【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光电探测器中的一种光伏探测器列阵，特别是带微光锥的光伏探测器列阵。光伏探测器列阵在制备时一般采用选择性离子注入掺杂的平面结，为了避免相连的探测器之间光和电的串音，彼此间的间隔不宜太小，这样探测器的填充因子(光敏元面积/光敏元面积+光敏元之间的间隔面积)很难做大，列阵的规模也受到了限制。本技术的目的是提供一种既能有效隔离相连探测器之间光和电的串音，又能将间隔区的入射光会聚到光伏探测器的pn结上，使探测器的填充因子做到近似100％。本技术的目的是这样实现的，光伏探测器列阵包括衬底1，与衬底1牢固结合的外延薄膜材料p型层2和n型层3构成的pn结4，位于pn结4间并与pn结相连的V型槽5，在n型层3上置有与n型层3电导通的铬、金层金属电极6，金属电极6上形成的铟柱7。所说的衬底1为半导体材料，如砷化镓或碲锌镉；所说的pn结4为可以探测波长为3～20μm的p型碲镉汞和硼注入的n型碲镉汞外延薄膜材料；所说的V型槽内侧表面淀积有碲化镉和硫化锌的复合膜8，复合膜8上镀有铬和金的反射膜9，构成一个光锥用以反射入射的红外辐射。见附图说明图1。本技术是采取光伏探测器之间带光锥，当光辐射从探测器背面入射时，光锥将入射光会聚到光伏探测器的pn结上，这样光锥既有效地隔离光和电的串音，又相当于增加了光敏元的面积，探测器的填充因子可近似达100％。本技术有如下优点1.可以在非常小的间隔内将探测器有效地隔离，能够制备大规模的列阵；2.由于光锥效应，探测器的填充因子可以做到近100％；3.对于相同的材料，探测器的优质参数R0A是恒定的，R0为探测器在零偏压下的阻抗，A为探测器...
【技术保护点】
一种带微光锥的光伏探测器列阵，包括衬底（１），与衬底（１）牢固结合的外延薄膜材料ｐ型层（２）和ｎ型层（３）构成的ｐｎ结（４），与ｎ型层（３）电导通的金属电极（６）和其上形成的铟柱（７）；其特征在于：位于ｐｎ结（４）间，置有与ｐｎ结（ ４）相连的Ｖ型槽（５），所说的Ｖ型槽（５）内侧表面淀积有碲化镉和硫化锌的复合膜（８），复合膜（８）上镀有铬和金的反射膜（９）。
【技术特征摘要】
1.一种带微光锥的光伏探测器列阵，包括衬底(1)，与衬底(1)牢固结合的外延薄膜材料p型层(2)和n型层(3)构成的pn结(4)，与n型层(3)电导通的金属电极(6)和其上形成的铟柱(7)；其特征在于位于pn结(4)间，置有与pn结(4)相连的V型槽(5)，所说的V型槽(5)内侧表面淀积有碲化镉和硫化...
【专利技术属性】
技术研发人员：李言谨，张勤跃，赵军，王琼，曹菊英，王桂娟，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]
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