一种具有三重冗余功能的耐高温动态压力传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种具有三重冗余功能的耐高温动态压力传感器，测压腔内设置有第一金属感受膜片、第二金属感受膜片及第三金属感受膜片，第一光纤探头插入于第一真空隔热腔内，且正对第一金属感受膜片，第二光纤探头插入于第二真空隔热腔内，且正对第二金属感受膜片，第三光纤探头插入于第三真空隔热腔内，且正对第三金属感受膜片；第一光纤探头、第二光纤探头及第三光纤探头和光源与信号接收模块相连接，光源与信号接收模块与外界的上位机相连接，测压腔的底部开口处设置有透过膜，其中，所述透过膜上设置有若干引气孔，该传感器能够有效解决由于空间受限不能同时安装三支传感器的问题。题。题。

【技术实现步骤摘要】
一种具有三重冗余功能的耐高温动态压力传感器


[0001]本专利技术涉及一种耐高温动态压力传感器，具体涉及一种具有三重冗余功能的耐高温动态压力传感器。

技术介绍

[0002]三重冗余技术在航空航天、军事、铁路、石油、化工、电力等要求高可靠性和高可用性的行业得到了广泛应用。三重冗余技术采用了硬件容错原理，在系统出现单点故障的情况下，三重冗余系统能屏蔽系统错误，发出警报的同时仍能正常工作，增加了系统的可用性。若同一环节中有两个冗余部件都出现了故障，系统亦会进入失效
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安全的状态，避免造成安全事故。
[0003]三重冗余技术在保护设备安全稳定运行方面具有很好的优势，但在实际使用过程中，由于运行设备安装传感器的空间受限，不能同时安装三支传感器，导致三重冗余技术得不到很好的应用。如在运行设备的动态压力监测方面，会存在因单个传感器失效导致错误报警引发故障的现象。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于克服上述现有技术的缺点，提供了一种具有三重冗余功能的耐高温动态压力传感器，该传感器能够有效解决由于空间受限不能同时安装三支传感器的问题。
[0005]为达到上述目的，本专利技术所述的具有三重冗余功能的耐高温动态压力传感器包括第一光纤探头、第二光纤探头、第三光纤探头、传感器上盖、上隔热层、传感器下盖、下隔热层、透过膜、安装螺母及光源与信号接收模块；
[0006]传感器上盖的底部与传感器下盖的顶部之间设置有上隔热层，传感器下盖的底部设置有下隔热层，传感器下盖的底部设置有测压腔，其中，测压腔内设置有第一金属感受膜片、第二金属感受膜片及第三金属感受膜片，其中，第一金属感受膜片与测压腔的一侧壁之间形成第一真空隔热腔，第二金属感受膜片与测压腔的顶部之间形成第二真空隔热腔，第三金属感受膜片与测压腔的另一侧壁之间形成第三真空隔热腔，第一光纤探头穿过传感器上盖及上隔热层后穿过传感器下盖的侧壁插入于第一真空隔热腔内，且正对第一金属感受膜片，第二光纤探头穿过传感器上盖后插入于第二真空隔热腔内，且正对第二金属感受膜片，第三光纤探头穿过传感器上盖及上隔热层后穿过传感器下盖的侧壁插入于第三真空隔热腔内，且正对第三金属感受膜片。
[0007]第一光纤探头、第二光纤探头及第三光纤探头和光源与信号接收模块相连接，光源与信号接收模块与外界的上位机相连接，测压腔的底部开口处设置有透过膜，其中，所述透过膜上设置有若干引气孔。
[0008]传感器上盖、上隔热层、传感器下盖及下隔热层的轴线重合。
[0009]传感器上盖、上隔热层、传感器下盖及下隔热层之间通过扩散焊连接。
[0010]还包括安装螺母；安装螺母套接于传感器上盖、上隔热层及传感器下盖的外围。
[0011]传感器上盖的外径为12mm，长度为15mm；
[0012]上隔热层的外径为12mm，厚度为2mm；
[0013]上隔热层的外径为12mm，测压腔的长度为6mm，宽为2mm，高度为2mm；
[0014]下隔热层的外径为12mm，厚为5mm；
[0015]第一光纤探头、第二光纤探头及第三光纤探头的直径均为1mm；
[0016]第一金属感受膜片、第二金属感受膜片及第三金属感受膜片的边长均为3mm，厚为1mm；
[0017]引气孔的孔径为0.5mm。
[0018]光源与信号接收模块与外界的上位机之间通过信号线相连接。
[0019]各引气孔均匀分布。
[0020]第一光纤探头、第二光纤探头及第三光纤探头经光纤束和光源与信号接收模块相连接。
[0021]本专利技术具有以下有益效果：
[0022]本专利技术所述的具有三重冗余功能的耐高温动态压力传感器在具体操作时，采用非接触式的光纤传感器，在测压腔内设置有三片金属感受膜片，通过三路光纤探头分别测试三片金属感受膜片形变的变形量，并以此确定三个方向上待测工质的压力，在实际操作时，仅需一个测压安装孔同时获得3路压力测量信号，解决了受限于安装空间不能同时安装三支动态压力传感器而错误报警引发运行设备故障的问题。
附图说明
