【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及各向异性形状部件的安装方法和安装装置、使用该安 装方法的电子器件的制造方法、电子器件和显示装置。
技术介绍
在有源型液晶显示装置、有机场致发光显示装置等平板显示器中使用的薄膜晶体管(TFT)、在大规模集成电路(LSI)中使用的晶体管， 是通过真空薄膜工艺和光刻工艺，对薄膜材料进行微细加工处理而制 造得到的。特别是，在显示装置中，因为随着近年来的普及而大型化， 所以在光刻工艺时使用的曝光装置等制造设备也需要大型化，大量的 设备投资是必须的。而且，光掩模的价格也增大。由于近年来纳米工艺技术的进步，使用例如柱状且直径小于数百 nm的部件(以下称为纳米部件)的电子器件的构想和研究开发迅速发 展。在柱状的纳米部件中，包括例如碳纳米管、半导体纳米线等针状 纳米微粒子。作为在电子器件中利用纳米部件的例子，例如，在 "D.Wang， et al.， 'Germanium nanowire field-effect transistors with Si02 and high-k Hf02 gate dielectric' ， Appl. Phys. Lett. V...
【技术保护点】
一种各向异性形状部件的安装方法，其将各向异性形状部件安装在基板上，其特征在于，包括： （Ⅰ）在设置在所述基板的一个主面（Ａ）上的第一区域中配置第一液体的工序； （Ⅱ）使在转印基板的一个主面（Ｂ）上以在规定的方向上取向的方式配置的各向异性形状部件与配置在所述第一区域中的所述第一液体接触，从而使所述各向异性形状部件移动到所述第一液体的区域中的工序；和 （Ⅲ）从所述主面（Ａ）上除去所述第一液体的工序。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员：鸟井秀雄，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP
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