一种盖板及石英加料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种盖板及石英加料装置，盖板用于盖在石英加料筒的加料口上，盖板包括对接的至少两个盖板单元，所述盖板单元包括面板以及设于所述面板下方的限位部；所述面板包括内侧壁以及设于所述内侧壁的外围并和所述内侧壁连接的外侧壁，所述内侧壁上开设有第一避让槽，各个所述盖板单元的所述第一避让槽拼接成用于避让所述石英加料筒中钼杆的槽孔；所述限位部限位在所述石英加料筒的侧壁上。通过盖板可以避免污染物对石英加料筒内部硅料的污染，从而提高硅片的电学性能。从而提高硅片的电学性能。从而提高硅片的电学性能。

【技术实现步骤摘要】
一种盖板及石英加料装置


[0001]本技术涉及单晶硅生产设备
，尤其涉及一种盖板及石英加料装置。

技术介绍

[0002]单晶硅生长炉是生产单晶硅的拉晶装置，但通过单次加料使石英坩埚的装硅料量接近容量是难以实现的，因此，目前采用单晶炉生产硅棒时普遍会通过石英加料器进行多次复投，以提高单机的产能来降低生产成本。石英加料器一般由以下部件构成：石英加料筒、石英法兰、设于石英加料筒上方的不锈钢法兰盘、设于石英加料筒内的钼杆，与钼杆连接的石英锥，以及连接于法兰盘和石英锥之间的不锈钢连杆等部件组成。现有的石英加料筒多为敞口设计，加料后硅料会裸露在空气中，由于空气中含有大量的金属离子以及各类化合物等污染物，这些污染物落入石英筒内会对原料造成污染，目前尚无合理的装置来解决石英加料器内部处于裸露状态而造成污染的问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的之一在于克服现有技术中所述的缺陷，从而提供一种盖板，该盖板可以避免空气中的污染物对加料器内部硅料的污染，从而提高硅片的电学性能。
[0004]本技术的另一目的在于提供一种石英加料装置，该本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种盖板，其特征在于，用于盖在石英加料筒的加料口上，所述盖板包括对接的至少两个盖板单元，所述盖板单元包括面板以及设于所述面板下方的限位部；所述面板包括内侧壁以及设于所述内侧壁的外围并和所述内侧壁连接的外侧壁，所述内侧壁上开设有第一避让槽，各个所述盖板单元的所述第一避让槽拼接成用于避让所述石英加料筒中钼杆的槽孔；所述限位部限位在所述石英加料筒的侧壁上。2.根据权利要求1所述的盖板，其特征在于，所述面板的至少部分遮盖所述加料口的顶壁。3.根据权利要求1所述的盖板，其特征在于，所述盖板由两个对开的所述盖板单元组成，每个所述盖板单元的面板均呈半圆形。4.根据权利要求1所述的盖板，其特征在于，各个所述盖板单元的限位部拼接形成限位环，所述限位环与所述石英加料筒的内侧壁间隙配合。5.根据权利要求1所述的盖板，其特征在于，所述石英加料筒的顶壁设有螺杆，所述面板的外侧壁上开设有避让所述螺杆的第二避让...

【专利技术属性】
技术研发人员：周涛，楚信博，杨政，
申请(专利权)人：包头晶澳太阳能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：