[0023]图1为本专利技术的结构示意图。
[0024]其中，1为第一光纤探头、2为第二光纤探头、3为第三光纤探头、4为传感器上盖、5为上隔热层、6为传感器下盖、7为下隔热层、8为第三真空隔热腔、9为第三金属感受膜片、10为第一真空隔热腔、11为测压腔、12为透过膜、13为第一金属感受膜片、14为第二金属感受膜片、15为第二真空隔热腔、16为安装螺母、17为光纤束、18为光源与信号接收模块、19为信号线。
具体实施方式
[0025]为了使本
的人员更好地理解本专利技术方案，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分的实施例，不是全部的实施例，而并非要限制本专利技术公开的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要的混淆本专利技术公开的概念。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本专利技术保护的范围。
[0026]在附图中示出了根据本专利技术公开实施例的结构示意图。这些图并非是按比例绘制的，其中为了清楚表达的目的，放大了某些细节，并且可能省略了某些细节。图中所示出的各种区域、层的形状及它们之间的相对大小、位置关系仅是示例性的，实际中可能由于制造公差或技术限制而有所偏差，并且本领域技术人员根据实际所需可以另外设计具有不同形
状、大小、相对位置的区域/层。
[0027]参考图1，本专利技术所述的具有三重冗余功能的耐高温动态压力传感器包括第一光纤探头1、第二光纤探头2、第三光纤探头3、传感器上盖4、上隔热层5、传感器下盖6、下隔热层7、透过膜12、安装螺母16、光纤束17、光源与信号接收模块18及信号线19；
[0028]传感器上盖4的底部与传感器下盖6的顶部之间设置有上隔热层5，传感器下盖6的底部设置有下隔热层7，传感器下盖6的底部设置有测压腔11，其中，测压腔11内设置有第一金属感受膜片13、第二金属感受膜片14及第三金属感受膜片9，其中，第一金属感受膜片13与测压腔11的一侧壁之间形成第一真空隔热腔10，第二金属感受膜片14与测压腔11的顶部之间形成第二真空隔热腔15，第三金属感受膜片9与测压腔11的另一侧壁之间形成第三真空隔热腔8，第一光纤探头1穿过传感器上盖4及上隔热层5后穿过传感器下盖6的侧壁插入于第一真空隔热腔10内，且正对第一金属感受膜片13，第二光纤探头2穿过传感器上盖4后插入于第二真空隔热腔15内，且正对第二金属感受膜片14，第三光纤探头3穿过传感器上盖4及上隔热层5后穿过传感器下盖6的侧壁插入于第三真空隔热腔8内，且正对第三金属感受膜片9。
[0029]第一光纤探头1、第二光纤探头2及第三光纤探头3经光纤束17和光源与信号接收模块18相连接，光源与信号接收模块18与上位机之间通过信号线19相连接。测压腔1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有三重冗余功能的耐高温动态压力传感器，其特征在于，包括第一光纤探头(1)、第二光纤探头(2)、第三光纤探头(3)、传感器上盖(4)、上隔热层(5)、传感器下盖(6)、下隔热层(7)、透过膜(12)、安装螺母(16)及光源与信号接收模块(18)；传感器上盖(4)的底部与传感器下盖(6)的顶部之间设置有上隔热层(5)，传感器下盖(6)的底部设置有下隔热层(7)，传感器下盖(6)的底部设置有测压腔(11)，其中，测压腔(11)内设置有第一金属感受膜片(13)、第二金属感受膜片(14)及第三金属感受膜片(9)，其中，第一金属感受膜片(13)与测压腔(11)的一侧壁之间形成第一真空隔热腔(10)，第二金属感受膜片(14)与测压腔(11)的顶部之间形成第二真空隔热腔(15)，第三金属感受膜片(9)与测压腔(11)的另一侧壁之间形成第三真空隔热腔(8)，第一光纤探头(1)穿过传感器上盖(4)及上隔热层(5)后穿过传感器下盖(6)的侧壁插入于第一真空隔热腔(10)内，且正对第一金属感受膜片(13)，第二光纤探头(2)穿过传感器上盖(4)后插入于第二真空隔热腔(15)内，且正对第二金属感受膜片(14)，第三光纤探头(3)穿过传感器上盖(4)及上隔热层(5)后穿过传感器下盖(6)的侧壁插入于第三真空隔热腔(8)内，且正对第三金属感受膜片(9)；第一光纤探头(1)、第二光纤探头(2)及第三光纤探头(3)和光源与信号接收模块(18)相连接，光源与信号接收模块(18)与外界的上位机相连接，测压腔(11)的底部开口处设置有透过膜(12)，其中，所述透过膜(12)上设置有若干引气孔。2.根据权利要求1所述的具有三重冗余...

【专利技术属性】
技术研发人员：李晓丰，肖俊峰，王峰，胡孟起，王玮，王致程，夏林，
申请(专利权)人：西安热工研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：