一种用于程序升温的分析装置制造方法及图纸

技术编号:32293502 阅读:17 留言:0更新日期:2022-02-12 20:03
本实用新型专利技术涉及分析装置器技术领域,特别涉及一种用于程序升温的分析装置。包括:反应室和质量传感器;反应室具有密闭的腔体结构,质量传感器设置在反应室内;质量传感器包括悬臂梁端和固支端;悬臂梁端设有加热元件和样品涂覆区,样品涂覆区用于装载待处理样品,加热元件用于对样品涂覆区进行加热;固支端与腔体结构的内壁连接,固支端用于采集程序升温过程中待处理样品的测试数据。该程序升温脱附分析装置通过自身集成有加热和数据采集功能的质量传感器对样品进行测试,大大减少了检测结果的滞后性。系统简单小巧,能实现精确定量化分析且测试时间短、检测通量高。检测通量高。检测通量高。

【技术实现步骤摘要】
一种用于程序升温的分析装置


[0001]本技术涉及分析仪器
,特别涉及一种用于程序升温的分析装置。

技术介绍

[0002]分子在催化剂表面发生催化反应要经历很多步骤,其中最主要的是吸附和表面反应两个步骤,因此要阐明一种催化过程中催化剂的作用本质及反应分子与其作用的机理,必须对下列性能进行深入研究。程序升温分析技术(TemperatureProgrammed Analytical Technology,TPAT)是一种应用广泛的材料分析方法。
[0003]程序升温分析技术为当固体物质或预吸附某些气体的固体物质在载气中以一定的升温速率加热时,检测流出气体组成和浓度的变化或固体(表面)物理和化学性质变化的技术。程序升温分析技术可分为程序升温脱附(TemperatureProgrammed Desorption,TPD)、程序升温还原(TemperatureProgrammed Reduction,TPR)、程序升温氧化(TemperatureProgrammed Oxidation,TPO)、程序升温硫化(Temperature Programmed Sulfuration,TPS)、程序升温表面反应(Temperatureprogrammed SurfaceReaction,TPSR)等。现有技术中,不同的程序升温分析技术需要采用的不同的分析仪器。而且现有的程序升温分析仪器只能测得某一时刻的气体浓度,检测结果具有滞后性。无法在较高的升温速率下得到准确的气体浓度相对于温度的变化,只能在较低的升温速率下使用。此外,现有的用于程序升温的分析仪器的灵敏度不高。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题是现有用于程序升温的分析仪器的灵敏度不高,且只能在较低的升温速率下使用的问题。
[0005]为解决上述技术问题,本申请实施例公开了一种用于程序升温的分析装置,包括:反应室和质量传感器;
[0006]所述反应室具有密闭的腔体结构,所述质量传感器设置在所述反应室内;
[0007]所述质量传感器包括悬臂梁端和固支端;
[0008]所述悬臂梁端设有加热元件和样品涂覆区,所述样品涂覆区用于装载待处理样品,所述加热元件用于对所述样品涂覆区进行加热;
[0009]所述固支端与所述腔体结构的内壁连接,所述固支端用于采集程序升温过程中所述待处理样品的测试数据。
[0010]进一步的,所述分析装置还包括供气系统,所述反应室上设有导通所述腔体结构的进气口,所述供气系统与所述进气口连接。
[0011]进一步的,所述分析装置还包括控制系统,所述控制系统与所述固支端通信连接;
[0012]所述控制系统用于控制所述质量传感器并对所述质量传感器采集的测试数据进行处理得到所述待处理样品的程序升温分析曲线。
[0013]进一步的,所述固支端中设有驱动电路,所述驱动电路与所述控制系统连接;
[0014]所述驱动电路用于接收所述控制系统传输的驱动信号并根据所述驱动信号驱动所述质量传感器。
[0015]进一步的,所述固支端中还设有信号输出单元,所述信号输出单元与所述控制系统连接;
[0016]所述信号输出单元用于发送所述质量传感器采集的所述待处理样品的测试数据。
[0017]进一步的,所述供气系统包括吹扫气气路和反应气气路,所述吹扫气气路和所述反应气气路均通过所述进气口与所述腔体结构连通。
[0018]进一步的,所述反应气气路用于向所述反应室内通入反应气体;
[0019]所述反应气体至少包括吸附质气体、氧化质气体、还原质气体、含硫气体。
[0020]进一步的,所述供气系统还包括真空泵系统,所述真空泵系统包括真空泵、气压传感器和控制器,
[0021]所述真空泵用于对所述反应室进行抽气;
[0022]所述气压传感器用于检测所述反应室内部的气压;
[0023]所述控制单元用于接收所述气压传感器的发送的压力信号并根据所述压力信号控制所述真空泵的启停。
[0024]进一步的,所述质量传感器的测试精度为10

