【技术实现步骤摘要】
含钛活性钎料及其制备方法和应用
[0001]本专利技术涉及含钛活性钎料及其制备方法和应用,属于半导体封装用活性钎料领域。
技术介绍
[0002]随着半导体技术的快速发展,功率器件朝着高频率、高功率、高效率、高可靠以及小型化的方向发展。散热成为功率器件高性能、小型化的关键核心问题。IGBT(绝缘栅双极型晶体管)是最重要功率器件之一。IGBT是能源变换与传输的核心器件,俗称电力电子装置的“CPU”,作为国家战略性新兴产业,在轨道交通、智能电网、航空航天、电动汽车与新能源装备等领域应用极广。IGBT采用陶瓷覆铜基板散热,散热能力直接影响IGBT器件的性能。
[0003]高热导率陶瓷与金属(无氧铜)通过活性金属钎焊技术(Active Metal Brazing, AMB)连接。在银基钎料中添加活性元素Ti,Ti与陶瓷侧氧、氮等元素反应,实现陶瓷与金属连接。通过活性金属钎焊技术连接的陶瓷覆铜基板因结合强度高、散热性能好等优点备受关注,应用前景极为广阔。
[0004]Ti化学性质非常活泼,极易氧化,且易于与银、铜反应生成 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.含钛活性钎料制备方法,其特征在于:以氢化钛作为钛源,采用真空加压烧结将其他金属和氢化钛的混合粉体烧结成块体,再将块体轧制成箔带、拉拔成丝材或冲压成不同形状片材;所述其他金属选自金、锂、铝、铜、银、锡、铟、锌、镍、铬、镓、锆、钯、镧、铈中的一种或两种或多种。2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:氢化钛粉体平均粒径为0.1
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