一种源瓶用四氟阀门制造技术

本发明专利技术公开了一种源瓶用四氟阀门，包括阀座、阀芯、阀杆和弹簧，所述阀座上设有阀腔、进口和出口，进口与源瓶密封连接，阀芯设于阀腔内，阀杆活动插接于阀座上，且阀杆与阀芯固定连接，弹簧套设于阀杆上，弹簧的一端抵触于阀座上，另一端将阀芯抵触于所述进口上并将进口密封，所述弹簧在阀杆上的预紧力可调。在操作人员忘记打开出阀门出气时，源瓶内的气体鼓泡导致源瓶内的压力会逐渐增加，此时，源瓶内的压力会顶起阀芯，进而打开阀门并进行出气，有效的避免源瓶内的压力会逐渐增加而导致源瓶憋压爆瓶的事故。憋压爆瓶的事故。憋压爆瓶的事故。

【技术实现步骤摘要】
一种源瓶用四氟阀门


[0001]本专利技术涉及一种源瓶用四氟阀门。

技术介绍

[0002]在化工领域中，化学气相沉积(CVD) 参与反应的反应源一般置于源瓶中，源瓶瓶体内放置有反应源，用于蒸发出反应气体，使得反应气体参与工艺反应。源瓶一般包括进气管路、进气阀、源瓶瓶体、出气管路和出气阀等。现有源瓶上的出气阀都是螺旋打开开启结构，由于进出气阀门是独立分开的，反应时，需要操作人员严格按照反应时间来开启出气阀的打开，在操作人员忘记打开出气阀门时，源瓶内的气体鼓泡导致压力会逐渐增加，从而会导致源瓶憋压爆瓶事故。

