【技术实现步骤摘要】
一种高灵敏光纤表面等离激元气压探测器
[0001]本专利技术涉及气压探测领域,具体涉及一种高灵敏光纤表面等离激元气压探测器。
技术介绍
[0002]气压传感器广泛应用于供水、热力、石油、化工、冶金等工业过程现场测量和控制。传统气压传感器是把带隔离的硅压阻式压力敏感元件封装于不锈钢壳体内制作而成。传统基于电阻变化的气压传感器的探测灵敏度低,不能满足高技术需要。基于光学原理的气压传感器往往具有更高的灵敏度。由于基于光纤的光路简单,近年来,基于光纤的气压传感器逐渐受到越来越多的重视,研究者设计了多种基于光纤光栅的气压传感器。例如,专利技术专利201610275143.2公开了一种光纤光栅气压传感器:当外界气压发生变化时,铍青铜膜片产生挠度变化导致光纤光栅产生轴向作用力,从而影响光纤光栅中心波长变化来测量外界气压的变化。基于光纤光栅的气压传感器或气压探测器需要配置连续谱光源和光谱仪,整套装置的成本高。
技术实现思路
[0003]为解决以上问题,本专利技术提供了一种高灵敏光纤表面等离激元气压探测器,包括:槽体、弹性膜、 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高灵敏光纤表面等离激元气压探测器,其特征在于,包括:槽体、弹性膜、第一光纤、第二光纤、贵金属部、开口;所述槽体为长方体的五个面,所述弹性膜为长方体的第六个面,所述槽体和所述弹性膜围成密闭腔室,所述第一光纤和所述第二光纤贯穿所述槽体;在所述密闭腔室内,所述第一光纤和所述第二光纤贴附在所述弹性膜上;所述第一光纤的端面和所述第二光纤的端面之间设有间隙,所述贵金属部设置在所述间隙内;所述槽体的顶面上设有开口。2.如权利要求1所述的高灵敏光纤表面等离激元气压探测器,其特征在于:在所述密闭腔室内,所述第一光纤和所述第二光纤不包括涂覆层。3.如权利要求1所述的高灵敏光纤表面等离激元气压探测器,其特征在于:所述第一光纤和所述第二光纤为单模光纤。4.如权利要求1所述的高灵敏光纤表面等离激元气压探测器,其特征在于:所述第一光纤的端面与所述第二光纤的端面之间的距离小于10微米。5.如权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨培志,戚自婷,杨雯,王琴,邓书康,葛文,
申请(专利权)人:云南师范大学,
类型:发明
国别省市:
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