一种具有低功耗或数字信号输出性能的新型敏感元件制造技术

一种具有低功耗或数字信号输出性能的新型敏感元件属于具有低功耗和数字量输出性能的传感技术领域。它克服了传统敏感元件只能输出低幅值模拟信号的不足，为新一代低功耗和数字传感器的研制创造了条件。本实用新型专利技术基于半导体特殊的负阻效应，其结构由Ｎ型区、Ｐ型区、上电极和下电极四层结构构成，其特征是：Ｎ型区（１）由掺磷的Ｎ型高阻硅单晶作为衬底，Ｐ型区（２）以铝和硼作掺杂源经扩散而形成，并从Ｎ面扩散金或铂，且扩透整个Ｐ型区（２），上电极（３）和下电极（４）可采用镍、铝，或金用以形成欧姆接触。该半导体敏感元件，体积小，功耗低，动态响应快。由它构成的数字传感器可广泛应用于多种物理参数的报警与检测、控制领域。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种具有低功耗或数字信号输出性能的新型敏感元件，其结构由Ｎ型区、Ｐ型区、上电极和下电极四层结构构成，其特征是：Ｎ型区（１）由掺磷的Ｎ型高阻硅单晶作为衬底，Ｐ型区（２）以铝和硼作掺杂源经扩散而形成，并从Ｎ面扩散金或铂，且扩透整个Ｐ型区（２），上电极（３）和下电极（４）可采用镍、铝，或金用以形成欧姆接触。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孙英达，付云鹏，
申请(专利权)人：孙英达，付云鹏，
类型：实用新型
国别省市：93[中国|哈尔滨]