技术实现思路

[0003]本专利技术是为了解决上述现有技术存在的问题而提供一种源瓶用四氟阀门。
[0004]本专利技术所采用的技术方案有：一种源瓶用四氟阀门，包括阀座、阀芯、阀杆和弹簧，所述阀座上设有阀腔、进口和出口，进口与源瓶密封连接，阀芯设于阀腔内，阀杆活动插接于阀座上，且阀杆与阀芯固定连接，弹簧套设于阀杆上，弹簧的一端抵触于阀座上，另一端将阀芯抵触于所述进口上并将进口密封，所述弹簧在阀杆上的预紧力可调。
[0005]进一步地，所述阀座包括芯座、上固定套、调节套和定位螺母，所述芯座的上设有阀腔、进口和出口，上固定套螺纹连接在芯座上，且上固定套的一端伸于阀腔内，调节套和定位螺母均置于阀腔内，并均螺纹连接在上固定套上，弹簧的上端抵触在调节套上，调整调节套上固定套上的位置对弹簧的预紧力进行调节。
[0006]进一步地，所述上固定套上设有凸台，上固定套与芯座螺纹连接后，凸台伸于阀腔内，阀杆贯穿于凸台，在凸台的外壁上设有螺纹面。
[0007]进一步地，在凸台上螺纹连接有两个定位螺母。
[0008]进一步地，所述凸台与阀杆之间设有密封圈。
[0009]进一步地，所述阀座还包括下固定套和锁紧套，进口的内壁面与锁紧套的外壁面均为锥面，且两者锥度相同，在锁紧套外壁的轴向方向设有若干变形缩口，所述锁紧套套设于源瓶上，且锁紧套插接于所述进口内，下固定套螺纹连接在芯座上，旋转下固定套，下固定套将锁紧套抵触于进口内，进口的锥面与锁紧套的锥面相互配合使得锁紧套收缩并抱紧于源瓶上。
[0010]本专利技术具有如下有益效果：在操作人员忘记打开出阀门出气时，源瓶内的气体鼓泡导致源瓶内的压力会逐渐增加，此时，源瓶内的压力会顶起阀芯，进而打开阀门并进行出气，有效的避免源瓶内的压力会逐渐增加而导致源瓶憋压爆瓶的事故。
附图说明
[0011]图 1 为本专利技术结构图。
[0012]图 2 为本专利技术的局部放大图。
[0013]图 3 为本专利技术的局部放大图。
具体实施方式
[0014]下面结合附图对本专利技术作进一步的说明。
[0015]如图1至图3，本专利技术一种源瓶用四氟阀门，包括阀座1、阀芯2、阀杆3和弹簧4，在阀座1上设有阀腔、进口和出口，进口与源瓶密封连接，阀芯2设于阀腔内，阀杆3活动插接于阀座1上，且阀杆3与阀芯2固定连接，弹簧4套设于阀杆3上，弹簧4的一端抵触于阀座1上，另一端将阀芯2抵触于进口上并将进口密封，弹簧4在阀杆3上的预紧力可调。
[0016]本专利技术中的阀座1包括下固定套11、锁紧套12、芯座13、上固定套14、调节套15和定位螺母16，阀腔131、进口132和出口133均设于芯座13上，上固定套14螺纹连接在芯座13上，且上固定套14的一端伸于阀腔131内，调节套15和定位螺母16均置于阀腔131内，并均螺纹连接在上固定套14上，弹簧4的上端抵触在调节套15上，调整调节套15在上固定套14上的位置对弹簧4的预紧力进行调节。
[0017]本专利技术在使用时，通过向上移动阀杆3实现阀门的开启。松开阀杆3，在弹簧力的作用下，阀芯2抵触于进口上，实现阀门的闭合。在操作人员忘记打开出阀门出气时，源瓶内的气体鼓泡导致源瓶内的压力会逐渐增加，此时，源瓶内的压力会顶起阀芯2，进而打开阀门并进行出气，有效的避免源瓶内的压力会逐渐增加而导致源瓶憋压爆瓶的事故。
[0018]弹簧4的预紧力可以调节，不同型号的源瓶爆瓶压力值不一样，在爆瓶压力值较大时，向下调节调节套15，增大弹簧的压缩，继而增加弹簧的预紧力，反之亦然。
[0019]为便于将调节套15和定位螺母16螺纹连接在上固定套14上，在上固定套14上设有凸台141，上固定套14与芯座13螺纹连接后，凸台141伸于阀腔131内，阀杆3贯穿于凸台141，凸台141与阀杆3之间设有密封圈。在凸台14的外壁上设有螺纹面。
[0020]定位螺母16设置两个，在调整调节套15的位置时，同时旋转两个定位螺母16和调节套15，然后再将两个定位螺母16和调节套15锁抵于一体。设置两个定位螺母16可以更好避免调节套15发生松动现象。
[0021]现有技术中源瓶与阀门之间的连接普遍是采用螺纹连接方式，需要在源瓶上设置螺纹槽，螺纹槽加工工艺较为复杂，工艺成本高，本专利技术中的阀座1通过锁紧的方式固定于源瓶上，避免开设螺纹槽，简化源瓶的加工工艺，阀门在源瓶上的锁紧结构如下：进口132的内壁面与锁紧套12的外壁面均为锥面，且两者锥度相同，在锁紧套12外壁的轴向方向设有若干变形缩口，锁紧套12套设于源瓶上，且锁紧套12插接于进口132内，下固定套11螺纹连接在芯座13上，旋转下固定套11，下固定套11将锁紧套12抵触于进口132内，进口132的锥面与锁紧套12的锥面相互配合使得锁紧套12收缩并抱紧于源瓶上。
[0022]以上所述仅是本专利技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术原理的前提下还可以作出若干改进，这些改进也应视为本专利技术的保护范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种源瓶用四氟阀门，其特征在于：包括阀座（1）、阀芯（2）、阀杆（3）和弹簧（4），所述阀座（1）上设有阀腔、进口和出口，进口与源瓶密封连接，阀芯（2）设于阀腔内，阀杆（3）活动插接于阀座（1）上，且阀杆（3）与阀芯（2）固定连接，弹簧（4）套设于阀杆（3）上，弹簧（4）的一端抵触于阀座（1）上，另一端将阀芯（2）抵触于所述进口上并将进口密封，所述弹簧（4）在阀杆（3）上的预紧力可调。2.如权利要求1所述的源瓶用四氟阀门，其特征在于：所述阀座（1）包括芯座（13）、上固定套（14）、调节套（15）和定位螺母（16），所述芯座（13）的上设有阀腔（131）、进口（132）和出口（133），上固定套（14）螺纹连接在芯座（13）上，且上固定套（14）的一端伸于阀腔（131）内，调节套（15）和定位螺母（16）均置于阀腔（131）内，并均螺纹连接在上固定套（14）上，弹簧（4）的上端抵触在调节套（15）上，调整调节套（15）在上固定套（14）上的位置对弹簧（4）的预紧力进行调节。3.如权利要求2所述的源瓶用四氟...

【专利技术属性】
技术研发人员：施正良，
申请(专利权)人：镇江瑞昊工程塑料有限公司，
类型：发明
国别省市：