一种高质量氧化铝真空镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种高质量氧化铝真空镀膜装置，包括真空箱，还包括警报组件，所述警报组件包括隔热电池、开关、警报器、卡座、弹簧、气压杆和卡杆，所述真空箱右侧内壁安装有隔热电池和开关，所述隔热电池上端电性连接有开关，所述真空箱顶端外壁安装有警报器，所述开关与警报器之间进行电性连接，所述真空箱顶端内壁固定连接有卡座。该一种高质量氧化铝真空镀膜装置通过气压杆左侧的承接面承接真空箱内部气体压力，当超过一定气压值时会对弹簧产生挤压作用，气压杆推动卡杆前移，卡杆沿卡座内槽滑动，继而带动开关闭合，开关闭合后隔热电池与警报器之间的电路连通，通过隔热电池向警报器供电报警，提醒工作人员。提醒工作人员。提醒工作人员。

【技术实现步骤摘要】
一种高质量氧化铝真空镀膜装置


[0001]本技术涉及氧化铝真空镀膜
，特别涉及一种高质量氧化铝真空镀膜装置。

技术介绍

[0002]在真空环境中，将材料加热并镀到基片上的技术为真空蒸镀。具体而言，真空蒸镀是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华，使之在工件或基片表面析出的过程。
[0003]专利号CN201820047217.1公布了一种高质量氧化铝真空镀膜装置，包括真空箱、下侧箱和搅匀装置，所述真空箱内部设有镀膜鼓,镀膜鼓上缠绕有PET基材，所述下侧箱和真空箱之间设有隔板且隔板上配合PET基材设有开槽口，开槽口下端设有导管，导管底部设有蒸发舟,导管左侧穿插有氧气输送管，导管右侧穿插有氮气输送管，所述搅匀装置设置在导管内部，搅匀装置表面设有光滑防附着材料。本技术高质量氧化铝真空镀膜装置，搅匀杆转动后可提高铝和氧气与氮气的混合效果，促进氧气和铝反应生成氧化铝，具有生产效率高、质量高等优点。
[0004]该一种高质量氧化铝真空镀膜装置存在以下弊端：1、以往真空镀膜装置内部注入氧氮气后真空箱气压急剧上升，可能产生爆炸造成安全事故本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高质量氧化铝真空镀膜装置，包括真空箱(1)，其特征在于：还包括警报组件(2)，所述警报组件(2)包括隔热电池(201)、开关(202)、警报器(203)、卡座(204)、弹簧(205)、气压杆(206)和卡杆(207)，所述真空箱(1)右侧内壁安装有隔热电池(201)和开关(202)，所述隔热电池(201)上端电性连接有开关(202)，所述真空箱(1)顶端外壁安装有警报器(203)，所述开关(202)与警报器(203)之间进行电性连接，所述真空箱(1)顶端内壁固定连接有卡座(204)，所述卡座(204)左侧固定连接有弹簧(205)，所述弹簧(205)左侧固定连接有气压杆(206)，所述气压杆(206)右侧固定连接有卡杆(207...

【专利技术属性】
技术研发人员：林武辉，符坚，薛满库，李志强，
申请(专利权)人：浙江海顺新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：