运载机器人以及生产装置制造方法及图纸

涉及工业用机器人技术领域，本申请提供了运载机器人以及生产装置，运载机器人包括基座、升降机构、旋转台、一对机械臂以及两个末端执行器；所述升降机构安装于所述基座，所述升降机构的输出端连接于所述旋转台，以带动所述旋转台上升或下降；一对所述机械臂对称配置，所述机械臂根部可转动地连接于所述旋转台上；所述末端执行器包括分别位于两端的连接端与执行器，两个所述末端执行器的两个连接端分别枢接于两个所述机械臂末端，两个所述末端执行器的执行器轴向上对齐。通过相对设置的两个机械臂中间部位的接近或远离便可以实现无端的收回或伸出，在此状态下旋转装置带动双臂进行旋转所占用旋转空间最小，同时所占用工艺设备内部空间也最小。内部空间也最小。内部空间也最小。

【技术实现步骤摘要】
运载机器人以及生产装置


[0001]本申请涉及工业用机器人
，尤其涉及一种运载机器人以及生产装置。

技术介绍

[0002]随着电子、航天、军事和生物医药等工业的不断发展，现代工业产品和现代科学实验活动要求微型化、精密化、高质量和高可靠性，要求半导体元器件在相当高的洁净度环境下加工。
[0003]用于半导体器件搬运的小型机器人，必须能够适应高洁净度而空间狭小的使用环境，同时满足结构简单紧凑、结构刚度高、运动灵活可靠、重复定位精度高和可靠性高的要求。
[0004]同时由于半导体元器件的加工模块布局紧凑，可利用空间小，因此要求玻璃基板或晶圆搬运机器人具有结构紧凑、运动平稳、洁净度高、定位精度高、占地面积小、工作空间大等特点。现有技术中，解决狭窄空间位移多通过十字滑台附加末端执行器来实现，这样一来将占用较大的设备空间，尤其做旋转任务时将占用更大空间，造成空间的极大浪费。

技术实现思路

[0005]在
技术实现思路
部分中引入了一系列简化形式的概念，这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本申请内容部分并不意味着要试图限定出所要本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种运载机器人，其特征在于，包括基座(1)、升降机构(2)、旋转台(3)、一对机械臂(4)以及两个末端执行器(5)；所述升降机构(2)安装于所述基座(1)，所述升降机构(2)的输出端连接于所述旋转台(3)，以带动所述旋转台(3)上升或下降；一对所述机械臂(4)对称配置，所述机械臂(4)根部可转动地连接于所述旋转台(3)上；所述末端执行器(5)包括分别位于两端的连接端(51)与执行器(52)，两个所述末端执行器(5)的两个连接端(51)分别枢接于两个所述机械臂(4)末端，两个所述末端执行器(5)的执行器(52)轴向上对齐。2.根据权利要求1所述的运载机器人，其特征在于，各所述机械臂(4)包括大臂(41)、大臂驱动(42)、小臂(43)以及小臂驱动(44)，所述大臂(41)通过所述大臂驱动(42)可转动地连接于所述旋转台(3)，以所述大臂驱动(42)带动所述大臂(41)绕所述大臂驱动(42)的输出轴旋转；所述小臂(43)通过所述小臂驱动(44)可转动地连接于所述大臂(41)的末端，以所述小臂驱动(44)带动所述小臂(43)绕所述小臂驱动(44)的输出轴旋转。3.根据权利要求1所述的运载机器人，其特征在于，两个所述末端执行器(5)相互自由，通过在控制系统对两个所述末端执行器(5)实施相对位置锁定，保持两个所述末端执行器(5)的执行器(52)上下对齐；或者，两个所述末端执行器(5)通过连接件固定连接。4.根据权利要求2所述的运载机器人，其特征在于，所述大臂驱动(42)安装于所述旋转台(3)或所述大臂(41)的根部，以及/或者，所述小臂驱动(44)...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚秀军，桂晨光，程二亭，
申请(专利权)人：京东科技信息技术有限公司，
类型：新型
国别省市：