基于电子束量测设备的自动对焦方法和装置、设备及存储介质制造方法及图纸

本申请涉及一种基于电子束量测设备的自动对焦方法和装置、设备及存储介质，其中方法包括：获取电子束量测设备中当前通道所采集到的多张检测图像；根据多张检测图像的清晰度评估结果自适应调整粗聚焦搜索步长，并根据调整后的粗聚焦搜索步长对电子束量测设备进行粗聚焦，确定最佳粗聚焦位置；以最佳粗聚焦位置为搜索中心，按照当前的细聚焦搜索参数采集预设张数的样品图像，并根据采集到的预设张数的样品图像的清晰度评估结果进行细聚焦搜索得到聚焦结果。其实现了采用变步长的方式进行电子束量测设备自动对焦过程中的粗聚焦，使得在进行粗聚焦时所使用的粗聚焦搜索步长更加灵活，最终有效提高了电子束量测设备的自动对焦效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
基于电子束量测设备的自动对焦方法和装置、设备及存储介质


[0001]本申请涉及自动控制和图像处理
，尤其涉及一种基于电子束量测设备的自动对焦方法和装置、设备及存储介质。

技术介绍

[0002]纳米级电子束量测设备主要是利用扫描电镜的原理实现纳米级成像，并基于图像进行测量和分析，实现关键工艺参数的监控，是芯片制造过程中质量控制的关键设备。电子束量测设备聚焦一般有两种方式，一是通过调节stage Z轴大小进行聚焦，二是通过调节电磁透镜的电流大小进行聚焦。其中，自动聚焦过程就是将该过程自动化，通过自动调整Z坐标的大小或电流值的大小，最终实现扫描电镜的自动聚焦过程。
[0003]现有的自动聚焦过程主要分为两个核心部分，一是图像清晰度评估，二是搜索策略。其中，聚焦搜索策略直接影响自动对焦的速率。在相关技术中，通常会采用爬山算法搜索策略进行自动对焦。爬山算法搜索策略是基于图像清晰度进行的，其本质是一个图像清晰度寻优的问题。其中，自动聚焦爬山搜索分为粗聚焦和细聚焦两步，粗聚焦和细聚焦过程均采用定步长爬山搜索，这就使得在寻找出最清晰图像位置时需要本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于电子束量测设备的自动对焦方法，其特征在于，包括：获取电子束量测设备中当前通道所采集到的多张检测图像；根据多张所述检测图像的清晰度评估结果自适应调整粗聚焦搜索步长，并根据调整后的所述粗聚焦搜索步长对所述电子束量测设备进行粗聚焦，确定最佳粗聚焦位置；以所述最佳粗聚焦位置为搜索中心，按照当前的细聚焦搜索参数采集预设张数的样品图像，并根据采集到的所述预设张数的样品图像的清晰度评估结果进行细聚焦搜索得到所述聚焦结果。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据多张所述检测图像的清晰度评估结果自适应调整粗聚焦搜索步长，包括：统一各所述检测图像的对比度，并对各所述检测图像进行中值滤波；对中值滤波后的各所述检测图像进行清晰度评估，得到清晰度评估结果；根据所述清晰度评估结果确定所述粗聚焦搜索步长。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，统一各所述检测图像的对比度时，通过对各所述检测图像进行直方图规定化处理进行。4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，对中值滤波后的各所述检测图像进行清晰度评估，得到清晰度评估结果，包括：对中值滤波后的各所述检测图像进行傅里叶变换，得到各所述检测图像的频谱直方图；对各所述频谱直方图进行多区间归一化，并对归一化后的频谱直方图进行逻辑运算，得到各所述检测图像的评估曲线；基于各所述检测图像的评估曲线，得到所述清晰度评估结果。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，对归一化后的频谱直方图进行逻辑运算的同时，还包括对所述频谱直方图中的图像内容进行高频和低频放大的操作。6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，对归一化后的频谱直方图进行逻辑运算时，包括对归一化后的频谱直方图进行加权求和处理。7.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，对各所述检测图像进行中值滤波后，还包括：计算中值滤波后的所述检测图像的平均局部方差曲线；对应的，基于各所述检测图像的评估曲线得到所述清晰度评估结果，包括：计算各所述评估曲线分别与所述平均局部方差曲线的相关性；根据计算得到的各所述相关性得到所述清晰度评估结果。8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，根据计算得到的各所述相关性得到所述图像清晰度评估结果时，由各所述相关性中选取出相关性最高的评估曲线作为所述清晰度评估结果。9.根据权利要求1至8任一项所述的方法，其特征在于，所述细聚焦搜索参数包括细聚焦搜索范围和细聚焦搜索步长中的至少一种。10.根据权利要求1至8任一项所述的方法，其特征在于，根据采集到的所述预设张...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨彩虹，韩春营，俞宗强，王振，
申请(专利权)人：东方晶源微电子科技北京有限公司，
类型：发明
国别省市：