16
g

10

12
g。
[0025]进一步的,所述真空泵系统的压力控制范围为10
‑7Mpa

10
‑4Mpa。
[0026]采用上述技术方案,本申请实施例所述的用于程序升温的分析装置具有如下有益效果:
[0027]该分析装置通过自身集成有加热和数据采集功能的质量传感器对样品进行测试。实现程序升温过程中样品的加热过程和检测过程同时进行,大大减少了检测结果的滞后性。而且由于检测和加热的同时进行,可使样品变化能完全地反映在质量传感器的谐振频率变化中,使得测试更为灵敏和准确。本申请实施例所述的用于程序升温的分析装置系统简单小巧,测试时间短,可实现精确定量化分析以及可高通量检测。
附图说明
[0028]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0029]图1为本申请实施例提供的一种用于程序升温的分析装置的结构示意图;
[0030]图2为本申请实施例提供的一种质量传感器的结构示意图;
[0031]图3为本申请实施例提供的一种将待测样品放入用于程序升温的分析装置加热的频率变化图;
[0032]图4为本申请实施例提供的一种将待测样品为ZSM

5分子筛放入用于程序升温的分析装置的TPD曲线图;
[0033]以下对附图作补充说明:
[0034]1‑
质量传感器;11

悬臂梁端;12

固支端;121

驱动电路;122

信号输出单元;211

吹扫气气路;212

反应气气路;213

换向阀;214

反应室;22

控制系统。
具体实施方式
[0035]下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围。
[0036]此处所称的“一个实施例”或“实施例”是指可包含于本申请至少一个实现方式中的特定特征、结构或特性。在本申请的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于程序升温的分析装置,其特征在于,包括:反应室(214)和质量传感器(1);所述反应室(214)具有密闭的腔体结构,所述质量传感器(1)设置在所述反应室(214)内;所述质量传感器(1)包括悬臂梁端(11)和固支端(12);所述悬臂梁端(11)设有加热元件和样品涂覆区,所述样品涂覆区用于装载待处理样品,所述加热元件用于对所述样品涂覆区进行加热;所述固支端(12)与所述腔体结构的内壁连接,所述固支端(12)用于采集程序升温过程中所述待处理样品的测试数据。2.根据权利要求1所述的用于程序升温的分析装置,其特征在于,所述分析装置还包括供气系统,所述反应室(214)上设有导通所述腔体结构的进气口,所述供气系统与所述进气口连接。3.根据权利要求2所述的用于程序升温的分析装置,其特征在于,所述分析装置还包括控制系统(22),所述控制系统(22)与所述固支端(12)通信连接;所述控制系统(22)用于控制所述质量传感器(1)并对所述质量传感器(1)采集的测试数据进行处理得到所述待处理样品的程序升温分析曲线。4.根据权利要求3所述的用于程序升温的分析装置,其特征在于,所述固支端(12)中设有驱动电路(121),所述驱动电路(121)与所述控制系统(22)连接;所述驱动电路(121)用于接收所述控制系统(22)传输的驱动信号并根据所述驱动信号驱动所述质量传感器(1)。5.根据权利要求4所述的用于程序升温的分析装置,其特征在于,所述固支端(12)中还设有信号输出单元(1...

【专利技术属性】
技术研发人员:于海涛
申请(专利权)人:厦门海恩迈科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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