醚R
F1
‑
C(X1)(X2)O
‑
R
F2
(II)，其中R
F1
是选自由具有1至7个碳原子及氟的全氟化碳基组成的群组；R
F2
是选自由具有1至7个碳原子的全氟化碳基组成的群组；且X1及X2是F或CF3；iii.通式(III)的氢氟醚R
F1
‑
C(X1)(X2)O
‑
R2(III)，其中R
F1
是选自由具有1至7个碳原子及氟的全氟化碳基组成的群组；R2是具有1至3个碳原子的非氟化烃基；X1及X2表示F或CF3。4.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于所述含腈氟化剂是选自由以下组成的群组：iv.通式(IV)的全氟腈R
F1
‑
C≡N(IV)，其中R
F1
是选自由具有1至7个碳原子的全氟化碳基组成的群组。5.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于所述合成燃烧器是火焰水解合成燃烧器或等离子体合成燃烧器。6.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于方法步骤b.中用于形成坯体的所述SiO2粒子的沉积是从衬底上的外侧进行。7.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于方法步骤b.中用于形成坯体的所述SiO2粒子的沉积是在衬底管中进行。8.根据权利要求1或2所述的方...

【专利技术属性】
技术研发人员：S，
申请(专利权)人：贺利氏石英玻璃有限两合公司，
类型：发明
国别省市：